[发明专利]蓝宝石基材

权利要求书

1.一种蓝宝石基材，其具有：

直径∶厚度的比例不小于124∶1；和

具有性能的主表面，其中所述性能包括：

所述主表面的标准化弯曲度不大于0.100μm/cm²，其中所述标准化弯曲度是对所述主表面的表面积标准化的所述主表面的弯曲度值；

所述主表面的标准化平坦度不大于0.100μm/cm²，其中所述标准化平坦度是对所述主表面的表面积标准化的所述主表面的平坦度值；

所述主表面的标准化翘曲度不大于0.190μm/cm²，其中所述标准化翘曲度是对所述主表面的表面积标准化的所述主表面的翘曲度值；或

其任意组合。

2.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述蓝宝石基材具有不小于6.5cm的直径。

3.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述性能包括不大于0.100μm/cm²的所述标准化弯曲度。

4.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述性能包括不大于0.100μm/cm²的所述标准化平坦度。

5.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述性能包括不大于0.190μm/cm²的所述标准化翘曲度。

6.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述性能包括不大于0.100μm/cm²的所述标准化弯曲度，且所述标准化平坦度不大于0.100μm/cm²。

7.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述性能包括不大于0.100μm/cm²的所述标准化弯曲度，且所述标准化翘曲度不大于0.190μm/cm²。

8.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述性能包括不大于0.100μm/cm²的所述标准化平坦度，且所述标准化翘曲度不大于0.190μm/cm²。

9.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述性能包括：

不大于0.100μm/cm²的所述标准化弯曲度；

不大于0.100μm/cm²的所述标准化平坦度；和

不大于0.190μm/cm²的所述标准化翘曲度。

10.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述蓝宝石基材的晶体取向是c-平面取向。

11.如权利要求10所述的蓝宝石基材，其中所述蓝宝石基材的大致平坦的表面以不大于约2.0°的倾斜角度倾斜远离所述c-平面。

12.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述性能还包含不大于0.037μm/cm²的标准化的总厚度变化，其中所述标准化的总厚度变化是对第一表面的表面积标准化的所述第一表面的总厚度变化。

13.如权利要求1所述的蓝宝石基材，其中所述蓝宝石基材的表面粗糙度不大于约

14.如权利要求1-13中任一权利要求所述的蓝宝石基材，其中所述直径∶厚度的比例不大于216∶1。

15.如权利要求14所述的蓝宝石基材，其中所述蓝宝石基材具有不小于10.0cm的直径。

16.如权利要求1-13中任一权利要求所述的蓝宝石基材，其中所述蓝宝石基材是由以下方法形成的：

使用第一固定磨料研磨蓝宝石基材的第一表面；和

使用第二固定磨料研磨蓝宝石基材的所述第一表面，其中所述第二固定磨料的平均粒度比所述第一固定磨料的平均粒度小，所述第二固定磨料是自修整的。