[发明专利]一种分段式掩膜图形制备SE电池方法有效
| 申请号: | 201310162489.8 | 申请日: | 2013-05-06 |
| 公开(公告)号: | CN103219430A | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
| 发明(设计)人: | 黄智;李质磊;隋海波;侯林钧;徐涛;盛雯婷;张凤鸣 | 申请(专利权)人: | 天威新能源控股有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 梁田 |
| 地址: | 610000 四川省成都市双流*** | 国省代码: | 四川;51 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 段式 图形 制备 se 电池 方法 | ||
1.一种分段式掩膜图形制备SE电池方法,包括在扩散面上用SE刻蚀掩膜浆料形成SE掩膜图形的步骤,其特征在于:所述SE掩膜图形对应细栅线的部分是分段式的不连续形状,形成分段式SE掩膜涂料覆盖区(3)。
2.如权利要求1所述一种分段式掩膜图形制备SE电池方法,还包括形成细栅线电极的步骤,其特征在于:所述形成细栅线电极的步骤包括先后顺序可对调的以下A、B两个步骤;
A.与分段式SE掩膜涂料覆盖区重叠的细栅线电极部分采用能穿透氮化硅膜的电极浆料印刷;
B. 与分段式SE掩膜涂料覆盖区不相重叠的细栅线电极部分采用不能穿透氮化硅膜的电极浆料印刷。
3.如权利要求1所述一种分段式掩膜图形制备SE电池方法,其特征在于:所述分段式SE掩膜涂料覆盖区(3)为间隔排列的长方形、正方形、圆形、椭圆形、竹节形中的一种;所述竹节形是由粗节(4)和位于粗节两端的细节(5)构成的形状。
4.如权利要求1所述一种分段式掩膜图形制备SE电池方法,其特征在于:所述分段式的不连续形状中每段分段式SE掩膜涂料覆盖区(3)的长度a相同,相邻两段分段式SE掩膜涂料覆盖区的间距b相同,且a:b=100:1至1:200。
5.如权利要求4所述一种分段式掩膜图形制备SE电池方法,其特征在于:所述细栅线(1)为互相平行的直线,相邻细栅线之间的间距相同;
在任意一段SE掩膜图形的中心点为圆心,b/2为半径的圆上,该段分段式SE掩膜涂料覆盖区所处细栅线的邻近两根细栅线上各自有两段分段式SE掩膜涂料覆盖区的中心点。
6.如权利要求5所述一种分段式掩膜图形制备SE电池方法,其特征在于:a:b=1:6.26。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天威新能源控股有限公司,未经天威新能源控股有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310162489.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种低速榨汁机
- 下一篇:一种基于在机测评的复杂空间型面误差反馈补偿方法
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





