[发明专利]沉积设备和利用其制造有机发光二极管显示器的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种沉积设备和一种利用该沉积设备的有机发光二极管(OLED)显示器的制造方法，更具体地讲，涉及一种通过角度控制构件控制沉积材料的发射方向的沉积设备以及利用该沉积设备的有机发光二极管(OLED)显示器的制造方法。

背景技术

在显示装置中，具有宽视角、优良的对比度以及快响应速度的优点的有机发光二极管显示器已经作为下一代显示元件之一受到关注。

通常，有机发光二极管显示器具有沉积结构，其中，发射层位于阳极和阴极之间，使得在阳极和阴极中产生的空穴和电子在用于发光的发射层中复合，从而实现颜色。然而，在这种结构中，难以获得高效率的发光，因此在每个电极和发射层之间选择性地添加并插入诸如电子注入层(EIL)、电子传输层(ETL)、空穴传输层(HTL)和空穴注入层(HIL)的中间层。

在诸如有机发光二极管(OLED)显示器的平板显示器中，用作电极的金属或有机材料采用真空沉积方法，在真空气氛下沉积对应的材料并在平板上形成薄膜。在真空沉积方法中，将其上将形成有机薄膜的基底放在真空室中，将图案与将要形成的图案(例如，薄膜)相同的精细金属掩模(FMM)紧密地设置在基底上，通过使用沉积源单元使有机材料蒸发或升华，以将有机材料沉积在基底上。

在这种真空沉积方法中，必须根据沉积材料的特性以及掩模的图案来控制喷射角，并且控制喷射角使得喷射角不随时间流逝而改变。

在该背景技术部分公开的上述信息仅是为了增强对本发明背景的理解，因此，它可以包含对于本领域普通技术人员来说不构成在本国已知的现有技术的信息。

发明内容

本发明涉及一种沉积设备，所述沉积设备通过补偿随着时间流逝而改变的沉积角来均匀地形成薄膜。

本发明还涉及一种有机发光二极管(OLED)显示器的制造方法，所述制造方法通过控制角度控制构件的角度来保证均匀的沉积角，从而均匀地形成沉积薄膜的厚度。

根据本发明的沉积设备包括：沉积源，包括沿着第一方向线性布置并且排放沉积材料的喷嘴；一对角度控制构件，设置在沉积源的两侧并且控制沉积材料的排放方向角，其中，每个角度控制构件包括平行于第一方向的旋转轴以及相对于旋转轴安装并且围绕旋转轴彼此分开预定间隔的多个屏蔽板。

多个屏蔽板可以分开设置，同时形成相等的中心角。

所述沉积设备还可以包括旋转旋转轴的旋转驱动器。

所述沉积设备还可以包括控制旋转驱动器以周期性地旋转屏蔽板的旋转控制器。

所述沉积设备还可以包括设置在每个角度控制构件的一侧上用于控制角度控制构件和沉积源之间的距离的移动单元。

根据本发明的有机发光二极管(OLED)显示器的制造方法包括以下步骤：设置基底，以面对沉积源，所述沉积源包括沿着第一方向布置并且排放沉积材料的喷嘴；设置一对角度控制构件，所述角度控制构件分别安装有围绕旋转轴并且控制沉积材料在沉积源的两侧上的排放方向角的多个屏蔽板；旋转角度控制构件的屏蔽板。

所述方法还可以包括控制角度控制构件与沉积源之间的距离。

在旋转角度控制构件的屏蔽板的过程中，经过预定时间段，可以周期性地旋转屏蔽板。

沉积材料可以为形成有机发射层的有机材料，所述薄膜可以为有机发射层。

根据本发明的示例性实施例，可以均匀地形成具有期望厚度的薄膜。另外，尽管随着工艺时间的增加而改变了沉积角，但是补偿沉积角，以形成均匀的薄膜。

另外，有机薄膜可以均匀地沉积在有机发光二极管(OLED)显示器的每个像素，从而提高了每个像素的亮度均匀性。

另外，根据本发明的示例性实施例，尽管沉积材料附于角度控制构件使得沉积材料的沉积角发生改变，但是可以在不停止工艺的情况下替换角度控制构件，从而可以提高制造产率。制造工艺容易，沉积装置可以容易地应用于大尺寸基底的制造工艺，并且可以提高制造产率和沉积效率。

附图说明

当结合附图考虑时，通过参照下面的详细描述，本发明的更完整的理解以及本发明的许多附加优点将随着它们被更好地理解而变得容易清楚，在附图中，相同的标号表示相同或相似的组件，在附图中：

图1是根据本发明示例性实施例的沉积设备的透视图。

图2是根据本发明示例性实施例的沉积设备的角度控制构件的透视图。

图3A和图3B是示出通过利用根据本发明示例性实施例的沉积设备制造有机发光二极管(OLED)显示器的方法的示意图。