[发明专利]被盖覆的物体及其制造方法

权利要求书

1.一种制造被盖覆物体（1）的方法，其中，所述方法包括提供所述物体（1）并且在所述物体（1）上沉积多层覆层，至少一层覆层（2）包括Al_xTi_1-xN，

其特征在于，

所述包括Al_xTi_1-xN的覆层（2）被沉积在包括TiCN长形晶体的TiCN覆层（3）上，其中多达40摩尔%的钛可选地用铝来代替。

2.根据权利要求1所述的方法，

其特征在于，

在800℃至880℃的温度沉积所述TiCN覆层（3）。

3.根据权利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

沉积具有高达7μm，优选为2至5μm的厚度的所述TiCN覆层（3）。

4.根据权利要求1至3之任一项所述的方法，

其特征在于，

从包括或者由氮、氢、乙腈和四氯化钛组成的气体中沉积所述TiCN覆层（3）。

5.根据权利要求4所述的方法，

其特征在于，

使用具有氮和氢的所述气体作为载气。

6.根据权利要求4或5所述的方法，

其特征在于，

使用氮含量比氢含量高的所述气体。

7.根据权利要求1至6之任一项所述的方法，

其特征在于，

在等同或者低于沉积所述TiCN覆层（3）的温度的温度沉积所述包括Al_xTi_1-xN的覆层（2）。

8.根据权利要求1至7之任一项所述的方法，

其特征在于，

在800℃至830℃的温度沉积所述包括Al_xTi_1-xN的覆层（2）。

9.根据权利要求1至8之任一项所述的方法，

其特征在于，

从氮、氢和四氯化钛的第一混合物和氮和NH₃的第二混合物沉积所述包括Al_xTi_1-xN的覆层（2）。

10.根据权利要求1至9之任一项所述的方法，

其特征在于，

在20至40mbar的压力沉积所述包括Al_xTi_1-xN的覆层（2）。

11.按照权利要求1至10之任一项所述的方法，

其特征在于，

沉积具有3至10μm的厚度的所述包括Al_xTi_1-xN的覆层（2）。

12.按照权利要求1至11之任一项所述的方法，

其特征在于，

使用来自硬质合金的所述物体（1），在所述物体（1）上沉积多层覆层。

13.按照权利要求12所述的方法，

其特征在于，

在所述物体（1）上沉积结合层（4），在所述结合层（4）上沉积所述TiCN覆层（3）。

14.按照权利要求13所述的方法，

其特征在于，

沉积来自TiN的所述结合层（4），所述结合层（4）优选具有小于1.0μm的厚度。

15.按照权利要求1至14之任一项所述的方法，

其特征在于，

至少一层覆层，优选所有层，借助于CVD工艺被沉积。

16.按照权利要求15所述的方法，

其特征在于，

在沉积所述结合层（4）和随后沉积每层覆层（2，3）时，每次沉积的温度被降低或者被保持。

17.一种具有多层覆层的被盖覆的物体（1），包括至少一层包括Al_xTi_1-xN的覆层（2），

其特征在于，

所述包括Al_xTi_1-xN的覆层（2）被沉积在包括TiCN长形晶体的TiCN覆层（3）上，其中多达40摩尔%的钛可选地用铝来代替。