[发明专利]预对准机与机械手相对坐标系的标定方法

权利要求书

1.一种预对准机与机械手相对坐标系的标定方法，其特征在于，所述标定方法包括：

S1、设定预对准机所处的坐标系为xoy坐标系，机械手所处的坐标系为x′o′y′坐标系；

S2、利用一处于所述xoy坐标系内的晶圆相对于所述x′o′y′坐标系径向移动，确定所述x′o′y′坐标系在所述xoy坐标系内的姿态；

S3、将所述晶圆相对于所述x′o′y′坐标系转动，确定所述x′o′y′坐标系在所述xoy坐标系内的位置，即得到所述机械手与所述预对准机的相对位置关系。

2.根据权利要求1所述的预对准机与机械手相对坐标系的标定方法，其特征在于，在步骤S2中，确定所述x′o′y′坐标系在所述xoy坐标系内姿态的方法包括：

S201、将处于所述xoy坐标系内的所述晶圆的圆心转移至某一位置B，得出B点相对于所述xoy坐标系原点的偏心量d=BO；

S202、将所述机械手移动至接近B点的某一位置A，再将所述机械手与所述晶圆一起沿o′A方向移动距离d，记下所述机械手新处的位置A′、所述晶圆圆心新处的位置B′；

S203、测量出B′点的偏心量d′=B′O，则所述x′o′y′坐标系在所述xoy坐标系内的姿态角t=B′BO，根据余弦定理求得：

t=arccos(2·d2-d′22·d2)=arccos(1-12·(d′d)2).]]>

3.根据权利要求2所述的预对准机与机械手相对坐标系的标定方法，其特征在于，步骤S2还包括修正参数的步骤：

S204、在标定所述x′o′y′坐标系在所述xoy坐标系内的姿态角t后，将所述机械手与所述预对准机配合对所述晶圆偏心进行补偿，补偿后再次计算所述晶圆的偏心量；

若偏心量读数在要求范围内，则标定成功；若偏心量读数在要求范围之外，则重新进行标定。

4.根据权利要求3所述的预对准机与机械手相对坐标系的标定方法，其特征在于，在步骤S3中，确定所述x′o′y′坐标系在所述xoy坐标系内位置的方法包括：

S301、标记所述晶圆圆心在所述xoy坐标系内的初始位置B，标记所述机械手在所述xoy坐标系内的初始位置A；

S302、将所述机械手和所述晶圆一起绕O′转动角度T，且机械手伸长的长度不变，记下所述机械手新处的位置A′、所述晶圆圆心新处的位置B′；

S303、根据B、B′在所述xoy坐标系中的位置，以及等腰三角形BO′B′的顶角∠B O′B′=T，计算出O′在所述xoy坐标系中的位置，即所述x′o′y′坐标系在所述xoy坐标系内的位置。