[发明专利]一种OLED金属氧化物及其制造方法有效
申请号: | 201210265115.4 | 申请日: | 2012-07-27 |
公开(公告)号: | CN102760750A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 洪孟逸 | 申请(专利权)人: | 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L21/77;H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 210033 江苏省南京市仙林大道科*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 oled 金属 氧化物 及其 制造 方法 | ||
1.一种OLED金属氧化物,其特征在于,包括:
扫描线;
第二TFT金属连接线;
数据线,与扫描线垂直交叉;
电流供应线,与数据线平行间隔;
绝缘层;
第一TFT,包括:与扫描线连接的第一栅极、与数据线连接的第一源极、以及位于绝缘层上的第一TFT半导体层;
第二TFT,包括:与第二TFT金属连接线连接的第二栅极、与电流供应线连接的第二源极、位于绝缘层上的第二TFT半导体层;
共通电极,覆盖所述扫描线、第二TFT金属连接线、数据线、电流供应线、第二TFT、以及第二TFT,且第二漏极部分露出共通电极;
有机发光层,位于共通电极上;
透明电极,位于有机发光层上,且透明电极与第二漏极连接。
2.如权利要求1所述的OLED金属氧化物,其特征在于:所述绝缘层上设有第一保护层,所述共通电极位于第一保护层上。
3.如权利要求2所述的OLED金属氧化物,其特征在于:所述共通电极上设有第二保护层,所述第二保护层上开设有与共通电极连接的第一孔,所述有机发光层位于第一孔内。
4.如权利要求3所述的OLED金属氧化物,其特征在于:还包括贯穿第二保护层、第一保护层和绝缘层并与第二漏极连接的第二孔,所述透明电极穿过该第二孔与第二漏极连接。
5.如权利要求2所述的OLED金属氧化物,其特征在于:所述有机发光层覆盖在共通电极上。
6.如权利要求5所述的OLED金属氧化物,其特征在于:还包括贯穿第一保护层和绝缘层并与第二漏极连接的第二孔,所述透明电极穿过该第二孔与第二漏极连接。
7.如权利要求1所述的OLED金属氧化物,其特征在于:所述扫描线和第二TFT金属连接线同层金属形成的,所述数据线和电流供应线同层金属形成的。
8.一种OLED金属氧化物的制造方法,其特征在于,包括如下步骤:
A)形成扫描线(10)、信号线(50)、电流供应线(60)、绝缘层(30)、第一TFT、以及第二TFT,第一TFT包括第一栅极(11)、第一源极(51)、以及第一TFT半导体层(41),第二TFT包括第二栅极(21)、第二源极(61以及第二TFT半导体层(42);
B)形成上述图案的基础上形成,覆盖一层共通电极(80),该共通电极(80)覆盖整个扫描线(10)、信号线(50)、电流供应线(60)、第一TFT、以及第二TFT,并只露出部分的第二漏极(62);
C)在形成上述图案的基础上,形成与共通电极(80)接触的第一孔、以及与第二漏极(62)接触的第二孔(91),接着在第一孔内形成有机发光层(100);
D)在形成上述图案的基础上,形成作为覆盖有机发光层(100)的透明电极(110),该透明电极(110)延伸至第二孔(91)的内部并延伸至第二漏极(62)。
9.根据权利要求8所述的OLED金属氧化物的制造方法,其特征在于,所述步骤C),在形成有机发光层(100)之前,先形成覆盖共通电极(80)的第二保护层(90),然后在第二保护层(90)上形成与共通电极(80)接触的第一孔、以及与第二漏极62接触的第二孔91。
10.根据权利要求8所述的OLED金属氧化物的制造方法,其特征在于,所述步骤A)包括如下步骤:
A1)形成扫描线(10)、与扫描线(10)连接的第一栅极(11)、第二TFT金属连接线(20)、以及与第二TFT金属连接线(20)连接的第二栅极(21);
A2)在形成上述图案的基础上,形成绝缘层(30),并在绝缘层(30)上形成第一TFT半导体层(41)和第二TFT半导体层(42);
A3)在形成上述图案的基础上,在绝缘层(30)开设有与第二TFT金属连接线(20)接触的接触孔,接着形成信号线(50)、与信号线(50)连接的第一源极(51)、第二漏极(52)、电流供应线(60)、与电流供应线(60)连接的第二源极(61)、第二漏极(62),第二漏极(62)一端通过所述接触孔与第二TFT金属连接线20接触。
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