[发明专利]一种具有散热功能的三维封装方法在审
申请号: | 201210112868.1 | 申请日: | 2012-04-16 |
公开(公告)号: | CN103378026A | 公开(公告)日: | 2013-10-30 |
发明(设计)人: | 朱韫晖;马盛林;朱智源;金玉丰;其他发明人请求不公开姓名 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | H01L23/473 | 分类号: | H01L23/473;H01L23/31 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 散热 功能 三维 封装 方法 | ||
1.一种具有散热功能的三维封装方法,包括堆叠芯片、转接板层、基板、内部散热剂、密封封装等部分,其特征在于:
芯片进行三维堆叠,上下层芯片间形成一定的空间距离便于散热以及内部散热剂的流动,并通过导电材料填充和微凸点形成互连;堆叠芯片通过转接板层和下面的基板进行互连;内部散热剂是液体;密封封装的内侧壁上形成许多小孔,以便散热剂的出入;密封封装的外壁通过两个开口形成散热剂的循环散热。密封封装入口处外力作用所加压强大于出口处,由于压强差,散热剂便开始流动循环,从而带走芯片工作产生的热量,有效地避免芯片由于温度升高而产生对性能的影响。
2.根据权利要求1所述的一种具有散热功能的三维封装方法,其特征在于,散热剂在密封封装的入口流入,从出口流出并通过外部作用形成散热剂的循环流动并带走热量,可以根据芯片实际工作情况,通过控制散热剂的流量和流速来进行散热调节。
3.根据权利要求1所述的一种具有散热功能的三维封装方法,其特征在于,芯片上集成功能电路之前或者之后,打孔并填充铜或者铝形成上下层芯片的垂直互连线,一般是圆柱体结构,并在这种互连线的上下两端均形成微凸点便于互连。
4.根据权利要求1所述的一种具有散热功能的三维封装方法,其特征在于,芯片的三维堆叠通过上下层芯片的微凸点直接互连实现。
5.根据权利要求1所述的一种具有散热功能的三维封装方法,其特征在于,散热剂为甘油或者乙醇。
6.根据权利要求1所述的一种具有散热功能的三维封装方法,其特征在于,微凸点通过电镀、植球或者丝网印刷实现,材料为良性导体。
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