[发明专利]机器人手和机器人

说明书

技术领域

本文所讨论的实施方式涉及机器人手和机器人。

背景技术

已知用于基板输送的常规机器人，该机器人输送诸如半导体晶片的盘状基板。机器人具有机器人手，该机器人手包括诸如夹持爪的多个夹持构件并且将被放置在机器人手上的基板的周缘部夹在夹持构件之间以将基板夹持在预定位置。

例如，日本特开平10-279068号公报公开了一种基板输送装置，该装置包括机器人手，该机器人手具有为可动夹持构件的移动导向件和为固定夹持构件的固定导向件，该机器人手通过使用移动导向件将基板压到固定导向件的壁表面以执行夹持操作。

然而，常规的机器人手存在夹持构件由于反复挤压而易于磨坏的问题。为此，夹持构件被高度频繁地更换，因此给维修带来了许多麻烦。

鉴于上述问题已经实现了实施方式的一方面，并且实施方式的目的在于提供一种能抑制构件的磨蚀以降低维修成本的机器人手和机器人。

发明内容

根据实施方式的一方面的机器人手和机器人包括支撑单元。所述支撑单元布置在基座上并且接触基板的周缘部以夹持该基板。所述支撑单元中的至少一个单元在抵接所述基板的所述周缘部的同时进行旋转。

根据实施方式的一方面，构件的磨蚀能被抑制以降低维修成本。

附图说明

本发明的更全面的理解和本发明伴随的优点中的许多优点将容易获得，因为当结合附图考虑时通过参考下列详细说明能更好地理解本发明，附图中：

图1是示出根据实施方式的机器人的构造示例的示意图；

图2是示出根据实施方式的机器人手的构造示例的示意图；

图3是示出可动爪的操作的示意图；

图4A和图4B是示出固定爪的构造示例的示意图；

图5A和图5B是示出辊的操作的示意图；

图6A和图6B是示出根据替代实施例的机器人手的构造示例的示意图；以及

图7是示出常规的固定爪的构造示例的示意图。

具体实施方式

在下文中，将参照附图详细地说明根据本公开内容的实施方式的机器人手和机器人。

在下文中，主要说明的是，基板是半导体晶片。

假定夹持构件主要被描述为“夹持爪”，该夹持构件将基板的周缘部夹入中间并且夹持该周缘部。而且，假定“夹持爪”的“夹持”除将基板的周缘部夹入中间之外还包括将基板支撑在预定位置处。换言之，“夹持爪”可以被称为“支撑单元”。

图1是示出根据实施方式的机器人1的构造示例的示意图。为了使该说明可以理解，在图1中示出了三维直角坐标系，该坐标系包括其正向是竖直向上方向的Z轴。直角坐标系可以由其它附图采用，该其它附图用于在下文被说明。

如图1所示，机器人1是关节型机器人，并且包括：基座2，臂3、5和7，关节4、6和8，以及机器人手10。

控制装置20连接至机器人1。由机器人1执行的基板夹持操作和输送操作受控制装置20控制。而且，基于被预先存储在控制装置20中的教导数据执行该控制。

臂3被沿竖直方向(Z轴方向)从基座2以可滑动的方式设置(见示意图中的双头箭头a0)。结果，机器人手10能沿竖直方向上升和下降。

臂5经由关节4连接到臂3。这时，臂5绕关节4的旋转轴线a1以可旋转的方式支撑(见绕旋转轴线a1的双头箭头)。类似地，臂7经由关节6连接到臂5。这时，臂7绕关节6的旋转轴线a2以可旋转的方式支撑(见绕旋转轴线a2的双头箭头)。

机器人手10是夹持放置在其上的诸如半导体晶片的基板的末端执行器。机器人手10经由关节8连接到臂7的末端。这时，机器人手10绕关节8的旋转轴线a3以可旋转的方式支撑(见绕旋转轴线a3的双头箭头)。

在此，关节4、关节6和关节8中的每个均包括诸如致动器和马达的驱动机构(未示出)。臂5、臂7和机器人手10根据驱动机构的驱动在沿着示意图中的XY平面执行转动操作。

图1已经示出机器人1包括一个机器人手10。然而，机器人手的数量不限于一个。例如，多个机器人手可以以如模拟时钟的分针和时针一样的重叠方式绕旋转轴线a3设置。

接着，参照图2说明根据实施方式的机器人手10的构造示例。图2是示出根据实施方式的机器人手10的构造示例的示意图。图2所示的示意图是当从Z轴的正向观察时的机器人手10的平面图。在此，省略了关于图1中已示出的臂5、关节6、臂7、关节8、旋转轴线a2以及旋转轴线a3的说明。