[实用新型]一种SiC单晶生长籽晶粘接压盘有效
| 申请号： | 201120210872.2 | 申请日： | 2011-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN202164388U | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 毛开礼;王英民;李斌;徐伟;周立平;田牧;姜志艳 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二研究所 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 山西科贝律师事务所 14106 | 代理人： | 陈奇 |
| 地址： | 030024 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 sic 生长 籽晶 粘接压盘 | ||
【权利要求书】：
1.一种SiC单晶生长籽晶粘接压盘，包括上压盘（2）、下压盘（6），在下压盘（6）的盘中设置有测温圆盘（10），在测温圆盘（10）中设置有籽晶托圆台（9），其特征在于，在上压盘（2）的下底面中部设置有气囊（5），气囊（5）的进气管路（7）通过设置在上压盘（2）中央的密封压力孔与气囊（5）连通，上压盘（2）通过锁紧螺栓（1）与下压盘（6）扣接在一起，在上压盘（2）与下压盘（6）之间设置有密封圈（4），气囊（5）活动设置在籽晶托圆台（9）的上表面上，在下压盘（6）的底盘中设置有使压盘内形成负压的抽真空通路（11），在测温圆盘（10）中设置有热电偶（12）。
2.根据权利要求1所述的一种SiC单晶生长籽晶粘接压盘，其特征在于，锁紧沉头螺钉（8）通过压紧圆环（3）将气囊（5）压接在上压盘（2）的下底面上，在下压盘（6）的底盘中设置有测温圆盘（10）的定位台，在测温圆盘（10）中设置有籽晶托圆台（9）的定位台。
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