[发明专利]一种硅片传输机器人

说明书

技术领域

本发明涉及在半导体集成电路生产线设备制造领域内，一种特殊结构的硅片传输机器人，用于完成特殊位置的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径过大而不能及、且行走轨迹较为复杂时，采用本发明的特殊结构的硅片传输机器人，能够简化R轴的工作路径和行走轨迹，化简程序编制的难度及工作量，并能有效的提高工作效率。

背景技术

对于硅片传输机器人来说，有时取放硅片的位置比较特别。尤其是工艺性能比较先进的集成电路生产线，在每一工位位置中完成的工步数量越来越多，这就意味着在每一个工位上，硅片传输机器人取放硅片的位置越来越多，取放硅片的空间越来越大，FORK组合的工作轨迹越来越复杂。在这种工作环境下，仅利用传统的R轴来完成工作流程将非常困难甚至是不可能的。此时采用本发明的特殊结构的硅片传输机器人，能够增加R轴的输送半径，简化R轴的工作路径和行走轨迹，化简程序编制的难度及工作量，并能有效的提高工作效率。特殊结构的硅片传输机器人的特殊之处，在于其R轴与传统意义上的R轴有本质上的不同。本发明中的R轴由左右固定臂和活动臂及取片臂组成，各个臂之间没有复杂的传动关系，而是由各自的伺服电机、传动丝杠与传动丝母独立组成，由计算机独立控制其工作状态；整个R轴系统安装在上盖板的上端面。上盖板随T轴旋转，通过铺设在上盖板上表面的导轨滑块机构定位，以伺服电机带动丝杠丝母机构作为驱动装置，驱动左右活动臂分别前后平移；而左右活动臂上也铺设导轨滑块机构定位，以伺服电机带动丝杠丝母机构作为驱动，驱动左右取片臂分别前后平移，带动左右FORK组合分别进行前后平移；以上Z轴的升降、T轴的旋转、R轴固定臂、活动臂的平移，叠加成FORK组合的工作轨迹，以完成大直径空间的多工步取放硅片工作流程。

发明内容

本发明的目的在于提供一种硅片传输机器人，用于完成大直径空间、多工步的取放硅片工作流程。特殊结构的硅片传输机器人的R轴由左右固定臂和活动臂及取片臂组成，各个臂之间没有复杂的传动关系，而是由各自的伺服电机、传动丝杠与传动丝母独立组成，由计算机独立控制其工作状态。通过Z轴的升降、T轴的旋转、R轴固定臂、活动臂的平移，叠加成FORK组合的工作轨迹，以完成大直径空间的多工步取放硅片工作流程。

本发明的发明目的实现过程为：一种特殊结构的硅片传输机器人包括机箱组合、Z轴传动支撑机构、T轴旋转机构、R轴左右固定臂机构、R轴左右活动臂机构、R轴左右取片臂及FORK组合机构，其中：

机箱组合包括：机箱内衬套组合76、机箱内衬套门组合77；

Z轴传动支撑机构包括：Z轴上电子限位挡片38、三角支撑滑块42、Z轴丝杠轴承44、Z轴传动丝杠45、Z轴传动丝母46、上定位座48、Z轴电机联轴器50、Z轴电机驱动模块组合51、支撑花键轴52、Z轴下电子限位挡片组合53、Z轴下电子限位光电传感器54、Z轴上电子限位传感器55、下安装座67；

T轴旋转机构包括：T轴大臂轴39、T轴谐波减速器40、T轴电机组合41、T轴编码器43、T轴联接盘47；

R轴左右固定臂机构包括：R轴右固定臂丝杠轴承25、R轴右固定臂前端限位光电传感器26、R轴右固定臂前端支撑27、R轴右固定臂滑座28、R轴右固定臂前端电子限位挡片29、R轴右固定臂后端电子限位挡片30、R轴右固定臂传动丝母31、R轴右固定臂导轨滑块32、R轴右固定臂定位导轨33、R轴右固定臂传动丝杠34、R轴右固定臂后端电子限位光电传感器35、R轴右固定臂电机安装板36、R轴右固定臂伺服电机37、R轴随动机箱49、R轴右固定臂导轨定位钢棒56、机顶定位盖板组合57、R轴左固定臂导轨定位钢棒58、R轴左固定臂传动丝杠59、R轴左固定臂伺服电机60、R轴左固定臂电机安装板61、R轴左固定臂定位导轨62、R轴左固定臂导轨滑块63、R轴左固定臂后端电子限位光电传感器64、R轴左固定臂传动丝母65、R轴左固定臂滑座66、R轴左固定臂后端电子限位挡片68、R轴左固定臂前端电子限位挡片69、R轴左固定臂丝杠轴承70、R轴左固定臂前端支撑71、R轴左固定臂前端电子限位光电传感器72；