[发明专利]器件处理器有效
申请号: | 201010608445.X | 申请日: | 2010-12-23 |
公开(公告)号: | CN102142386A | 公开(公告)日: | 2011-08-03 |
发明(设计)人: | 柳弘俊;尹芸重 | 申请(专利权)人: | 宰体有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 余朦;熊传芳 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 器件 处理器 | ||
1.一种器件处理器,其特征在于,包括:
切片载入部,载入装载有器件的切片;
切片移动台,接收从所述切片载入部供给的所述切片,移动装载有器件的所述切片;
捡起工具,从所述切片移动台上的所述切片中捡起合格的器件;以及
器件卸载部,其包括:第一窝伏尔组件移送部,移动第一窝伏尔组件并进行卸载,其中所述第一窝伏尔组件安放有由所述捡起工具捡起的器件;以及第二窝伏尔组件移送部,与通过所述第一窝伏尔组件移送部移送的第一窝伏尔组件进行联动,移动第二窝伏尔组件并进行卸载,其中所述第二窝伏尔组件安放有由所述捡起工具捡起的器件。
2.根据权利要求1所述的器件处理器,其特征在于,所述器件卸载部包括:
窝伏尔组件载入部,层叠有多个窝伏尔组件,并依次供给所述窝伏尔组件;以及
至少一个窝伏尔组件移送工具,从所述窝伏尔组件载入部移送所述窝伏尔组件,并传递给所述第一窝伏尔组件移送部或所述第二窝伏尔组件移送部。
3.根据权利要求2所述的器件处理器,其特征在于,所述窝伏尔组件移送工具包括:
第一窝伏尔组件移送工具,向第一方向移送所述窝伏尔组件;以及
第二窝伏尔组件移送工具,通过所述第一窝伏尔组件移送工具将所述窝伏尔组件移送完毕之后,向第二方向移送所述窝伏尔组件,并传递给所述第一窝伏尔组件移送部或所述第二窝伏尔组件移送部。
4.根据权利要求3所述的器件处理器,其特征在于,
所述第一窝伏尔组件移送部和所述第二窝伏尔组件移送部,分别通过第一导向部和第二导向部依次卸载所述窝伏尔组件;所述第一窝伏尔组件移送工具,通过所述第二导向部和第三导向部,依次移送所述窝伏尔组件;所述第二窝伏尔组件移送工具,通过所述第二导向部和第四导向部,依次移送所述窝伏尔组件;从而传递给所述第一窝伏尔组件移送部或所述第二窝伏尔组件移送部。
5.根据权利要求4所述的器件处理器,其特征在于,
根据所述窝伏尔组件的尺寸,以不同宽度和长度的部件交替所述第二导向部。
6.根据权利要求1所述的器件处理器,其特征在于,所述第一窝伏尔组件移送部和所述第二窝伏尔组件移送部分别包括:
第一窝伏尔组件增压部件和第二窝伏尔组件增压部件,分别支撑窝伏尔组件的前端和后端,以固定窝伏尔组件;
移动机体,安装有所述第一窝伏尔组件增压部件和所述第二窝伏尔组件增压部件,分别支撑所述窝伏尔组件的底面;以及
机体驱动部,沿着机体导向部件分别移动各个所述移动机体。
7.根据权利要求6所述的器件处理器,其特征在于,
所述第一窝伏尔组件增压部件和所述第二窝伏尔组件增压部件设置有滚轮,其与窝伏尔组件的前端和后端接触的状态下,能够旋转。
8.根据权利要求6所述的器件处理器,其特征在于,
所述第一窝伏尔组件增压部件和所述第二窝伏尔组件增压部件中的至少一个,设置于所述移动机体。
9.根据权利要求6所述的器件处理器,其特征在于,所述移动机体包括:
固定机体,沿着所述机体导向部件能够移动地设置;
支撑机体,与所述固定机体一起,能够上下移动地设置。
10.根据权利要求1所述的器件处理器,其特征在于,
所述器件卸载部还设置有图像获取部,其用于执行在器件安放状态的可视检测以及对器件上面的可视检测中的至少一个,获取安放于窝伏尔组件的器件的图像。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造