[发明专利]数组基板及其制作方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种数组基板的制作方法及其结构，特别是关于一种可避免透明电极发生裂缝的数组基板的制作方法及其结构。

背景技术

在现今各项影像显示技术中，液晶面板由于具有重量轻、体积小、耗电量低、无辐射等优点，已广泛的被使用在各种电子装置中。 

一般而言，液晶面板的一数组基板上，设有复数条扫描线与复数条资料线。扫描线与数据线交错排列，将基板划分为复数个画素单元。每一画素单元皆具有一画素电极以及一薄膜晶体管。薄膜晶体管与扫描线与数据线耦接，作为画素电极的开关组件。在穿透式的液晶面板的基板以及半反射半穿透式的液晶面板的穿透区域，其画素电极是使用透明导电材料例如铟锡氧化物来制作。

通常在扫描线、数据线和薄膜晶体管上会覆盖一平坦层，然后再于平坦层上形成透明导电材料作为画素电极，但由于一般所使用的平坦层的材料的热膨胀系数和透明导电材料相差太大，导致基板经过热处理，例如退火后，透明导电材料机械结构较弱的地方会产生裂缝。

发明内容

因此本发明提供一种数组基板及其制作方法以解决上透明导电材料产生裂缝的问题。

为了实现上述目的，本发明采用一下技术特征，一种数组基板的制作方法，包含：

首先，提供一基板，基板上设有一薄膜晶体管包含一闸极、一闸介电层、一源极电极和一汲极电极，然后，形成一有机材料层覆盖基板和薄膜晶体管，接着，形成一开口于有机材料层并且曝露出汲极电极，之后，形成一第一无机材料层覆盖开口的侧壁及至少部分有机材料层，且第一无机材料层至少曝露出汲极电极，最后，形成一图案化透明画素电极层于第一无机材料层上并且经由开口接触汲极电极。

一种数组基板，包含：一基板，基板上设有一薄膜晶体管包含一闸极、一闸极介电层、一源极电极和一汲极电极，一有机材料层覆盖基板和薄膜晶体管，一开口贯穿有机材料层并且汲极电极经由开口曝露出来，一第一无机材料层至少覆盖开口的侧壁与部分的有机材料层，并且汲极电极经由开口曝露出来以及一图案化透明画素电极层位于第一无机材料层上以及开口中并且接触汲极电极。

本发明将图案化透明画素电极层设置于无机材料层上，由于图案化透明画素电极层和无机材料层的热膨胀系数相近，使得在无机材料层上的图案化透明画素电极层不会因为温度变化而产生裂痕。

附图说明

图1为根据本发明的较佳实施例所绘示的数组基板的上视图。

图2为根据本发明的第一较佳实施例沿AA’剖线方向以及BB’剖线方向的侧视图。

图3为根据本发明的第二较佳实施例沿AA’剖线方向以及BB’剖线方向的侧视图。

图4为根据本发明的第三较佳实施例沿AA’剖线方向以及BB’剖线方向的侧视图。

图5为根据本发明的第四较佳实施例沿AA’剖线方向以及BB’剖线方向的侧视图。

图6至图10为本发明的数组基板的制作方法示意图。

 

  【主要组件符号说明】

10    数组基板                    12       基板

14    组件区                      16       画素区

18    薄膜晶体管                  20       闸极

22    闸极介电层                  24       半导体层

26    源极电极                    28       汲极电极

30    有机材料层                  32       开口

34    第一无机材料层              36       图案化透明画素电极层

38    主画素电极                  40       架桥电极

134   第二无机材料层。                     

具体实施方式

在说明书及权利要求书当中使用了某些词汇来指称特定的组件。所属领域中具有通常知识者应可理解，制造商可能会用不同的名词来称呼同样的组件。本说明书及后续的申请专利范围并不以名称的差异来作为区别组件的方式，而是以组件在功能上的差异来作为区别的基准。在通篇说明书及后续的请求项当中所提及的「包含」是为一开放式的用语，故应解释成「包含但不限定于」。

图1为根据本发明的较佳实施例所绘示的数组基板的上视图。图2为根据本发明的第一较佳实施例沿图1中的AA’剖线方向的侧视图以及沿图1中的BB’剖线方向的侧视图。