[发明专利]探针组合体及检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于检查液晶面板、集成电路等平板状的被检查体的探针组合体及检查装置。

背景技术

液晶面板等平板状的被检查体通常要用探针单元进行检查。这种探针单元有一种排列多个薄板状的刀片型探针而构成的类型的探针单元。这种探针单元的例子有专利文献1。下面简要说明该专利文献1的发明。

如图2及图3所示，探针组合体1包括：块状体2、并列地配置在块状体2的下侧的带状的多个探针3、穿过探针3的一对细长的导杆4、收容探针3的一部分的一对槽杆5、使针尖的位置稳定在探针3的后端侧的较长的引导构件6、使导杆4支承在块状体2上的一对侧罩7。

各探针3具有带状的中央区域3A、从该中央区域的前端和后端向前方和后方伸出的一对针尖区域3B和3C。中央区域3A在各端部具有供导杆4穿过的引导孔3D。将导杆4穿入到引导孔3D中，并使各针尖区域3B及3C与槽杆5相嵌合，从而将各探针3配置在块状体2的下侧。

由此，针尖区域3B的探针与设于液晶面板上的电极进行接触而电连接，从而进行控制信号的发送等。

专利文献1：日本特开平10-132853号公报

但是，上述探针是易耗品，需要进行更换。在该更换作业中，有时只更换一部分探针。例如，有时一片探针折断则只更换该一片探针。此时，探针更换作业需要慎重。由于一片一片的探针非常轻而容易散乱，因此，在更换排列在一起的多个探针中的一部分探针时，有时即使只是稍稍碰一下探针也会导致探针散乱、破损。因此，探针更换作业需要慎重地进行，存在作业效率差这样的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而作成的，其目的在于，提供一种能容易且安全地更换探针的探针单元及检查装置。

为了解决上述课题，本发明的探针组合体支承刀片型探针使刀片型探针与被检查体的电极电接触，其包括：块状片，其一体地支承多个上述刀片型探针；两个槽杆，它们分别设于该块状片的前端侧和基端侧，并分别空开恒定间隔地支承多个上述刀片型探针的前端侧和基端侧；一个以上的导杆，其分别贯穿多个上述刀片型探针，一体地支承各刀片型探针；侧盖，其固定于上述块状片上，支承上述导杆；更换轴，其被配设成与上述槽杆一起夹着多个上述刀片型探针的前端侧或基端侧，防止嵌合于上述槽杆中的上述刀片型探针的前端侧或基端侧在进行更换上述刀片型探针的作业时从该槽杆中脱落；内盖，其安装于上述块状片上，覆盖上述刀片型探针及上述槽杆，并支承上述更换轴；嵌合部，其面向上述刀片型探针侧地设于前端侧或基端侧的上述槽杆上；被嵌合部，其面向上述槽杆的嵌合部侧地设于上述各刀片型探针上，通过与该嵌合部相嵌合而将该刀片型探针定位并临时固定于该槽杆上，上述更换轴和内盖在进行更换上述刀片型探针的作业时设置。

采用上述结构，在更换多个刀片型探针中的一部分时，将上述各刀片型探针弄散，使各刀片型探针的一端的被嵌合部与上述槽杆的嵌合部相嵌合而对各刀片型探针进行定位及临时固定，并用上述更换轴和上述槽杆夹着探针的另一端，从而抑制了各刀片型探针散乱。在该状态下，将要更换的刀片型探针抽出，更换成新的刀片型探针。

优选是，上述嵌合部由上述槽杆的面向上述刀片型探针侧而设的凸条构成；上述被嵌合部由上述各刀片型探针中的面向上述槽杆的嵌合部侧而设的凹状缺口构成。

检查装置包括从外部搬入被检查体并在检查结束后将被检查体搬往外部的放置(set)部，和支承从该放置部接过来的被检查体并对其进行测试的测定部；上述测定部的探针单元优选组装有上述探针组合体。

如上所述，通过将上述各刀片型探针的一端的被嵌合部与上述槽杆的嵌合部相嵌合而将该各刀片型探针定位并临时固定在该槽杆上，并将各刀片型探针的另一端部夹在上述槽杆和更换轴之间而进行支承，更换各刀片型探针，因此，抑制了各刀片型探针散乱，可以容易且安全地更换探针。

附图说明

图1是表示本发明实施方式的探针单元的探针组合体的分解立体图。

图2是表示以往的检查装置的探针组合体的立体图。

图3是表示以往的检查装置的探针组合体的侧视剖视图。

图4是表示本发明实施方式的探针单元的立体图。

图5是表示本发明实施方式的探针单元的局部剖切侧视图。

图6是表示本发明实施方式的探针单元的刀片型探针的侧视图。

图7是表示从本发明实施方式的探针单元的探针组件的背面看该探针组件时的立体图。

图8是表示本发明实施方式的探针单元的刀片型探针的更换作业的侧视图。

具体实施方式