[发明专利]探针组合体及检查装置

权利要求书

1.一种探针组合体，其支承刀片型探针使刀片型探针与被检查体的电极电接触，其特征在于，该探针组合体包括：

块状片，其一体地支承多个上述刀片型探针；

两个槽杆，它们分别设于该块状片的前端侧和基端侧，并分别空开恒定间隔地支承多个上述刀片型探针的前端侧和基端侧；

一个以上的导杆，其分别贯穿多个上述刀片型探针，一体地支承各刀片型探针；

侧盖，其固定于上述块状片上，支承上述导杆；

更换轴，其被配设成与上述槽杆一起夹着多个上述刀片型探针的前端侧或基端侧，防止嵌合于上述槽杆中的上述刀片型探针的前端侧或基端侧在进行更换上述刀片型探针的作业时从该槽杆中脱落；

内盖，其安装于上述块状片上，覆盖上述刀片型探针及上述槽杆，并支承上述更换轴；

嵌合部，其面向上述刀片型探针侧地设于前端侧或基端侧的上述槽杆上；

被嵌合部，其面向上述槽杆的嵌合部侧地设于上述各刀片型探针上，通过与该嵌合部相嵌合而将该刀片型探针定位并临时固定于该槽杆上，

上述更换轴和内盖在进行更换上述刀片型探针的作业时设置。

2.根据权利要求1所述的探针组合体，其特征在于，

上述嵌合部由上述槽杆的面向上述刀片型探针侧而设的凸条构成；

上述被嵌合部由上述各刀片型探针中的面向上述槽杆的嵌合部侧而设的凹状缺口构成。

3.一种用于检查被检查体的检查装置，其特征在于，

该检查装置包括从外部搬入被检查体并在检查结束后将被检查体搬往外部的放置(set)部，和支承从该放置部接过来的被检查体并对其进行测试的测定部；

上述测定部的探针单元上组装有探针组合体，该探针组合体包括：

块状片，其一体地支承多个上述刀片型探针；

两个槽杆，它们分别设于该块状片的前端侧和基端侧，并分别空开恒定间隔地支承多个上述刀片型探针的前端侧和基端侧；

一个以上的导杆，其分别贯穿多个上述刀片型探针，一体地支承各刀片型探针；

侧盖，其固定于上述块状片上，支承上述导杆；

更换轴，其被配设成与上述槽杆一起夹着多个上述刀片型探针的前端侧或基端侧，防止嵌合于上述槽杆中的上述刀片型探针的前端侧或基端侧在进行更换上述刀片型探针的作业时从该槽杆中脱落；

内盖，其安装于上述块状片上，覆盖上述刀片型探针及上述槽杆，并支承上述更换轴；

嵌合部，其面向上述刀片型探针侧地设于前端侧或基端侧的上述槽杆上；

被嵌合部，其面向上述槽杆的嵌合部侧地设于上述各刀片型探针上，通过与该嵌合部相嵌合而将该刀片型探针定位并临时固定于该槽杆上，

上述更换轴和内盖在进行更换上述刀片型探针的作业时设置。

4.根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于，

上述嵌合部由上述槽杆的面向上述刀片型探针侧而设的凸条构成；

上述被嵌合部由上述各刀片型探针中的面向上述槽杆的嵌合部侧而设的凹状缺口构成。