[发明专利]IC芯片封装和具有该IC芯片封装的图像显示装置有效
申请号: | 200780045143.2 | 申请日: | 2007-12-06 |
公开(公告)号: | CN101548372A | 公开(公告)日: | 2009-09-30 |
发明(设计)人: | 加藤达也;久户濑智;中川智克 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;G02F1/1345;H01L21/3205;H01L23/12;H01L23/52;H01L25/065;H01L25/07;H01L25/18 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 闫小龙;李家麟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | ic 芯片 封装 具有 图像 显示装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种封装和具有该封装的图像显示装置,在上述封装中 例如安装有其中具备细间距(Fine Pitch)端子的IC芯片。
背景技术
随着液晶显示装置的高精细化、高性能化发展,就要求液晶显示装 置中搭载的液晶驱动器(IC芯片)具有更多的输出。
一般情况下,通过缩小芯片尺寸以及对芯片的凸点进行细间距(微 细)化配置来实现IC芯片的多输出化。最近,较多地采用可实现细间 距化的、安装裸芯片液晶驱动器的COF(Chip On Film:薄膜覆晶)。
根据最近的COF封装技术,通过加热加压使IC芯片上的凸点与载 带上的内部引线键合,由此实现载带和IC芯片之间的导通。但是,根 据这样的键合方法,为了消除凸点位置和内部引线位置之间的偏差,需 要使用热变形小、高精细的载带材料。即,上述技术的缺陷在于,所要 实现的细间距限制了载带所能选用的材料范围。
为了克服以上缺陷,专利文献1揭示了一种借助于中介基板 (Interposer Substrate)连接IC芯片和电路基板(载带)的方法。图13 表示了专利文献1所述的封装结构的剖面图。
如图13所示,以芯片倒装键合(Flip Chip Bonding)的方式连接IC 芯片104和中介基板101,而且,中介基板101以凸点键合方式连接电 路基板107的电极图案110。中介基板101为硅(Si)基板,且通过硅 晶圆工艺形成,所以,能够以与IC芯片104的电极相同的细间距来形 成和IC芯片104连接的电极。另一方面,以与电路基板107的电极间 距、即较大的间距相同的间距来形成和电路基板107连接的电极。并且, 在连接IC芯片104的电极和连接电路基板107的电极中,对应的电极 在中介基板101上彼此连接。另外,作为电路基板107,可以使用载带。
如上所述,借助于中介基板101实现IC芯片104和电路基板107 之间的互连,这样,可以将IC工艺水平的细间距转换为载带工艺水平 的电极间距。所以,即使是安装其连接电极由于IC芯片小型化及多输 出化而实现高度细间距化的IC芯片的COF封装,其载带基材的选用范 围也能得以扩大。
另外,为了应对细间距化,使用硬度和熔点较高的金属或合金凸点 来连接IC芯片104和中介基板101。例如,使用金(Au)凸点进行Au-Au 键合。通过使用这样的材料,能够抑制凸点变形、防止相邻凸点相互接 触,因此,能够将端子间距缩小到25μm左右,从而能够实现IC芯片的 多输出化。
另一方面,中介基板和载带的连接端子间距可以大于IC芯片的连 接端子间距,例如,可以为50-100μm左右。
在封装制造过程中,在贴合电路基板107和中介基板101时,如果 电路基板107由载带或载膜那样较薄的材料构成使得能够透视电路基板 107从而可对其相反侧进行观察,就能够由电路基板107的与中介基板 101安装面相反一侧的面进行透视观察从而实现电路基板107和中介基 板101的位置对准。但是,中介基板101例如是由硅(Si)构成的基板, 其厚度较大而无法进行上述透视,并且,IC芯片104也具有无法进行透 视的结构,因此,在贴合中介基板101和IC芯片104时,无法使用上 述透视方法来实现中介基板101和IC芯片104的位置对准。
另外,虽然制造设备等对IC芯片的性能并无影响,但是,切割加 工处理可能造成IC芯片的外形发生局部变化从而导致与设计尺寸不符。 所以,即使中介基板预先形成有用于确保该中介基板与IC芯片进行位 置对准的标记,但是,由于该标记是根据按照设计尺寸制造的IC芯片 进行配置的标记,因此,如果要安装的IC芯片的外形发生了上述变化, 就难以准确地实现位置对准。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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