[发明专利]升降销驱动装置以及具有该装置的制造设备有效

专利信息
申请号: 200710181232.1 申请日: 2007-10-25
公开(公告)号: CN101202239A 公开(公告)日: 2008-06-18
发明(设计)人: 金钟仙;李昌根;郑元基 申请(专利权)人: 爱德牌工程有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L21/677;H01L21/67;G02F1/1333;H01J9/00
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 蔡洪贵
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 升降 驱动 装置 以及 具有 制造 设备
【权利要求书】:

1.一种升降销驱动装置,包括:

构造成将基板接收在其上的支撑单元;

位于基板下方的销板;

从销板向上延伸从而穿过支撑单元上的对应多个孔的多个升降销;

驱动单元,所述驱动单元构造成向上或向下移动销板以及固定在销板上的多个升降销,从而移动位于其上的基板,所述驱动单元包括驱动电动机、和通过动力传动单元可操作地连接到驱动电动机的多个带轮;以及

构造成控制动力传动单元的张力的张紧器。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述张紧器包括:

固定支架;

可滑动地连接到固定支架上的可动支架;

引导单元,所述引导单元设置在所述固定支架上,以引导所述可动支架相对所述固定支架的直线移动;

张紧辊,所述张紧辊可旋转地连接到所述可动支架上、并且定位成保持与动力传动单元的滚动接触;以及

张力控制单元,所述张力控制单元构造成控制所述可动支架相对所述固定支架的直线移动,从而调节动力传动单元的张力。

3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述引导单元约束所述可动支架的移动,使得所述可动支架的移动被限制为沿所述可动支架的纵向相对所述固定支架的滑动直线移动。

4.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述固定支架包括从垂直部分延伸的水平部分,并且所述引导单元包括设置在所述固定支架的水平部分相反侧表面上的刻度尺。

5.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,所述引导单元包括设置在所述固定支架的水平部分的下表面上的引导凹部,并且引导凹部构造成将所述可动支架可滑动地连接到所述固定支架上。

6.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,所述引导凹部包括:

第一引导部分,所述第一引导部分具有从固定支架水平部分向下延伸的相对垂直侧面;以及

第二引导部分,所述第二引导部分具有从第一引导部分的相对垂直侧面的相应最下端向外延伸的相对水平侧面、以及从其相应水平侧面的末端向下延伸的相对垂直侧面,使得第二引导部分的宽度大于第一引导部分的宽度,其中第二引导部分构造成可滑动地接收所述可动支架的上端。

7.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,引导凹部包括:

第一引导部分,所述第一引导部分具有从所述固定支架的水平部分向下延伸的相对垂直侧面、以及从其相对垂直侧面的相应最下端向内延伸的相对水平侧面;以及

第二引导部分,所述第二引导部分具有从第一引导部分相对水平侧面的相应末端向下延伸的相对垂直侧面,使第二引导部分的宽度小于第一引导部分的宽度,其中第一引导部分构造成可滑动地接收所述可动支架的上端。

8.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,所述引导凹部包括第一和第二引导部分,第一和第二引导部分设置在所述固定支架水平部分的相对侧,使第一和第二引导部分之间具有间隙,并且第一和第二引导部分分别包括沿其垂直侧面水平延伸的纵向槽,使得第一和第二引导部分的纵向槽彼此面对,并且所述纵向槽构造成可滑动地接收所述可动支架的相应边缘,以便可滑动地将所述可动支架连接到所述固定支架上。

9.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,所述可动支架包括:

上水平部分;

下水平部分;以及

从上水平部分的后边缘延伸到下水平部分的对应后边缘的垂直部分,所述垂直部分,其中张紧辊的第一端可旋转地连接到所述上水平部分,张紧辊的第二端可旋转地连接到所述下水平部分。

10.根据权利要求9所述的装置,其特征在于,张力控制单元包括:

调节螺钉,其构造成螺纹啮合地穿过所述固定支架的垂直部分中的对应孔,并且调节螺钉的远端构造成接触所述可动支架的垂直部分并对所述可动支架的垂直部分施加作用力,以使所述可动支架在所述固定支架的引导单元内滑动;以及

至少一个引导杆,其构造成穿过所述固定支架的垂直部分中对应的至少一个引导孔,并且所述至少一个引导杆的远端构造成接触所述可动支架的垂直部分、并且支撑和引导所述可动支架相对所述固定支架的移动。

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