[发明专利]影像感测组件的晶圆级封装构造有效

专利信息
申请号: 200610063629.6 申请日: 2006-12-27
公开(公告)号: CN101211932A 公开(公告)日: 2008-07-02
发明(设计)人: 萧伟民;杨国宾 申请(专利权)人: 日月光半导体制造股份有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H01L23/485;H01L21/60
代理公司: 上海翼胜专利商标事务所 代理人: 翟羽
地址: 中国台湾高雄*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 影像 组件 晶圆级 封装 构造
【权利要求书】:

1.一影像感测组件的晶圆级封装构造包括一影像感测芯片,所述影像感测芯片包括一主动面和一背面,其中所述主动面包括有一光感测区以及若干个焊垫,其特征在于:

所述影像感测芯片还包括有若干个贯通孔,所述贯通孔对准并导通至所述焊垫;

所述影像感测芯片还包括有若干个金属柱,所述金属柱形成于所述贯通孔中,其长度大于所述影像感测晶片的厚度,所述金属柱的一第一端部导接至所述焊垫、一第二端部突出于所述影像感测芯片的背面。

2.如权利要求1所述的影像感测组件的晶圆级封装构造,其特征在于,所述的影像感测组件的晶圆级封装构造另包含有一透明材质层,所述透明材质层设置于所述主动面上。

3.如权利要求1所述的影像感测组件的晶圆级封装构造,其特征在于,所述金属柱为电镀铜。

4.如权利要求1所述的影像感测组件的晶圆级封装构造,其特征在于,所述贯通孔的孔壁形成有一电绝缘层。

5.如权利要求1所述的影像感测组件的晶圆级封装构造,其特征在于,所述第二端部突出于背面的高度介于5~10微米。

6.一影像感测组件的晶圆级封装构造的制造方法,其特征在于,所述方法包括:

提供至少一影像感测芯片,所述影像感测芯片具有一主动面、一背面以及若干个贯通孔,所述主动面包含有一光感测区并形成有若干个焊垫,所述贯通孔对准并导通至所述焊垫;以及

形成若干个金属柱于所述贯通孔中,所述金属柱的一第一端部导接至所述焊垫,所述金属柱的一第二端部突出于所述影像感测芯片的背面。

7.如权利要求6所述的影像感测组件的晶圆级封装构造的制造方法,其特征在于,所述的影像感测组件的晶圆级封装构造的制造方法另包含有:设置于所述主动面上的一透明材质层。

8.如权利要求6所述的影像感测组件的晶圆级封装构造的制造方法,其特征在于,所述金属柱利用电镀方式形成。

9.如权利要求6所述的影像感测组件的晶圆级封装构造的制造方法,其特征在于,所述的影像感测组件的晶圆级封装构造的制造方法另包含有:形成一电绝缘层于所述贯通孔的孔壁。

10.如权利要求6所述的影像感测组件的晶圆级封装构造的制造方法,其特征在于,所述的影像感测组件的晶圆级封装构造的制造方法另包含有:

形成一光阻层于所述影像感测芯片的背面,其厚度介于5~10微米;以及

曝光显影所述光阻层,以形成若干个孔洞,所述孔洞对准并连接至所述贯通孔。

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