[发明专利]散热器及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及散热器及其制造方法，特别涉及采用多孔质材料的散热器及其制造方法。

背景技术

在半导体电源组件那样的、动作时发热量大的半导体设备中，为了使IBGT那样的发热体产生的热散失，要采用散热器。通常，散热器由载置发热体的板状基板、和安装在基板上的多个翅片构成。翅片配置在制冷剂流路内，这样，通过基板和翅片，把发热体产生的热传递给制冷剂。

作为这种散热器的一个例子，专利文献1公开了如下装置，即，采用多孔材料作为翅片材料，使制冷剂流过贯通翅片的多个孔。

专利文献1：日本特开2001-358270号公报

发明内容

但是，已往的散热器，是在对多孔质材料进行加工、制作成翅片后，再把多个翅片粘接到基板上而制成的，所以，散热器的制造时间、制造成本上升，导致生产率降低。

为此，本发明的目的是提供生产率高的散热器。

本发明的散热器，备有基板和多个翅片，上述基板具有与发热体热连接的第1面。上述多个翅片支撑在基板的与第1面相反侧的第2面上，沿预定方向排列，并分别具有多个贯通孔。上述基板和多个翅片是用多孔质材料一体地形成的。

根据本发明，由于基板和多个翅片是用多孔质材料一体地形成的，所以，不必将翅片一个一个地接合到基板上，可减少散热器的制造时间、制造成本，提高生产率。

附图说明

图1表示本发明实施方式1的散热器。

图2表示多孔质金属(藕状多孔部件)的铸造装置。

图3表示多孔质金属(藕状多孔部件)的制造工序。

图4表示本发明实施方式1的另一散热器。

图5表示本发明实施方式2的散热器。

图6表示本发明实施方式3的散热器。

图7表示本发明实施方式4的散热器。

图8表示本发明实施方式4的另一散热器。

图9表示本发明实施方式4的又一散热器。

图10表示本发明实施方式5的散热器。

图11表示本发明实施方式5的另一散热器。

图12表示本发明实施方式6的散热器。

图13表示本发明实施方式7的散热器。

图14表示本发明实施方式8的散热器。

图15表示本发明实施方式9的散热器。

图16表示本发明实施方式10的散热器。

图17表示本发明实施方式11的散热器。

图18表示本发明实施方式11的另一散热器。

图19表示本发明实施方式12的散热器。

图20表示本发明实施方式13的散热器。

图21表示本发明实施方式14的管道和散热器。

图22表示本发明实施方式15的管道和散热器。

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的实施方式。在下面的说明中，对相同或类似的构成要件，在多个附图中注以相同标记或在相同标记上添加适当的后缀进行表示。

实施方式1

图1(a)～(c)是本实施方式1的散热器，用2表示其整体。该散热器2备有板状的基板4和多个(图示例中是4个)大致垂直于基板4的板状翅片6(6a、6b、6c、6d)。基板4具有载置着图未示的发热体(与发热体热连接)的平坦面(第1面)4a。板状翅片6(6a、6b、6c、6d)相互平行地隔开间隔、通过与平坦面4a相反侧的平坦面(第2面)4b支撑在基板4上。在下面的说明中，基板4位于与XY面平行的位置，把翅片6a～6d的排列方向作为Y方向，各翅片6位于与XZ面平行的位置。

各翅片6是藕(莲藕)状部件，备有多个沿大致Y方向延伸的管状孔8。在散热器2的动作时，使制冷剂按照翅片6a、6b、6c、6d的顺序通过孔8朝+Y方向流动。制冷剂例如可采用冷却水、防冻液(乙二醇)等的液体或者冷风、氟里昂等的气体。为了防止制冷剂泄漏，通常，沿制冷剂流动方向，在散热器2的上游及下游设置了配管，并且设置了将翅片6的上部及侧部密封的板，以使制冷剂流过。但是，在空冷式的情况下，也可以不使冷风流过配管内，而将翅片6暴露在大气中。

散热器2的基板4和翅片6，例如是对由铜、镁、铝、硅等金属构成的长方体状多孔质部件(藕状多孔部件)10(图1(d))进行切削加工，加工出与XZ平面平行的1个或1个以上(图1(d)的例中是3个)的槽11(11a、11b、11c)而一体地形成的。另外，如前所述，基板4的平坦面4b，其一部分形成槽11的底面(散热器2的外观)，一部分形成翅片6的假想边界。