[发明专利]晶片保持体及制备半导体的系统有效
| 申请号： | 03801539.0 | 申请日： | 2003-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN1593073A | 公开（公告）日： | 2005-03-09 |
| 发明（设计）人： | 夏原益宏;仲田博彦;柊平启;桥仓学 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | H05B3/20 | 分类号： | H05B3/20;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 程金山 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶片 保持 制备 半导体 系统 | ||
【权利要求书】：
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