专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种VGF法制备砷化镓晶体的装置及方法-CN201711346301.X有效
  • 刘留;王金灵;周铁军;廖斌 - 广东先导先进材料股份有限公司
  • 2017-12-15 - 2020-08-28 - C30B11/02
  • 本发明提供了一种VGF法制备砷化镓晶体的装置及方法,该装置包括:VGF炉体,所述VGF炉体内部设有石英管和设置在所述石英管外侧加热器;所述石英管由上下两部分管体组成,其中上部管体的直径大于下部管体的直径;所述上部管体设有与所述上部管体的直径相匹配的第一PBN坩埚,所述下部管体设有与所述下部管体的直径相匹配的第二PBN坩埚;贯穿所述VGF炉体底部的支撑体;与所述支撑体相连的升降平台,所述升降平台设有与所述VGF炉体底部相连的所述旋转轴。本发明提供的VGF法制备砷化镓晶体的装置通过改进石英管结构,减少一次密封,并提高PBN坩埚的使用寿命,因此该装置稳定性好、长晶成品率高;同时通过改进VGF炉体结构,制备得到的砷化镓晶体长度大且缺陷少。
  • 一种vgf法制备砷化镓晶体装置方法
  • [实用新型]VGF锗单晶生长炉芯模具-CN201420661118.4有效
  • 董汝昆;李武芳;祝永成;包文臻;高云浩;金之生;王朝思 - 云南中科鑫圆晶体材料有限公司
  • 2014-11-07 - 2015-01-28 - C30B11/00
  • 一种VGF锗单晶生长炉芯模具,涉及一种模具,尤其是一种用于VGF锗单晶生长过程中,简化炉芯制作过程,便于固定测温热偶位置的VGF锗单晶生长炉芯模具。本实用新型的VGF锗单晶生长炉芯模具,其特征在于该模具包括底座和连杆,底座与连杆均为圆柱体,连杆的横截面直径小于底座的横截面直径,连杆设置在底座顶部且与底座保持同轴,底座两侧壁上均设置有凹槽,凹槽为两个本实用新型的VGF锗单晶生长炉芯模具,设计科学,结构简单,使用方便,简化了炉芯的制作过程,测温热偶位置放置准确,提高炉芯的制作效率与成功率。
  • vgf锗单晶生长模具
  • [实用新型]生产PBN产品的VGF坩埚用变径型套筒-CN201721166626.5有效
  • 刘汝强;王殿春;孙蕾;赵旭荣;周清波 - 山东国晶新材料有限公司
  • 2017-09-13 - 2018-05-08 - C01B21/064
  • 本实用新型涉及生产PBN产品的VGF坩埚用变径型套筒,包括依次连接的筒身、筒颈和筒头,所述筒颈为空腔圆台体,所述筒身和筒头均为空腔圆柱体,所述筒头的内径与筒颈的上底面内径相同,所述筒身的内径与筒颈的下底面内径相同该变径型套筒在应用到VGF坩埚的生产炉内时,能够更为高效地进行氮化硼沉积,并可使氮化硼能够均匀地沉积在VGF坩埚表面。相比传统的制造工艺,采用变径型套筒此种腔室构造生产出的VGF坩埚,坩埚整体的沉积速率较之前在同种条件下提升10%,从而提高反应气体的利用率,同时VGF坩埚的使用寿命提高30%,具有显著的加工效果和良好的经济价值
  • 生产pbn产品vgf坩埚用变径型套筒

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