专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种多晶硅硅块腐蚀清洗的方法-CN201010300736.2无效
  • 吴学林;卢小丹 - 宜昌南玻硅材料有限公司
  • 2010-01-26 - 2010-07-14 - C30B33/10
  • 本发明公开了一种多晶硅硅块腐蚀清洗的方法,涉及多晶硅生产领域中的多晶硅硅块清洗的方法,在混酸腐蚀和纯水(EW-I)漂洗工序后设置氢氟酸溶液腐蚀工序;氢氟酸溶液为电子级氢氟酸和纯水(EW-I)按1∶2~5(重量份)的配比稀释而成,腐蚀浸泡时间根据硅块表面的氧化层厚薄及氢氟酸的溶液浓度的决定;超声清洗之后再用热氮气切水、真空烘干从而得到满足直拉单晶要求的免洗多晶硅硅块。通过增加氢氟酸溶液腐蚀工序,去除硅块经过混酸腐蚀的多晶硅硅块再次接触空气后产生的表面氧化层,从而得到表面金属光泽度好、表面质量更优的免洗多晶硅料。
  • 一种高纯多晶硅硅块腐蚀清洗方法
  • [发明专利]电子级氢氟酸的制备方法-CN200910039518.5无效
  • 肖定军;陈旭波;谭泽;余军文 - 广东光华化学厂有限公司;广州市金华大化学试剂有限公司
  • 2009-05-15 - 2009-12-09 - C01B7/19
  • 本发明公开了一种电子级氢氟酸的制备方法。该制备方法,包括以下步骤:(1)液体无水氯化氢的预处理;(2)液体无水氯化氢的精馏;(3)氢氟酸半成品的制备;(4)氢氟酸半成品的预处理;(5)氢氟酸半成品中金属离子的去除;(6)电子级氢氟酸的获得本发明生产工艺技术避免了无水氟化氢吸收氢氟酸再精馏的繁琐工序,直接用无水氟化氢液体进行精馏纯化;能有效的去除三氟化砷、SO2、SO3、H2SiF6等无机物种杂质;能深度去除各种金属杂质和固体颗粒物,将工业级的氢氟酸纯化精制得到超净高氢氟酸试剂使产品达到超净电子级氢氟酸质量符合SIME-C8标准,适用于超精密集成电路生产
  • 电子高纯氢氟酸制备方法
  • [发明专利]一种生产电子级氢氟酸的方法-CN200810049661.8有效
  • 皇甫根利;侯红军;刘海霞;张良;刘晓霞 - 多氟多化工股份有限公司
  • 2008-04-28 - 2009-11-04 - C01B7/19
  • 本发明涉及一种生产电子级氢氟酸的方法,具体包括以下步骤:(1)经计量的无水氢氟酸原料经预热后,进行粗馏,去除低沸点物质;(2)将经粗馏后,从冷凝器出口排出的氢氟酸用超纯水进行吸收,吸收为48~49%的有水氢氟酸溶液;(3)将吸收好的氢氟酸半成品经氟塑脂亚沸蒸馏器蒸馏,氟化氢液体气化生成超的电子级氢氟酸气体,冷凝后为48~49%的有水氢氟酸溶液,沸点物质与重金属留在亚沸蒸馏器底部;(4)从氟塑脂亚沸蒸馏器出来的氢氟酸半成品经二级过滤最后经自动灌装制成48%的超高氢氟酸成品。本发明的方法充分利用了无水氢氟酸与无水氢氟酸中各杂质的沸点不同,在不同温度下,除去不同的杂质,尤其是硅,使得到的超高氢氟酸杂质含量降到最低。
  • 一种生产电子氢氟酸方法
  • [发明专利]一种提高类单晶晶体质量的方法-CN201210141806.3无效
  • 张驰;熊震;付少永 - 常州天合光能有限公司
  • 2012-05-08 - 2012-10-03 - C30B28/06
  • 本发明涉及一种提高类单晶晶体质量的方法,具有以下步骤:(1)硅片清洗,(2)硅片漂洗,(3)硅片表面处理:在硅片表面形成氮化硅钝化膜,氮化硅钝化膜厚度>70nm,形成钝化硅片;(4)石英板表面处理:石英板的纯度>4N,将石英板置于氢氟酸、氟化铵、去离子水配置的溶液中浸泡,溶液配比:V氢氟酸:V氟化铵:V去离子水=1:7:5,浸泡时间>3min(5)石英板清洗,(6)石英板喷涂,(7本发明使得类单晶晶锭少子寿命得到明显提高,晶锭绝对收益提高4%,同时经过表面处理的石英板可以多次利用,降低生产成本。
  • 一种提高类单晶晶体质量方法

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