首页 在售
电子信息机械制造新型材料电气自动化新能源安全防护环保资源轻工纺织生物医药包装印刷海洋开发仪器仪表航空航天建材建筑农林牧业食品饮料采矿冶金家居用品化学化工交通运输橡胶塑料教育休闲其他
求购
电子信息机械制造新型材料电气自动化新能源安全防护环保资源轻工纺织生物医药包装印刷海洋开发仪器仪表航空航天建材建筑农林牧业食品饮料采矿冶金家居用品化学化工交通运输橡胶塑料教育休闲其他
查询 申请 展会 资讯 专利榜 企服商城 升级VIP
专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果5657558个，建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]腔室的内衬和腔室-CN201710357147.X有效
  • 张军 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2017-05-19 - 2021-03-02 - C23C16/455
  • 本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及一种腔室的内衬和腔室。该腔室的内衬包括抽气内衬和均流内衬，所述均流内衬环绕设置于所述抽气内衬的内侧，所述均流内衬至少包括本体和隔离部，所述隔离部上开设有至少两个孔洞，以将所述均流内衬与所述抽气内衬之间的间隙隔离为连通的进气区域与出气区域；所述腔室内的气体经所述进气区域进入所述孔洞进行均流后，进一步通过所述抽气区域连通的排气口排出至所述抽气内衬的外部。该腔室的内衬，实现了对出气口与进气口之间的空间区域的划分，实现了工艺气体及副产物经过匀流后被真空抽走，实现了气体分布的均匀性。
  • 内衬
  • [发明专利]腔室组件及反应腔室-CN201811511088.8有效
  • 王帅伟;兰云峰;王勇飞 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2018-12-11 - 2022-07-22 - C23C16/455
  • 本发明提供一种腔室组件，包括腔体、腔室盖，其特征在于，还包括铰接模块，所述铰接模块设置在所述腔体与所述腔室盖之间，用于实现所述腔室盖的开合，且在所述铰接模块内设有气体通路，所述气体通路用于将外部气源提供的工艺气体经所述腔体和所述腔室盖通入所述腔体的内部即使腔室盖处于开启状态，气体通路仍然处于封闭状态，而不会暴露在大气环境中，从而避免了在开启腔室盖，以取放衬底或者维护腔室时，因人为操作导致的颗粒掉落进气体通路，进而可以保证腔室的洁净度，降低薄膜的颗粒缺陷
  • 组件反应
  • [实用新型]一种阀门胶套生产水洗装置-CN202222432563.0有效
  • 陈志耀 - 天津科瑞隆阀门有限公司
  • 2022-09-14 - 2023-01-17 - B08B3/02
  • 本实用新型公开了一种阀门胶套生产水洗装置，涉及水洗装置领域，包括清洗室组件、驱动腔室、过滤腔室、储水腔室和喷淋组件，清洗室组件包括设置在驱动腔室上端的支撑框架，支撑框架一侧设置有透明板，支撑框架内腔设置有清洗放置盒，清洗放置盒一侧设置有长软管，清洗室组件下端设置有驱动腔室，驱动腔室下端设置有过滤腔室，长软管的一端穿过透明板与过滤腔室一侧相连通，驱动腔室顶面设置有主凹槽腔，驱动腔室下端设置有电机室，且电机室设置在过滤腔室的内部，过滤腔室的下端设置有储水腔室，这种设置由于清洗放置盒的往复高频振动进而提升清洁水对阀门胶套的清洗作用，从而提高装置对阀门胶套的清洗效率。
  • 一种阀门生产水洗装置
  • [发明专利]片盒驱动机构及装载腔室-CN201610488101.7有效
  • 李靖 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2016-06-28 - 2019-07-19 - H01L21/673
  • 本发明提供一种片盒驱动机构及装载腔室，包括驱动部和片盒保护部，其中，驱动部用于驱动片盒自水平位置向上倾斜；片盒包括底板和设置在其上的支架和背板，支架用于承载晶片；背板位于支架的一侧，用以在底板倾斜时支撑晶片的边缘片盒保护部用于在驱动部驱动底板返回水平位置的过程中，推动晶片朝向远离背板的方向移动，并在底板位于水平位置时，与晶片相分离。本发明提供的片盒驱动机构，其可以避免背板出现磨损，从而不仅可以延长片盒的使用寿命，而且可以减少因背板出现磨损对晶片造成的损伤，从而可以保证晶片质量。
  • 驱动机构装载
  • [实用新型]片盒驱动机构和装载腔室-CN202220331864.1有效
  • 贾立松;王福来 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2022-02-18 - 2022-07-19 - H01L21/673
  • 本实用新型提供一种片盒驱动机构和装载腔室，该机构包括升降轴、旋转轴和转位机构，该转位机构包括转位组件和驱动件，其中，转位组件与旋转轴连接，且能够随升降轴同步升降；驱动件位于转位组件下方，且能够在升降轴升降时固定不动；转位组件用于在升降轴下降的过程中与驱动件相接触，并在接触时在驱动件的驱动下带动旋转轴沿第一方向转动，以使片盒转动至第一工位；以及在升降轴上升的过程中与驱动件相接触，并在接触时在驱动件的驱动下带动旋转轴沿与第一方向相反的第二方向转动本实用新型提供的片盒驱动机构和装载腔室，不仅可以保证晶圆间一致性，而且可以降低成本。
  • 驱动机构装载
  • [发明专利]腔室冷却装置及反应腔室-CN201910160484.9有效
  • 弓利军 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2019-03-04 - 2022-04-22 - C23C16/455
  • 本发明提供一种腔室冷却装置及反应腔室，包括槽状本体、隔水板、冷却管和多个喷嘴，其中，冷却管设置在槽状本体相对的两个侧边，且用于向多个喷嘴中通入冷却介质，多个喷嘴用于向槽状本体中通入冷却介质，隔水板覆盖在槽状本体上本发明提供的腔室冷却装置及反应腔室，其能够避免空气在槽状本体中无法排除，并且减少槽状本体中冷却介质乱流的情况发生，从而提高腔室冷却装置的冷却效果。
  • 冷却装置反应
  • [发明专利]等离子腔室的腔室屏蔽-CN02817066.0无效
  • 布瑞·詹姆斯·古德 - 现代半导体美国公司
  • 2002-08-28 - 2004-11-24 - H01L21/00
  • 一种用于诸如离子植入机的源腔室之类的等离子腔室的屏蔽系统，包括：一个顶屏蔽板(502)，构形成附着在等离子腔室的顶部内表面；一个底屏蔽板(504)，构形成附着在等离子腔室的底部内表面；和一个后屏蔽板(506)，构形成附着在等离子腔室的后部内表面，其中，顶屏蔽板(502)的后缘与后屏蔽板(506)的顶缘相交，底屏蔽板(504)的后缘(528)与后屏蔽板(506)的底缘相交，从而顶屏蔽板(502)、底屏蔽板(504)和后屏蔽板(506)装配在一起基本上盖住腔室的内表面，从而在等离子腔室工作时减少在等离子腔室内侧表面上的沉积。
  • 等离子屏蔽
  • [实用新型]户外照明LED驱动电源-CN202223295006.5有效
  • 郭自泉;易琪;刘志伟;陈伟健 - 东莞市喜见天能源技术有限公司
  • 2022-12-08 - 2023-04-14 - F21V23/00
  • 本实用新型涉及一种户外照明LED驱动电源，包括电源箱体、恒压电源变换器、驱动模块和主电路控制板；电源箱体包括盖体和底壳；底壳通过竖直隔板将内部空间分隔成相互独立的恒压腔室、驱动腔室和控制腔室，恒压电源变换器、驱动模块和主电路控制板电性连接并分别对应安装于恒压腔室、驱动腔室和控制腔室中；盖体固定于底壳上，进而将恒压电源变换器、驱动模块和主电路控制板对应封闭保护在恒压腔室、驱动腔室和控制腔室中；恒压腔室、驱动腔室和控制腔室中分别独立设置有恒压散热器、驱动散热器和控制散热器。在散热总量不变的情况下，可以根据各个独立腔室内部的实际工作稳定进行灵活的分区散热调节，有效地提升了该装置使用过程中的灵活性。
  • 户外照明led驱动电源
友情链接：交换友情链接需要网站权重大于4，网站收录10W以上，如符合条件，请联系QQ：76009968。

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

版权所有钻瓜科技（天津）有限公司津ICP备15000985号津公网安备 12019202000206号http://www.vipzhuanli.com/公布日期
咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top