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[发明专利]一种铜铟镓硒靶材的制备及应用方法-CN201310414057.1有效
发明人：牙文飞;陈涛;马康;彭侃;顾玉涵;王玉晓 -专利权人：汉能新材料科技有限公司
申请日： 2013-09-12 - 公布日： 2017-02-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种铜铟镓硒靶材的制备及应用方法，通过先将铟、镓、硒三种原料进行三元混炼，经再加工得到铟镓硒三元合金靶材，然后再与高纯铜板绑定得到铜铟镓硒靶材，高纯铜板既作为铜铟镓硒靶材的原料又作为靶材背板，有效避免了将熔点较高的铜与铟、镓、硒一起共同熔炼而造成的靶材组分难以控制的问题。在本发明所得的铜铟镓硒靶材的应用过程中，先通过溅射在衬底上形成铟镓硒和铜的混合薄膜，再通过退火使得铜扩散进入铟镓硒中形成铜铟镓硒薄膜，该应用方法简便，且所得铜铟镓硒薄膜质量高，具有广阔的应用前景。
一种铜铟镓硒靶材制备应用方法

[发明专利]一种从IGZO靶材中分别回收铟和镓的方法-CN202110645113.7有效
发明人：丁金铎;崔恒;葛春桥;柳春锡;金志洸 -专利权人：中山智隆新材料科技有限公司
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： C22B58/00 文献下载
摘要：本发明属于靶材回收技术领域，公开了一种从IGZO靶材中分别回收铟和镓的方法。该方法包括以下步骤：(1)取IGZO靶材粉碎，加入酸，溶解IGZO靶材中的氧化铟和氧化锌，过滤，灼烧，得到氧化镓；(2)向步骤(1)中滤液中加入弱碱，控制pH值，过滤，灼烧，得到氧化铟。该方法充分利用IGZO靶材中铟、镓和锌的性质，仅通过一次酸溶解和弱碱处理，就能分别回收得到高纯度的铟和镓。其处理过程简单，对设备要求低，回收的铟和镓中Zn含量小于6ppm，总杂质含量小于30ppm。且该方法能够充分利用IGZO靶材的生产设备，且回收的氧化铟和氧化镓粉末可直接作为IGZO靶材的原料。
一种 igzo 靶材中分别回收方法

[发明专利]一种溅射用铜镓合金靶材及其制备方法-CN201210587591.8有效
发明人：张云峰;秦兴东;王丹妮;王连蒙;刘延红;陈东;郭志峰;陈丽杰 -专利权人：中国神华能源股份有限公司
申请日： 2012-12-28 - 公布日： 2013-07-31 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种溅射用铜镓合金靶材，其中，铜的质量百分比含量为38.0~68.0%，镓的质量百分比含量为32.0~62.0%。本发明还提供上述溅射用铜镓合金靶材的制备方法，其包括以下步骤：（1）配料；（2）冶炼；（3）定向凝固；（4）切割；（5）热处理。本发明的溅射用铜镓合金靶材解决了铜铟镓前驱薄膜中镓的配比问题和溅射过程中由于靶材缺陷导致的电弧放电问题。
一种溅射用铜镓合金及其制备方法

[发明专利]铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层及其制备方法和应用-CN201310409032.2无效
发明人：缪向水;黄醒 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2013-09-10 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层的方法，包括如下步骤：（1）采用贫铜铜铟镓硒靶材，溅射第一贫铜铜铟镓硒预置层；（2）采用富铜铜铟镓硒靶材，在第一贫铜铜铟镓硒预置层上溅射富铜铜铟镓硒预置层；（3）采用贫铜铜铟镓硒靶材，在富铜铜铟镓硒预置层上溅射第二贫铜铜铟镓硒预置层；（4）热处理得到铜铟镓硒吸收层；贫铜铜铟镓硒靶材中，铜原子与铟和镓原子数之和的比为0.5～1.0，即0.5≤Cu/(In+Ga)≤1.0；富铜铜铟镓硒靶材中，铜原子与铟和镓原子数之和的比为1.0～1.5，即1.0≤Cu/(In+Ga)≤1.5。
铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收及其制备方法应用

[发明专利]一种氧化铟镓锌靶材的制备方法-CN202011121750.6在审
发明人：张来稳;邵学亮;李开杰;朱刘 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2020-10-20 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明揭示了一种氧化铟镓锌靶材的制备方法，包括以下步骤：将氧化铟粉末、氧化镓粉末、氧化锌粉末加入球磨罐中，再加入分散剂、粘接剂以及纯水混合，进行预分散后得到混合液，将所述混合液进行湿法研磨后得到混合浆料；将混合浆料进行喷雾造粒、混料筛分，得到氧化铟镓锌粉末；将氧化铟镓锌粉末进行液压成型、冷等静压，得到氧化铟镓锌靶坯；将氧化铟镓锌靶坯进行烧结，烧结的过程中，在氧化铟镓锌靶坯底部铺上一层衬底材料，烧结完成后得到氧化铟镓锌靶材本发明烧结过程中在靶坯底部铺上一层衬底材料，让靶坯在衬底材料的挥发氛围中烧结，从而抵消靶坯组分因为分子热运动导致的损失，烧结出组分均匀的氧化铟镓锌靶材。
一种氧化铟镓锌靶材制备方法

[发明专利]铜铟镓硒太阳能电池吸收层的制备方法-CN201711421161.8在审
发明人：聂曼 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2017-12-25 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： H01L31/032 文献下载
摘要：本发明公开了一种铜铟镓硒太阳能电池吸收层的制备方法，其包括向腔室中同时通入硒化氢气体和惰性气体，在第一功率下和第一时间段内通过磁控溅射工艺向室温下的基板溅射铜镓靶材和铟靶材；提高基板的温度至预设温度，在第二时间段内通过磁控溅射工艺向基板溅射铜镓靶材和铟靶材；将第一功率提升至第二功率，在预设温度条件下以及在第三时间段内通过磁控溅射工艺向基板溅射铜镓靶材和铟靶材。本发明提供的铜铟镓硒太阳能电池吸收层的制备方法，通过在H2Se气氛中同时溅射CuGa靶材和In靶材，使CIGS吸收层仅通过一个步骤即可溅射成型，有效简化了加工工艺，提高了生产效率和控制精度。
靶材溅射吸收层铜铟镓硒太阳能电池基板磁控溅射工艺时间段铟靶制备预设温度条件硒化氢气体惰性气体功率提升生产效率腔室预设成型

[发明专利]铟镓锌氧化物及其制法与应用-CN201210108898.5有效
发明人：张育纶;林弘巾;林婉华;苏百樱;王圣棻 -专利权人：光洋应用材料科技股份有限公司
申请日： 2012-04-13 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明提供一种铟镓锌氧化物的制作方法，其是先混合含铟、镓及锌的原料，经过干燥、煅烧等步骤，制作出均匀且高纯度的铟镓锌氧化物。此外，本发明另提供一种用以制作铟镓锌氧化物靶材的组成物，其为含有多元金属氧化物的混合物，尤其包含所述制作方法所制得的铟镓锌氧化物。再者，本发明还提供一种使用所述铟镓锌氧化物制作铟镓锌氧化物靶材的方法及其成品，其靶材中主要是以InGaZnO4为主，而实质上不具有ZnGa2O4。本发明使用IGZO作为制作IGZO靶材的原料，由此减少原料间不均匀的混合，制得高质量与高相对密度的IGZO靶材。
铟镓锌氧化物及其制法应用

[发明专利]铜铟镓硒硫五元靶材的制作方法-CN201010542692.4无效
发明人：钟润文 -专利权人：慧濠光电科技股份有限公司
申请日： 2010-11-05 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： B22F3/16 文献下载
摘要：一种铜铟镓硒硫五元靶材的制作方法，包含铜铟镓硒硫化合物制作步骤、铜铟镓硒粉末制作步骤、靶材初胚制作步骤、烧结步骤以及整型步骤，主要是依照原子比例，将铜、铟、镓、硒、硫的元素粉末以合成溶剂混合，再反应合成为铜铟镓硒硫化合物，再制作为铜铟镓硒靶材，或将作为五元靶材先驱物混合步骤的三元或四元化合物粉末混合，经过高压烧结而完成，以本发明铜铟镓硒靶硫五元材制作铜铟镓硒薄膜，可省略硒化、硫化步骤，以确保制程安全性，且该靶材的导电度适用直流溅镀及射频溅镀，能提升溅镀效率、形成无污染、成分均匀的铜铟镓硒硫薄膜。
铜铟镓硒硫五元靶材制作方法

[发明专利]铜铟镓硒靶材及其制备方法和太阳能电池-CN202310173503.8有效
发明人：王海北;李拓夫;牛犁;郑朝振;马浩;张学友 -专利权人：矿冶科技集团有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C04B35/547 文献下载
摘要：本申请提供一种铜铟镓硒靶材及其制备方法和太阳能电池，涉及材料领域。铜铟镓硒靶材的制备方法，包括：采用气雾化法制备CuInGa三元合金粉，将所述CuInGa三元合金粉与Se粉混合，然后依次进行低温烧结和高温烧结得到铜铟镓硒粉末，将所述铜铟镓硒粉末采用热等静压法制备得到铜铟镓硒靶材铜铟镓硒靶材，使用所述的铜铟镓硒靶材的制备方法制得。太阳能电池，其原料包括所述的铜铟镓硒靶材。该制备方法得到的CIGS靶材致密度好、能够避免大范围的偏析、成分配比精准；可以一步溅射直接得到CIGS薄膜太阳能电池吸收层，省略溅射后的硒化步骤，缩短了工艺流程、节省了成本，提升了CIGS吸收层的质量。
铜铟镓硒靶材及其制备方法太阳能电池

[发明专利]具有镓离子的离子束的产生方法及其装置-CN201380033131.3有效
发明人：科斯特尔·拜洛;奎格·钱尼;奈尔·巴森;班杰明·科伦贝亚努;丹尼斯·P·罗迪尔 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2013-05-03 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： H01J27/08 文献下载
摘要：本发明提供一种具有镓离子的离子束的产生方法及其装置。在一实施例中，一种具有镓离子的离子束的产生方法，其包括在等离子体腔室中提供至少部分的镓化合物靶材，此镓化合物靶材包括镓以及至少一种额外元素。具有镓离子的离子束的产生方法还包括在等离子体腔室中，使用至少一种气态物种来启动等离子体及提供气态的蚀刻物种源，以与镓化合物靶材反应，从而形成挥发性镓物种。
具有离子离子束产生方法及其装置

[发明专利]一种铜镓靶材及其制备方法-CN201910574761.0在审
发明人：蔡新志;朱刘;童培云;黄宇彬;冉成义;阿南·辛格·迪欧达特 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及靶材制备技术领域，尤其涉及一种铜镓靶材及其制备方法。所述制备方法包括：A)将高纯铜和高纯镓混合，得到混合物料；B)在真空的条件下，将所述混合物料熔化后，进行精炼和浇铸，冷却后，得到铸锭；C)将所述铸锭进行热轧：将所述铸锭加热至700～850℃，并保温1～3h后，按照每道次减少0.25～1mm，轧制1～4道后，重新加热10～15min，得到板坯；D)将步骤C)中的板坯进行矫平，冷却后，得到的板坯经机加工后，得到铜镓靶材。本发明通过熔炼‑轧制的方法可以得到低氧含量、组分均匀、晶粒细化和强度较高的高纯铜镓靶材。实验表明，本发明制备的铜镓靶材晶粒尺寸较小，致密度较高。
靶材制备板坯铸锭轧制混合物料高纯铜加热冷却制备技术领域熔化晶粒晶粒细化高纯镓机加工熔炼低氧矫平热轧保温浇铸精炼

[发明专利]Sn掺杂的介稳态氧化镓晶相薄膜及其制备方法与应用-CN202110870509.1有效
发明人：章建国;张文瑞;叶继春;王维;刘宁涛 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： C30B29/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种Sn掺杂的介稳态氧化镓晶相薄膜及其制备方法与应用。所述制备方法包括：采用脉冲激光沉积技术，以Sn掺杂的氧化镓陶瓷靶为靶材，在作为衬底的蓝宝石表面外延生长薄膜，再经退火处理，获得Sn掺杂的介稳态氧化镓晶相薄膜；其中，所述靶材中Sn的摩尔百分含量为0.1～本发明采用Sn掺杂的氧化镓陶瓷靶材，可以稳定调控氧化镓薄膜在α和ε相间的转变，拓宽了氧化镓介稳态晶相的制备方法；同时制备的介稳态氧化镓薄膜晶粒取向一致，结晶度高，且具有较高的生长速率。
sn 掺杂稳态氧化镓晶相薄膜及其制备方法应用

[发明专利]铜铟镓硒薄膜制备方法-CN201310277577.2有效
发明人：杨春雷;于冰;程冠铭;冯叶;肖旭东;顾光一;鲍浪;郭延璐;徐苗苗 -专利权人：深圳先进技术研究院;香港中文大学
申请日： 2013-07-03 - 公布日： 2013-10-09 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种铜铟镓硒薄膜制备方法，包括以下步骤：通过采用铜靶、铟靶及镓靶靶材的磁控溅射，在衬底上制备铜铟镓硒预制层，所述镓靶由三硒化二镓材料制成；所述镓靶晚于所述铟靶开始磁控溅射，并且所述镓靶晚于所述铟靶停止磁控溅射；对所述铜铟镓硒预置层进行硒化及退火，制得铜铟镓硒薄膜。在上述铜铟镓硒薄膜制备方法中，通过在磁控溅射过程中，镓靶晚于铟靶开始磁控溅射，且镓靶晚于铟靶停止磁控溅射，从而有效减少镓组分在最终所制得的铜铟镓硒薄膜的底部富集，增加镓组分在铜铟镓硒薄膜顶部的含量，达到提升开路电压的目的，此外，使用该铜铟镓硒薄膜的太阳能电池的光电转换效率较高。
铜铟镓硒薄膜制备方法

[发明专利]铜铟镓硒靶材金属化层制备方法-CN201510232814.2在审
发明人：吕宏;谢元锋;夏扬 -专利权人：北京有色金属研究总院
申请日： 2015-05-08 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： B22F3/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种铜铟镓硒靶材金属化层制备方法，在制备铜铟镓硒靶材的同时制备金属化层，属于有色金属加工领域。首先，将石墨垫板置于热压炉模具的下压头上，然后将金属片放在石墨垫板上，放入铜铟镓硒粉料，再放入上压头，将模具放于热压炉中进行热压烧结，在升温的同时加压，进行保温保压，然后冷却至室温；然后，将靶材从热压炉中取出，先加工靶面，然后加工金属化层，根据需要的金属化层的厚度确定加工量。本发明方法得到的铜铟镓硒靶材金属化层易于钎焊；导电、导热性能好；成本低，与靶材制备过程同步，大大降低生产成本。
铜铟镓硒靶材金属化制备方法

[发明专利]CIGS太阳能光电四元溅镀靶材、其制法、其与靶背板结合方法及其补料方法-CN200910207439.0无效
发明人：张昇常 -专利权人：张昇常
申请日： 2009-11-03 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种CIGS太阳能光电四元溅镀靶材、其制法、其与靶背板结合方法及其补料方法，其是将铜与铟混合，经热融、固化及研磨而预制成铜/铟合金粉末，将铜与镓混合，经热融、固化及研磨而预制成铜/镓合金粉末，再将铜/铟合金粉末、铜/镓合金材料及硒材料粉末充分混合而备制成加工材料粉末。再将加工材料粉末填充于模具内，通过一般的加热升温热融及加压程序，快速成型包括有铜Cu、铟In、镓Ga及硒Se的靶材。再者，将靶背板设计为模具的一部份，使靶材成型同时可直接与靶背板结合为一体。而使用过的靶材经洗净后，置入模具中，并填入加工材料粉末，经过热融、加压及冷却的程序后，即可使靶材补充至所需规格的尺寸大小，继续供使用。以达到CIGS靶材制造，靶材与靶背板结合，及靶材补料等制程简化，大幅降低成本之目的。
cigs 太阳能光电四元溅镀靶材制法背板结合方法及其

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