专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]辐射-CN201280042060.9有效
  • A·亚库宁;V·伊万诺夫;J·范斯库特;V·克里夫特苏恩;G·斯温克尔斯;V·梅德韦杰夫 - ASML荷兰有限公司
  • 2012-08-01 - 2014-05-07 - H05G2/00
  • 一种辐射(60),适于提供辐射束至光刻设备的照射器。辐射包括:喷嘴,配置成沿轨迹(64)朝向等离子体形成位置(66)引导燃料液滴(62)的束流。辐射配置成接收第一辐射辐射(68)使得第一辐射辐射入射到位于等离子体形成位置的燃料液滴(62a),并使得第一辐射辐射传递能量进入燃料液滴以生成修改的燃料分布(70),修改的燃料分布具有表面。辐射还配置成接收第二辐射辐射(72)使得第二辐射辐射入射到修改的燃料分布的表面(72a)的部分上,第二辐射辐射具有相对于所述表面的部分的p偏振分量;并使得第二辐射辐射传递能量至修改的燃料分布以生产辐射生成等离子体,辐射生成等离子体发射第三辐射辐射(74)。辐射还包括收集器(CO),配置成收集和引导第三辐射辐射的至少部分。辐射配置成使得第二辐射辐射沿第一方向传播,第一方向不平行于修改的燃料分布的表面的部分的法线。
  • 辐射源
  • [发明专利]辐射-CN201280049179.9无效
  • B·詹森;J·胡格坎普 - ASML荷兰有限公司
  • 2012-09-06 - 2014-06-04 - H05G2/00
  • 一种辐射,适于提供辐射束至光刻设备的照射器。辐射包括:喷嘴,配置成沿轨迹朝向等离子体形成位置引导燃料液滴的束流。辐射配置成接收第一辐射辐射,使得在使用中第一辐射辐射入射到等离子体形成位置处的燃料液滴上,并使得在使用中第一辐射辐射将能量传递至燃料液滴以生成发射第二辐射辐射的用于产生辐射的等离子体。辐射还包括:第一传感器布置,配置成测量表示第一辐射辐射的聚焦点位置的第一辐射辐射的性质;和第二传感器布置,配置成测量表示燃料液滴位置的燃料液滴的性质。
  • 辐射源
  • [发明专利]辐射-CN201980016172.9在审
  • D·库日洛维奇;O·O·维尔索拉托;T·皮涅罗德法利亚斯平托;S·M·维特 - ASML荷兰有限公司
  • 2019-01-28 - 2020-10-16 - H05G2/00
  • 描述了一种激光产生等离子体类型的辐射(SO)。所述辐射(SO)包括液滴发生器(3a),所述液滴发生器(3a)被配置成提供燃料液滴(60)。所述辐射(SO)包括激光系统(1),所述激光系统(1)被配置成提供前置脉冲和主脉冲。所述前置脉冲能够被操作以调节所述燃料液滴(60)以供接收主脉冲。所述辐射(SO)包括感测系统(16),所述感测系统(16)被配置用于感测所述燃料液滴(60)的空间质量分布的振荡的特性。所述辐射(SO)包括控制系统(44),所述控制系统(44)能够被操作以在所感测的特性的控制下调整所述前置脉冲的偏振。所述前置脉冲的偏振可以影响调节后的燃料液滴(60)的空间质量分布。
  • 辐射源
  • [发明专利]辐射-CN202080053049.7在审
  • P·S·尤贝尔;S·T·鲍尔施米特;Y·倪 - ASML荷兰有限公司
  • 2020-07-13 - 2022-03-11 - G02F1/3513
  • 一种辐射,包括:中空芯光纤,工作介质;以及脉冲泵浦辐射。该中空芯光纤包括主体并且具有中空芯。该工作介质被设置在该中空芯内。脉冲泵浦辐射被布置为产生脉冲泵浦辐射,该脉冲泵浦辐射由中空芯接收并且从输入端传播通过中空芯至输出端。脉冲泵浦辐射、光纤和工作介质的参数被配置为允许脉冲泵浦辐射的孤子自压缩,以改变脉冲泵浦辐射的光谱,以便形成输出辐射。在一些实施例中,光纤的长度使得输出端基本上与脉冲泵浦辐射的时间范围为最小的位置重合。
  • 辐射源
  • [发明专利]辐射-CN201880063864.4有效
  • 倪永锋 - ASML荷兰有限公司
  • 2018-08-17 - 2021-12-14 - G03F9/00
  • 超连续谱辐射包括:辐射、光学放大器和非线性光学介质。辐射能够操作以产生脉冲辐射束。光学放大器配置成接收脉冲辐射束并增加脉冲辐射束的强度。非线性光学介质被配置为接收被放大的脉冲辐射束,并展宽该被放大的脉冲辐射束的光谱,从而产生超连续谱辐射束。光学放大器可以将泵浦辐射束供应至增益介质,所述泵浦辐射束的强度是周期性的并具有泵浦频率,所述泵浦频率是脉冲辐射束的频率的整数倍。光学放大器可以仅当脉冲辐射束的脉冲传播通过增益介质时将泵浦能量供应至增益介质。
  • 辐射源
  • [发明专利]辐射-CN201210342390.1在审
  • J·范德埃克;A·T·W·凯姆彭;A·C·库普尔斯 - ASML荷兰有限公司
  • 2012-09-14 - 2013-04-03 - G03F7/20
  • 本发明提供了一种辐射,包括:贮存器,配置成保持一体积的燃料;喷嘴,与贮存器流体连接,配置成沿着朝向等离子体形成位置的轨迹引导燃料的流;激光器,配置成将激光辐射引导到在等离子体形成位置处的所述流上,以在使用中产生用于产生辐射的等离子体;和污染物过滤器组件,定位在辐射的燃料流路中且在喷嘴出口的上游,污染物过滤器组件的过滤介质被通过由至少部分地围绕过滤介质的一个或更多的物体提供的夹持力保持在污染物过滤器组件内的适合位置上。
  • 辐射源
  • [发明专利]辐射-CN202110127933.7在审
  • N·库马尔;S·R·胡伊斯曼 - ASML荷兰有限公司
  • 2017-06-01 - 2021-06-08 - G03F7/20
  • 一种用于对准标记测量系统的超连续谱辐射包括:辐射;照射光学器件;多个波导;和收集光学器件。辐射能够操作以产生脉冲辐射束。照射光学器件布置成接收脉冲泵浦辐射束并形成多个脉冲子束,每个脉冲子束包括脉冲辐射束的一部分。多个波导中的每一个被布置成接收多个脉冲子束中的至少一个,并且加宽该脉冲子束的光谱,以便产生超连续谱子束。收集光学器件布置成从多个波导中的每一个接收超连续谱子束并将它们组合以便形成超连续谱辐射束。
  • 辐射源
  • [发明专利]辐射-CN201880060612.6在审
  • A·M·雅库尼恩;J·A·C·M·皮耶宁堡;C.G.N.H.M.柯林 - ASML荷兰有限公司
  • 2018-09-12 - 2020-05-05 - H05G2/00
  • 一种辐射配置成提供EUV辐射,所述辐射包括燃料发射器和激光系统。燃料发射器配置成将燃料目标提供至等离子体形成区。激光系统被配置为当燃料目标位于等离子体形成区时用激光辐射照射燃料目标,以便将燃料目标的一部分转换成等离子体。特别地,激光系统配置成使得在垂直于激光辐射的传播方向的平面中,燃料目标处的激光辐射的横截面小于转换成等离子体的燃料目标的部分的横截面。这种辐射提供相对于已知的激光产生等离子体(LPP)源具有改良的转换效率的激光产生等离子体源。
  • 辐射源
  • [发明专利]辐射-CN201880061395.2在审
  • R·L·唐克;H-K·尼恩惠斯 - ASML荷兰有限公司
  • 2018-08-16 - 2020-05-08 - H05G2/00
  • 一种辐射包括:发射器,用于朝向等离子体形成区发射燃料目标;激光系统,用于用激光束撞击目标以产生等离子体;收集器,用于收集由等离子体发射的辐射;成像系统,配置成捕获目标的图像;在所述收集器处并在成像系统的视场内的一个或更多个标识控制器接收表示图像的数据;和依赖于所述数据控制辐射的操作。
  • 辐射源
  • [发明专利]辐射-CN201780035989.1有效
  • N·库马尔;S·R·胡伊斯曼 - ASML荷兰有限公司
  • 2017-06-01 - 2021-02-05 - G03F9/00
  • 一种用于对准标记测量系统的超连续谱辐射包括:辐射;照射光学器件;多个波导;和收集光学器件。辐射能够操作以产生脉冲辐射束。照射光学器件布置成接收脉冲泵浦辐射束并形成多个脉冲子束,每个脉冲子束包括脉冲辐射束的一部分。多个波导中的每一个被布置成接收多个脉冲子束中的至少一个,并且加宽该脉冲子束的光谱,以便产生超连续谱子束。收集光学器件布置成从多个波导中的每一个接收超连续谱子束并将它们组合以便形成超连续谱辐射束。
  • 辐射源
  • [发明专利]辐射-CN201210190892.7有效
  • W·J·麦斯特姆;G·H·P·M·斯温凯尔斯 - ASML荷兰有限公司
  • 2012-06-11 - 2017-05-24 - G03F7/20
  • 本发明提供了一种辐射。根据本发明的第一方面,提供一种辐射,包括贮液器,配置成保持一体积的燃料;喷嘴,与贮液器流体连接,并配置成沿朝向等离子体形成位置的轨迹引导燃料流;激光器,配置成引导激光辐射到等离子体形成位置处的所述流上,以在使用中生成用于生成辐射的等离子体;和燃料污染物控制布置,所述污染物控制布置包括用于生成磁场的磁场生成元件;用于生成电场的电场生成元件;磁场生成元件和电场生成元件一起配置成确保在使用中磁场和电场在燃料内的污染物的位置或潜在位置处交叠
  • 辐射源

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