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[发明专利]一种硅铝靶材及其制备方法-CN202310925167.8在审
发明人：文崇斌;朱刘;童培云 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C4/134 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅铝靶材及其制备方法，属于靶材制备技术领域。本发明所述硅铝靶材的制备方法不同于现有技术，先将硅粉和铝粉进行特定预处理得到均匀的硅铝合金，随后再将硅铝合金破碎成粉末进行等离子喷涂最终得到硅铝靶材，该产品的不仅对设备的要求低，可实现规模生产，同时还有效解决了现有等离子喷涂制备硅铝靶材中铝元素损失且分布不均匀的问题，硅铝靶材不同位点的铝元素分布误差最低只有0.2wt％。
一种硅铝靶材及其制备方法

[发明专利]一种铝钛硅合金靶材及其制备方法-CN201110298811.0无效
发明人：余鹏 -专利权人：余鹏
申请日： 2011-09-29 - 公布日： 2012-01-18 - 主分类号： C22C21/00 文献下载
摘要：一种铝钛硅合金靶材及其制备方法，该铝钛硅合金靶材由以下质量百分比的原料制成：铝5%－90%，钛5%－90%，硅1%－30%。本发明还包括铝钛硅合金靶材的热压烧结制备方法。本发明之铝钛硅合金靶材及其热压烧结制备方法，合金成分均匀，合金靶材相对密度高，工艺流程短，生产成本低，利于推广使用。
一种铝钛硅合金及其制备方法

[发明专利]一种钛铝镁硅合金靶材及其制备方法-CN201911088564.4在审
发明人：吕宏;张超;谢元锋;夏扬 -专利权人：有研工程技术研究院有限公司
申请日： 2019-11-08 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种钛铝镁硅合金靶材及其制备方法。该钛铝镁硅合金靶材的质量百分比组成为：钛57％～97％，铝0.1％～20％，镁0.7％～26.9％，硅0.3％～16％；该靶材通过热压烧结方法制备。采用热压烧结制备方法，首先按照配比进行混料；然后在真空气氛下，对混合粉末进行两段式热压烧结；对坯料进行机加工，得到钛铝镁硅合金靶材。本发明的钛铝镁硅合金靶材，合金成分均匀，合金靶材致密度高，质量稳定。
一种钛铝镁硅合金及其制备方法

[发明专利]一种铝铬硼靶材与铝硅合金背板的焊接方法-CN202210297252.X在审
发明人：王健;马书旺;吕政;杨志民;戴赫;唐文涛;杨剑 -专利权人：有研工程技术研究院有限公司
申请日： 2022-03-24 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： B23K20/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种铝铬硼靶材与铝硅合金背板的焊接方法，属于靶材制造技术领域。本发明通过采用铝硅合金粉末在高能球磨冲击下发生分散和塑性变形，在高体积分数铝铬硼靶材和铝硅合金背板表面形成高致密度强结合的铝硅合金涂层，降低了铝铬硼靶材和铝硅合金背板的物理、化学性能差异，通过后续的热等静压扩散焊接，实现了铝铬硼靶材和铝硅合金背板高强度、高焊合连接。
一种铝铬硼靶材合金背板焊接方法

[发明专利]一种铝硅靶材及其制备方法与应用-CN202211008938.9在审
发明人：姚力军;潘杰;周敏;陈勇军;周友平 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种铝硅靶材及其制备方法与应用，铝硅靶坯依次经过一级加热、锻造、二级加热、模压成型和热处理，得到铝硅靶材；其中，所述模压成型使用的模具包括上模具和下模具；所述上模具的中心凸起；所述下模具的中心凹陷；所述下模具的凹陷处与所述上模具的凸起处相匹配；所述模压成型是将所述二级加热后的靶坯置于所述下模具中，利用所述上模具压制成型；本发明所述铝硅靶材及其制备方法，采用模压成型的工艺，提高生产效率，增加靶材的平整度，减少机加工的加工余量；所得铝硅靶材的表面平整度高，尺寸精度高，铝硅靶材的晶粒尺寸在80‑100μm，内部组织均匀，具有优良的溅射性能。
一种铝硅靶材及其制备方法应用

[发明专利]一种钒铝硅三元合金靶材及其制备方法-CN201510249724.4无效
发明人：岳建岭;张琼;陈海奕;徐虹杰;蓝振华 -专利权人：上海柯瑞冶金炉料有限公司;上海彭浦特种耐火材料厂有限公司
申请日： 2015-05-15 - 公布日： 2015-09-23 - 主分类号： C22C21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种钒铝硅三元合金靶材及其制备方法，该钒铝硅三元合金靶材由钒、铝、硅三种元素构成，其原子百分含量分别为：钒20％～70％，硅1％～10％，余量为铝。本发明还包括钒铝硅三元合金靶材的一种制备方法。该方法是将符合特定计量比的钒粉、铝粉和硅粉三种粉末充分混合均匀后冷压预制成坯，然后经真空脱气处理，最后在真空气氛下于一定的温度和压力下热压成钒铝硅三元合金靶材。本发明采用的真空热压制备钒铝硅三元合金靶材方法，制备工艺简单，生产周期短，获得的靶材纯度高(纯度大于99.5％)，组织均匀，致密度高(相对密度＞99.4％)，所构筑的VAlSiN涂层的硬度介于30-45GPa
一种钒铝硅三元合金及其制备方法

[发明专利]一种硅铝旋转靶材的加工方法-CN202110708259.1在审
发明人：钱增杰;黄宇彬;童培云;朱刘 -专利权人：先导薄膜材料有限公司
申请日： 2021-06-24 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种硅铝旋转靶材的加工方法，涉及靶材加工技术领域。本发明提供的硅铝旋转靶材的加工方法包括以下步骤：(1)上车床切凹槽到背管；(2)锯床锯切；(3)返回车床车削凹槽；(4)加工端面。本发明技术方案通过在锯切前将靶材加工到不锈钢背管，直接从不锈钢背管锯切，锯切时需压紧靶材力度为8斤力或以下；再在锯切后进行加工凹槽、加工端面处理，可以有效防止硅铝靶材加工过程中出现开裂、崩边现象，降低了生产过程中的能耗的现象，经加工后的硅铝旋转靶材呈现灰银色，性能优越、外观完美。
一种旋转加工方法

[发明专利]一种镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法-CN202010517407.7在审
发明人：黄宇彬;朱刘;童培云;何坤鹏;钱增杰 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2020-06-09 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明揭示了一种镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法，包括以下步骤：将镍和铬混合一同置于第一真空熔炼炉内的坩埚里熔炼得到镍铬中间合金熔液；将铝和钇混合一同置于第二真空熔炼炉内的坩埚里熔炼得到铝钇中间合金熔液；将镍铬中间合金熔液、铝钇中间合金熔液和硅混合一同置于第三真空熔炼炉内的坩埚里熔炼得到镍铬铝钇硅合金熔液；将镍铬铝钇硅合金熔融液体置于石墨模具中进行离心浇铸后得到镍铬铝钇硅合金靶材铸锭；将镍铬铝钇硅合金靶材铸锭依次进行退火、去氧化、机加工后，得到镍铬铝钇硅合金靶材。本发明提供的一种镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法，采用离心浇铸，能有效解决现有技术使用重力浇铸制合金中存在大量的缩孔和疏松等缺陷等技术问题。
一种镍铬铝钇硅合金制备方法

[发明专利]一种铝合金靶材及其制备方法-CN201811470627.8在审
发明人：温艳玲;惠知;张学智 -专利权人：河北冠靶科技有限公司
申请日： 2018-12-04 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明属于材料加工技术领域，具体涉及一种铝合金靶材及其制备方法。所述的铝合金靶材，以相应原子百分比的铜、硅和稀土元素为原料，制备铝合金靶材，改善所述铝合金靶材的导电性、抗腐蚀性能和抗氧化性能。具体地，铜的加入，使所述铝合金靶材的导电性能提高，硅的加入改变所述铝合金靶材的热膨胀系数，消除薄膜中产生的压缩残余应力，从而消除膜层起包现象，改善溅射镀膜膜层的表面质量。本发明的铝合金靶材的制备方法，先以全部的铜、硅、稀土元素和部分铝混合熔融制成母合金，所述母合金的制备过程使铜、硅和稀土元素更好地与铝熔融混合，再以熔融混合好的铝‑硅‑铜‑稀土合金与剩余部分的铝熔融铸锭，以解决硅、铜难熔融及成分均匀等问题，获得成分均匀的铝合金靶材。
铝合金靶制备稀土元素熔融熔融混合母合金膜层材料加工技术抗腐蚀性能抗氧化性能热膨胀系数原子百分比导电性残余应力导电性能溅射镀膜稀土合金制备过程铸锭薄膜压缩

[实用新型]用于旋转硅铝靶材再制造的激光表面处理设备-CN202120588015.X有效
发明人：葛源;郑春园;戴凌杰;刘纯;吴奇 -专利权人：熔创金属表面科技（常州）有限公司
申请日： 2021-03-23 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于旋转硅铝靶材再制造的激光表面处理设备，该设备能够用于对硅铝靶材管表面进行激光加工处理，用于旋转硅铝靶材再制造的激光表面处理设备包括：支撑座，沿底座的一侧设有第一滑轨；固定件，两个固定件的上端分别相对设有安装部；第二滑轨，形成为条状且与所述第一滑轨间隔开平行相对设置；激光加工单元，设在第二滑轨上且可沿所述第二滑轨滑动和/或锁定，硅铝靶材水温控制器，冷却管道和排水管道。该用于旋转硅铝靶材再制造的激光表面处理设备具有结构完整、产品装卸简单、冷却效果好等优点。
用于旋转硅铝靶材再制造激光表面处理设备

[发明专利]一种高纯铝硅靶材及其制备方法-CN202111091818.5有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;章丽娜;罗明浩 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种高纯铝硅靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：将高纯铝硅靶坯依次进行锻伸、一次热处理、静压、二次热处理、压延以及三次热处理，得到高纯铝硅靶材；所述一次热处理的温度为480‑500℃，时间为10‑20min；所述二次热处理的温度为440‑460℃，时间为10‑20min；所述制备方法通过优化制备工艺，解决了高纯铝硅靶坯内部缺陷的问题，使内部晶粒足够细化均匀，提高了靶材的质量和性能。
一种高纯铝硅靶材及其制备方法

[发明专利]旋转硅铝靶材再制造的装置及其制备方法-CN202110308517.7有效
发明人：葛源;郑春园;戴凌杰;刘纯;吴奇 -专利权人：熔创金属表面科技（常州）有限公司
申请日： 2021-03-23 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种旋转硅铝靶材再制造的装置及其制备方法，该装置能够用于对硅铝靶材管表面进行激光加工处理，旋转硅铝靶材再制造的装置包括：支撑座，沿底座的一侧设有第一滑轨；固定件，两个固定件的上端分别相对设有安装部该旋转硅铝靶材再制造的装置具有产品装卸简单、便于实时监控加工参数等优点，利用该装置的制备方法具有步骤简单、加工效率高等优点，能够提高硅铝靶材的使用率，减少浪费，节约成本。
旋转硅铝靶材再制造装置及其制备方法

[发明专利]一种铬铝硅镍四元合金靶材及其制备方法-CN201910466898.4在审
发明人：姜海;唐培新;吕晓明;姜慧;王瑞刚;许凤志 -专利权人：河北宏靶科技有限公司
申请日： 2019-05-31 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种铬铝硅镍四元合金靶材由以下成分构成：铬30‑95％铝3‑80at％，硅1‑20at％，镍1‑20at％，本发明提供的一种铬铝硅镍四元合金靶材的制备方法是先将铬粉、铝粉、硅粉及镍粉按所述配比均匀混合，经冷等静压预压制，然后将压块破碎、真空状态下进行预合金化，装套、脱气、热等静压烧结，最后将所制得的坯料进行机加工，得到铬铝硅镍四元合金靶材。本发明提供的铬铝硅镍四元合金靶材具有致密度高，无气孔、无疏松及偏析，晶粒细小、组织均匀等优点，能够适用于各种工模具所需的硬质涂层溅射使用。
四元合金铬铝硅镍靶材制备热等静压烧结晶粒冷等静压硬质涂层预合金化真空状态工模具机加工铬粉硅粉溅射铝粉镍粉配比坯料偏析脱气压块疏松破碎压制

[发明专利]一种铝硅靶材及其制备方法与应用-CN202310837030.7在审
发明人：姚力军;潘杰;周敏;陈勇军;周友平 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-07-10 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C22F1/043 文献下载
摘要：本发明涉及一种铝硅靶材及其制备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：(1)对铝硅靶坯进行预热再锻造，得到热锻靶坯；(2)对所得热锻靶坯依次进行第一热处理、第二热处理和第三热处理，得到轧制靶坯；所述第一热处理和第二热处理之间还包括第一压制；所述第二热处理和第三热处理之间还包括第二压制；(3)对所得轧制靶坯进行机加工，得到所述铝硅靶材。本发明设计了一种铝硅靶材的制备工艺，通过三次热处理并在间隙进行两次轧制，对靶材的内部结构的晶向占优进行了调控，优化了内部的组织结构，从而确保了薄膜质量及成品率。
一种铝硅靶材及其制备方法应用

[发明专利]一种溅射用细晶高纯铝硅铜合金靶材坯料的制备方法-CN202010527438.0有效
发明人：马小红;徐亚军;元鹏超;白毅;张博;刘江滨;马青 -专利权人：新疆众和股份有限公司
申请日： 2020-06-11 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： C22C1/03 文献下载
摘要：本发明为一种溅射用细晶高纯铝硅铜合金靶材坯料的制备方法。一种溅射用细晶高纯铝硅铜合金靶材坯料的制备方法，包括：S10配制中间合金：所述的中间合金为铝铜中间合金和铝硅中间合金；S20：将所述的中间合金与99.9995％纯度的高纯铝在真空熔炼炉中熔融，完全熔融后，得合金液；所述的合金液中硅含量为0.9‑1.1wt％，铜含量为0.45‑0.55wt％；S30：将所述的合金液采用高纯氩气进行在线精炼；S40：将经过在线精炼的合金液进行双极过滤；S50：将经过双级过滤的合金液进行φ120‑164mm棒材坯料铸造，得所述的溅射用细晶高纯铝硅铜合金靶材坯料。本发明所述的一种溅射用细晶高纯铝硅铜合金靶材坯料的制备方法，制备的溅射用高纯AL‑1wt％Si‑0.5wt％Cu靶材坯料中微量杂质元素含量极低，溅射成膜性能好，且成分均匀。
一种溅射用细晶高纯铜合金坯料制备方法

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