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[发明专利]一种硅靶材与铝合金背板的钎焊方法-CN202211235810.6在审
发明人：姚力军;潘杰;周鹏飞;宋阳阳 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-10-10 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种硅靶材与铝合金背板的钎焊方法，所述钎焊方法分别对硅靶材和铝合金背板进行预处理，得到处理后硅靶材和处理后铝合金背板；之后，处理后硅靶材进行第一超声浸润处理，得到半成品硅靶材；处理后铝合金背板依次经钢刷浸润处理、第二超声浸润处理、涂抹铟焊料处理和第三超声浸润处理，得到半成品铝合金背板；最后，将熔化后的铟焊料放置在半成品铝合金背板的表面后，依次放置铜丝和半成品硅靶材进行扣合组装，得到成品靶材组件。本发明所述的钎焊方法得到的靶材组件抗拉强度高且焊接结合率高，适合大规模工业化推广应用。
一种硅靶材铝合金背板钎焊方法

[发明专利]一种高纯硅靶材与铜背板的钎焊方法-CN202110546685.X在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-05-19 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： B23K1/20 文献下载
摘要：本发明提供一种高纯硅靶材与铜背板的钎焊方法，所述钎焊方法包括：对所述硅靶材的焊接面进行镀镍处理；在所述焊接面放置焊料以及铜丝，将所述硅靶材与背板装配，加热进行钎焊，加压条件下使焊料充分浸润焊接面，冷却后完成钎焊所述钎焊方法可以解决硅靶材在钎焊时的开裂现象，提高硅靶材与背板的焊接结合率，降低单个缺陷率。
一种高纯硅靶材背板钎焊方法

[发明专利]一种具有氮化钛层的钝化接触电池金属化结构-CN202211581218.1在审
发明人：刘奇尧;上官泉元 -专利权人：江苏杰太光电技术有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本发明的技术方案是：包括在晶硅衬底上依次沉积的隧穿氧化层、掺杂晶硅层、氮化钛层、氮化硅层以及铝电极，所述铝电极采用丝网印刷工艺制备，烧结时，铝浆烧穿氮化硅层后到达至氮化钛层，所述氮化钛层采用物理气相沉积法制备，以钛靶材或氮化钛靶材为溅射源，通入NH3或H2使得氮化钛薄膜富氢。本发明提供的方案解决了现有技术中钝化接触电池的隧穿氧化层易被浆料烧穿的难题且可以使用更薄的掺杂非晶硅层，降低镀膜成本和吸光损失；还可以匹配价格低廉的铝浆料，大大降低制造成本。
一种具有氮化钝化接触电池金属化结构

[发明专利]高钪铝钪合金靶及其靶材绑定方法-CN202010987309.X在审
发明人：陈力学 -专利权人：长沙神弧离子镀膜有限公司
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种高钪铝钪合金靶的靶材与铜背板的绑定结构及绑定方法。它的结构特点是，铜背板连接高钪铝钪合金靶材，限位元件通过连接元件同铜背板固定圈相连接，且该限位元件同所述高钪铝钪合金靶材的前表面外周相连而使钪铝钪合金靶材保持同铜背板连接。所述绑定方法的技术特点是，连接元件对铜背板固定圈的紧固程度为：能使高钪铝钪合金靶材与铜背板保持良好接触以使靶材与铜背板之间具有导电与热传导性能，并使高钪铝钪合金靶材在镀膜过程中不会因连接元件的紧固作用而产生脆性开裂本发明有效克服了高脆性的高钪铝钪合金靶绑定难题，使高钪铝钪合金靶能够实际用于镀膜生产；所述绑定结构与方法使靶材在作业中整体结构稳定、可靠。
高钪铝钪合金及其绑定方法

[发明专利]高纯铝硅与铝合金背板的焊接方法-CN202211611672.7在审
发明人：张金;黄宇彬;潘铭枫;黄旭东;童培云 -专利权人：先导薄膜材料有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： B23K15/00 文献下载
摘要：本发明属于靶材制造技术领域，涉及一种高纯铝硅与铝合金背板的焊接方法。包括以下步骤：（1）打磨、清洁焊片、高纯铝硅靶坯和铝合金背板的焊接结合处，装入焊接工装中，然后将焊片放入高纯铝硅靶坯和铝合金背板的焊接结合处缝隙；（2）在真空氛围下，对所述高纯铝硅和所述铝合金背板的焊接结合处采用电子束焊接依次进行三圈焊接工艺
高纯铝合金背板焊接方法

[发明专利]一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法-CN202010287561.X有效
发明人：李群;许鹏国;李卫;杨海勇 -专利权人：河北晟华新材料科技有限公司
申请日： 2020-04-13 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： B22F1/052 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法，该制备方法包括：提供钛粉和铝粉；将所述钛粉和铝粉混合均匀；将混合均匀的粉末装填进入包套；对装满粉末的包套进行除气；将除气完成的包套进行热等静压处理，在高温高压下，粉末在包套内部致密并形成锭坯；将锭坯进行机械加工制成钛铝靶材。制备得到的钛铝靶材有以下优点：(1)靶材材质和密度分布均匀，且致密度高、无气孔；(2)由于没有脆性金属间化合物的生成，靶材机加工性能良好，可实现复杂形状靶材的加工；(3)本发明所提供的钛铝靶材制备方法，可实现熔炼法无法实现的高铝含量的钛铝靶材的生产；(4)相对于热压方法和熔炼方法，可实现大尺寸钛铝靶材的生产。
一种用于物理沉积钛铝靶材及其制备方法

[发明专利]铝靶材坯料与铝合金背板的焊接方法-CN200910135315.6无效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈勇军;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-04-17 - 公布日： 2009-10-28 - 主分类号： B23K20/14 文献下载
摘要：一种铝靶材坯料与铝合金背板的焊接方法，包括：提供铝靶材坯料和铝合金背板；将铝靶材坯料和铝合金背板放置入真空包套送入焊接设备；采用热等静压工艺进行扩散焊接，将铝靶材坯料焊接至铝合金背板形成靶材组件；完成焊接后，进行空冷并拆除真空包套取出靶材组件。本发明采用真空套包实现靶材与背板与空气隔绝，有效防止焊接时金属表面被氧化，并降低了真空设备成本；另一方面，利用热等静压工艺进行扩散焊接，进一步地提高铝靶材坯料与铝合金背板之间的结合强度，且结合后弯曲变形小
铝靶材坯料铝合金背板焊接方法

[发明专利]一种环形高钪铝钪合金靶材及其制备方法-CN202210677383.0在审
发明人：张俊飞;蔡新志;童培云;朱刘 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2022-06-15 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种环形高钪铝钪合金靶材及其制备方法，属于靶材技术领域，环形高钪铝钪合金靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)将铝钪靶材用胶带保护；(2)将靶材准备腐蚀穿孔的位置的胶带去除，露出需要穿孔的圆形靶材表面，将腐蚀容器垂直于圆形靶材表面，并固定，将圆形靶材表面的背面与腐蚀容器对应的位置的胶带去除，并将背面露出部分与胶带的接触处密封；(3)将靶材放置于容器中，冰水混合物没过靶材，将酸液加入到腐蚀容器中，隔0.5～2小时将酸液吸出，用水清洗腐蚀位置并吸出，再加入酸液，重复操作，直至靶材腐蚀穿孔。本发明用酸液对靶材进行定向腐蚀，能够制备出完整性好、不存在碎裂风险的环形高钪铝钪合金靶材。
一种环形高钪铝钪合金及其制备方法

[发明专利]一种改善铝靶材边缘开裂的方法-CN202110679321.9有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： C22F1/043 文献下载
摘要：本发明提供一种改善铝靶材边缘开裂的方法，所述方法为将铝靶材加工中的静压处理替换为锻伸处理。所述方法可以有效解决铝靶材加工过程中的边缘裂纹问题，提高了产品质量同时，增加了铝靶材加工的合格率。
一种改善铝靶材边缘开裂方法

[发明专利]一种多晶硅靶材与铜背板的钎焊方法-CN202111225048.9在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;周鹏飞 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-10-20 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种多晶硅靶材与铜背板的钎焊方法，所述钎焊方法对多晶硅靶材和铜背板分别采用不同的预处理方式和浸润处理方式提高二者的浸润效果，之后在处理后铜背板上放置铜丝，将所述处理后多晶硅靶材扣合在上面，并依次叠合处理后铜背板、铜丝、处理后多晶硅靶材、耐高温硅胶、木块和金属压块，冷却后完成钎焊。本发明提供的多晶硅靶材与铜背板的钎焊方法解决了多晶硅靶材与铜背板焊接时不能有效浸润、焊料易流失导致形成的焊接层厚度很薄的问题，得到的多晶硅靶材与铜背板的钎焊结合率高、焊接结合强度高且焊接抗拉强度高，可满足多晶硅溅射靶材使用要求
一种多晶硅靶材背板钎焊方法

[发明专利]一种硅靶材倒角装置-CN201810985094.0在审
发明人：陈良杰;郭校亮;张磊;张建帅 -专利权人：青岛蓝光晶科新材料有限公司
申请日： 2018-08-28 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种硅靶材倒角装置，属于硅靶材制造技术领域。本发明包括底座和设于基座上的工作平台，硅靶材设于工作平台上，所述底座包括竖撑底座和竖撑底座一侧的斜撑底座，所述竖撑底座上设有导轨，所述工作平台底部设有与所述导轨相配合的导槽，所述斜撑底座上设有倒角砂轮和与所述倒角砂轮连接的电机，本发明通过改变倒角过程中倒角装置的工作平台与硅靶材的相对运动方式，保证倒角过程中硅靶材的稳定，大幅降低因倒角导致的硅靶材崩边、崩角等损坏现象，同时，由于倒角过程中硅靶材的稳定，确保倒角的稳定、一致。
硅靶材底座倒角工作平台倒角装置竖撑倒角砂轮导轨斜撑相对运动方式崩边导槽电机制造配合保证

[实用新型]一种硅靶材倒角装置-CN201821389620.9有效
发明人：陈良杰;郭校亮;张磊;张建帅 -专利权人：青岛蓝光晶科新材料有限公司
申请日： 2018-08-28 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种硅靶材倒角装置，属于硅靶材制造技术领域。本实用新型包括底座和设于基座上的工作平台，硅靶材设于工作平台上，所述底座包括竖撑底座和竖撑底座一侧的斜撑底座，所述竖撑底座上设有导轨，所述工作平台底部设有与所述导轨相配合的导槽，所述斜撑底座上设有倒角砂轮和与所述倒角砂轮连接的电机，本实用新型通过改变倒角过程中倒角装置的工作平台与硅靶材的相对运动方式，保证倒角过程中硅靶材的稳定，大幅降低因倒角导致的硅靶材崩边、崩角等损坏现象，同时，由于倒角过程中硅靶材的稳定，确保倒角的稳定、一致
硅靶材底座倒角工作平台本实用新型倒角装置竖撑倒角砂轮导轨斜撑相对运动方式崩边导槽电机制造配合保证

[发明专利]铝铈金属靶材及利用该铝铈金属靶材制作铝铈膜的方法-CN201010240059.X有效
发明人：张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;张成 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2010-07-29 - 公布日： 2012-02-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种铝铈金属靶材。该铝铈金属靶材包括一铝板和若干铈块，该铝板上设有若干通孔，该若干铈块镶嵌于该若干通孔内。本发明将铈块以镶嵌的方式安装于铝靶上，通过对通孔的数量的设置而较易改变靶材中的元素的比例，从而，更加灵活控制铝铈金属膜层性能，该铝铈金属靶材加工成本低，工艺简单。此外，本发明还提供一种利用所述铝铈金属靶材制作一铝铈膜的方法。
金属利用制作铝铈膜方法

[发明专利]一种铜基材上溅射铝层的方法及铝原子转移性铜塑膜-CN202110171884.7有效
发明人：沈晓宇 -专利权人：浙江东尼电子股份有限公司
申请日： 2021-02-08 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明属于锂电池包装材料技术领域，具体公开了一种铜基材上溅射铝层的方法及铝原子转移性铜塑膜。所述铜基材上溅射铝层的方法是以掺杂有桥接金属的合金铝靶作为第一靶材，通过惰性气体离子轰击第一靶材表面，使第一靶材表面原子溢出并沉积在铜基材表面形成预射层；然后以纯铝靶作为第二靶材,通过惰性气体离子轰击第二靶材表面，使第二靶材表面原子溢出并覆盖在预射层表面形成主体层。本发明能够克服铜基材与铝层结合难度大的问题，制成的铝原子转移性铜塑膜不易分层，保证了软包电池的安全性。
一种基材溅射方法原子转移性铜塑膜

[发明专利]一种跑道型硅靶材的生产方法-CN201710004094.3在审
发明人：张磊;陈良杰;张晓峰;顾正;郭校亮 -专利权人：青岛蓝光晶科新材料有限公司
申请日： 2017-01-04 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及硅靶材生产技术领域，特别涉及一种跑道型硅靶材的生产方法，该方法将跑道型成套靶材分解为两个U型靶和多个长方形靶，分解后的长方形靶按照传统标准靶材生产，U型靶材按照异型靶生产，即利用水刀按照U型靶轮廓切割坯料，利用金刚石砂轮对U型靶侧表面进行机械加工。本发明可将跑道型硅靶材的生产效率提高5倍以上，水刀切割效率5000mm2/min，切割时间减少10倍以上；综合成本降低50％以上，硅片出成率可到90％以上；硅靶材的内表面粗糙度可以由Ra3.2提高至Ra0.8
一种跑道型硅靶材生产方法