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- [发明专利]腔室的内衬和腔室-CN201710357147.X有效
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张军
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2017-05-19
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2021-03-02
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C23C16/455
- 本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及一种腔室的内衬和腔室。该腔室的内衬包括抽气内衬和均流内衬，所述均流内衬环绕设置于所述抽气内衬的内侧，所述均流内衬至少包括本体和隔离部，所述隔离部上开设有至少两个孔洞，以将所述均流内衬与所述抽气内衬之间的间隙隔离为连通的进气区域与出气区域；所述腔室内的气体经所述进气区域进入所述孔洞进行均流后，进一步通过所述抽气区域连通的排气口排出至所述抽气内衬的外部。该腔室的内衬，实现了对出气口与进气口之间的空间区域的划分，实现了工艺气体及副产物经过匀流后被真空抽走，实现了气体分布的均匀性。
- 内衬
- [实用新型]一种生活垃圾沥水装置-CN201922163172.1有效
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陈西河
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陈西河
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2019-12-05
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2020-10-27
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B30B9/06
- 本实用新型涉及生活垃圾处理的技术领域，特别是涉及一种生活垃圾沥水装置，其节省人力，提升清洁效率，提高实用性；包括沥水仓、液压缸、压板、门、螺栓、连接管、阀门、支架和刮板装置，沥水仓的内部设置有腔室，液压缸的顶端固定安装在沥水仓的腔室顶端，液压缸的底端设置有伸缩杆，伸缩杆的底端与压板的顶端中部固定连接，沥水仓腔室的底部设置有丽水板，丽水板将沥水仓的腔室分割成上腔室和下腔室，丽水板位于压板的下方，丽水板的顶端设置有多组连通沥水仓上腔室和下腔室的沥水孔，沥水仓的左端设置有添料窗，添料窗与沥水仓的腔室相通，门的顶端与沥水仓的左端铰连接，门的顶端位于添料窗的上方。
- 一种生活垃圾沥水装置
- [实用新型]一种工业除垢水的处理系统-CN202022369642.2有效
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温佳伟
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山西潞泽昕科技有限公司
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2020-10-22
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2021-06-29
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B01D29/56
- 本实用新型公开了一种工业除垢水的处理系统，包括装置主体、分散腔室、过渡分隔板、反应腔室和过滤腔室，所述装置主体内侧的底端设置有反应腔室，反应腔室顶端的装置主体内侧中间位置设置有过渡分隔板，过渡分隔板的顶端设置有分散腔室，且分散腔室的顶端设置有过滤腔室，过滤腔室一侧的底端设置有第二出水口，所述反应腔室底部的一端设置有第二进水管。本实用新型通过在所述过滤腔室的内侧可拆卸设置有过滤板，且过滤板的顶端设置有拉环，该装置在使用的时候，可以通过拉环向上提拉过滤板，从而对四个过滤板的两侧进行清洗，当过滤板内侧的污垢较多下水较慢的时候，对过滤板清洗可以提高装置的过滤效率
- 一种工业除垢处理系统
- [实用新型]一种气动调节阀-CN202023324902.0有效
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沈杰;徐雪勤;时玉财;周学三
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安徽旭辉泵阀有限公司
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2020-12-31
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2021-11-09
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F16K31/126
- 本实用新型公开了一种气动调节阀，包括阀体，所述阀体固定连接有法兰，阀体顶端固定连接有阀盖，阀体内设有阀芯，阀芯顶端固定连接有阀杆，阀盖顶端固定连接有膜室下腔，膜室下腔上方设有膜室上腔，膜室下腔和膜室上腔之间设有膜片，膜片设有连接板，连接板与阀杆固定连接，连接板与膜室下腔之间设有第二弹簧，第二弹簧设有若干个，膜室上腔顶端设有通气口。本实用新型使用时，用卡接的方式代替螺栓连接，方便工作人员拆卸膜室上腔，减少操作步骤，从而方便更换膜片，保证装置正常运转；卡销卡入卡杆与上连接块之间的缝隙内，使卡杆固定，避免卡杆晃动导致膜室上腔与膜室下腔松动；限位杆避免膜室上腔横向位移。
- 一种气动调节
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