专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]平面TEM样品的制作方法-CN201310625289.1在审
  • 陈强;史燕萍 - 上海华力微电子有限公司
  • 2013-11-28 - 2014-03-19 - G01N1/28
  • 本发明提供一种平面TEM样品的制作方法,包括:提供TEM样品,所述TEM样品上具有目标区域;对所述TEM样品进行平面研磨至金属互连层;对所述TEM样品进行截面研磨至TEM样品的边缘距离目标区域2-10微米;采用第一溶液去除金属互连层中的金属线,在所述金属互连层从中形成孔洞;采用第二溶液去除所述孔洞下方的源漏掺杂区域;使用FIB方法对所述TEM样品进行制作,形成平面TEM样品,所述平面TEM样品露出孔洞下方的源漏掺杂区域用于失效分析本发明能够解决平面TEM上无法观察源漏掺杂区域的难题。
  • 平面tem样品制作方法
  • [发明专利]TEM样品的制备方法-CN201310165226.2有效
  • 陈强;高林 - 上海华力微电子有限公司
  • 2013-05-07 - 2013-08-21 - G01N1/28
  • 本发明公开了TEM样品的制备方法,通过在制备TEM样品的过程中,在预备截面上沉积填充层,从而避免了当制作具有高深宽比结构或者孔洞结构的半导体结构的TEM样品时,由于金属保护层未能完全填充高深宽比结构或者孔洞结构,而导致未填满的孔洞边缘区域离子束切割过快造成TEM样品局部损伤的问题,克服了由于TEM样品的均匀性差,而影响TEM分析质量的问题,从而保证了TEM样品的均匀性,提高了TEM样品的分析质量,进而提高TEM
  • tem样品制备方法
  • [发明专利]一种同心锥形TEM室屏蔽门-CN201510958502.X有效
  • 黄承祖;齐万泉;刘星汛 - 北京无线电计量测试研究所
  • 2015-12-18 - 2017-10-27 - E06B5/18
  • 本发明实施例提供一种同心锥形TEM室屏蔽门,屏蔽门盖安插在屏蔽门框中构成屏蔽门,该屏蔽门盖的屏蔽门芯的弧面与同心锥形TEM室所开窗口部分的腔体内壁弧面一致,使得本发明中的同心锥形TEM室屏蔽门在安装在同心锥形TEM室后,该屏蔽门不会在所述同心锥形TEM室内形成凸起或凹陷,降低了该屏蔽门对所述同心锥形TEM室内的电磁场产生的干扰。并且,由于该同心锥形TEM室屏蔽门中的屏蔽门芯,可以用于安装场强探头,所以可以进一步解决同心锥形TEM室腔内空间狭小,传统TEM室屏蔽门无法安装场强探头,浪费同心锥形TEM室内空间的问题。通过以上两点,本发明提供的同心锥形TEM室屏蔽门更加适用于同心锥形TEM室。
  • 一种同心锥形tem屏蔽门
  • [发明专利]一种平面TEM样品的制备方法-CN202011643547.5在审
  • 李全同;刘珠明;张衍俊;陈志涛 - 广东省科学院半导体研究所
  • 2020-12-30 - 2021-04-13 - G01Q30/20
  • 本发明公开了一种平面TEM样品的制备方法,包括:获取包含待测区域的平面TEM样品;其中,所述平面TEM样品的衬底面具有浅凹且未经过氩离子束减薄;对所述平面TEM样品进行氩离子束减薄,直到所述平面TEM样品表面形成穿孔且所述浅凹的边缘接触到所述待测区域时,停止氩离子束减薄,获得最终的平面TEM样品。本发明通过在平面TEM样品衬底面形成浅凹的处理,对所述衬底面形成浅凹的平面TEM样品进行氩离子束减薄,有效解决了在减薄过程中平面TEM样品表面待测区域被去除掉的问题,从而极大地提高了平面TEM样品的制备成功率和检测效率,进而降低了平面TEM样品的制备成本,缩短了制备时间。
  • 一种平面tem样品制备方法
  • [发明专利]定点平面TEM样品制备方法-CN201310156888.3无效
  • 陈强;王炯翀;史燕萍 - 上海华力微电子有限公司
  • 2013-04-28 - 2013-09-04 - G01N1/28
  • 本发明公开了一种定点平面TEM样品制备方法,包括:步骤1:对TEM样品的目标进行定位;步骤2:研磨所述TEM样品,使所述TEM样品的边缘距离目标5~15um;步骤3:切割上述TEM样品的截面;步骤4:将上述TEM样品放入聚焦离子束中进行平面制样。本发明通过结合研磨、截面切割、FIB平面制样的方法,大大提高了TEM定点平面制备的成功率,同时也极大地提高了平面TEM样品的质量,对失效分析、结构分析等提供了极大的帮助。
  • 定点平面tem样品制备方法
  • [发明专利]平面TEM样品制取方法-CN201010510699.8无效
  • 陈卉;谢火扬;胡杰 - 武汉新芯集成电路制造有限公司
  • 2010-10-18 - 2012-05-16 - G01N1/28
  • 本发明的目的在于提供一种平面TEM样品制取方法,包括:提供一包含待观测层的晶圆截块;做标记于所述待观测层上;将一玻璃粘贴于所述待观测层上;同时研磨所述晶圆截块及玻璃;切割所述晶圆截块得到平面TEM样品。通过本发明提供的平面TEM样品制取方法得到的平面TEM样品,当通过吸取针吸取所述平面TEM样品时,即使发生吸取针使得平面TEM样品从晶圆上脱落,但吸取针又没有吸取到平面TEM样品的情况,也能很快找到脱落的平面TEM样品,而无需重新制取平面TEM样品,进而节省了制造时间,降低了制造成本。
  • 平面tem样品制取方法
  • [发明专利]一种湿法刻蚀制备纳米颗粒TEM样品的方法-CN201810469345.X有效
  • 王雷;王树;刘前 - 国家纳米科学中心
  • 2018-05-16 - 2021-11-09 - G01N23/2202
  • 本发明提供了一种湿法刻蚀制备纳米颗粒TEM样品的方法。本发明的湿法刻蚀制备纳米颗粒TEM样品的方法,包括如下步骤:1)将TEM支持膜水平放置,将刻蚀剂滴于所述TEM支持膜上;2)将粘附有纳米颗粒的基底倒置,使得基底具有待转移的纳米颗粒的一面向下并逐渐接触刻蚀剂,经刻蚀后的待转移的纳米颗粒脱离基底并转移至TEM支持膜上;3)静置TEM支持膜至刻蚀剂挥发完毕,完成所述纳米颗粒TEM样品的制样。本发明湿法刻蚀制备纳米颗粒TEM样品的方法,成本低、效率高,可将粘附于基底上的纳米颗粒完整转移至TEM支持膜上,转移后的纳米颗粒无团聚、无损伤,便于纳米颗粒TEM样品的高分辨晶格等性能表征。
  • 一种湿法刻蚀制备纳米颗粒tem样品方法
  • [发明专利]镍金属硅化物的TEM样品的制备方法-CN201711121958.6有效
  • 陈胜;陈强;史燕萍 - 上海华力微电子有限公司
  • 2017-11-14 - 2021-04-13 - G01N1/28
  • 本发明公开了一种镍金属硅化物的TEM样品的制备方法,包括步骤:步骤一、提供一芯片,镍金属硅化物形成于芯片的器件层和半导体衬底界面的选定区域中;步骤二、形成金属保护层将需要进行TEM分析的目标位置的区域完全覆盖;步骤三、采用离子束进行形成TEM分析的TEM样品的切割;步骤四、将芯片倾转一定的角度,采用离子束对TEM样品的半导体衬底层进行离子轰击并使得半导体衬底层完全非晶化。本发明能提高TEM样品的半导体衬底层和镍金属硅化物之间的TEM的衬度成像差异。能得到能在TEM模式下直接进行镍金属硅化物的清晰成像的TEM样品,从而能缩短样品的TEM观测时间,降低观测成本。
  • 金属硅tem样品制备方法
  • [发明专利]一种TEM8抗体及其应用-CN201910446944.4有效
  • 苏云鹏;庄伟亮;裴丽丽;陆苗苗 - 江苏诺迈博生物医药科技有限公司
  • 2019-05-27 - 2020-10-09 - C07K16/28
  • 本发明涉及属于基因工程抗体技术领域,具体的涉及一种TEM8抗体及其应用。本发明描述了的特异性结合TEM8的分离的单克隆抗体及其抗原结合部分,包括分离的单克隆抗体及其药物偶联物。本发明提供的TEM8单克隆抗体,与TEM8重组蛋白和TEM8过表达细胞中的TEM8抗原都具有极强的结合特异性和敏感性,可用于制备治疗TEM8相关性疾病的药物,并可用于进行TEM8相关诊断与检测。在一些实施方式中,所制备的TEM8抗体药物偶联物,可提供疗效更强的用于治疗癌症的药物组合物,具有很好的治疗疾病的作用。
  • 一种tem8抗体及其应用

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