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- [发明专利]改善硬掩膜刻蚀后均匀性的方法-CN202210702730.0在审
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谢磊;何志斌;夏禹
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上海华力集成电路制造有限公司
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2022-06-21
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2022-08-30
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H01L21/28
- 本发明提供一种改善硬掩膜刻蚀后均匀性的方法，提供衬底，衬底上形成有自下而上依次叠加的第二氧化层、栅极、第一至三硬掩膜层；通过光刻和刻蚀打开第三硬掩膜层及其下方的第二、一硬掩膜层，使得部分栅极裸露，之后去除光刻胶层及抗反射涂层；以栅极相对于第二、三硬掩膜层的高选择比，刻蚀裸露的栅极形成凹槽，使得部分第一硬掩膜层上的第三硬掩膜层去除；以栅极相对于第三硬掩膜层的低选择比、第三硬掩膜层相对于第二硬掩膜层的高选择比，刻蚀第三硬掩膜层、第二硬掩膜层，使得剩余的第三硬掩膜层全部去除。本发明通过改变硬掩膜层的结构,并优化栅极刻蚀步骤中的选择比,改善了残留的硬掩膜层的负载差异。
- 改善硬掩膜刻蚀均匀方法
- [发明专利]一种硬膜缝合辅助器械-CN202011192224.9在审
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周立祥;周睿峰;栾永昕;韦强;何川;王海峰
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吉林大学第一医院
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2020-10-30
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2021-01-05
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A61B90/14
- 本发明公开了一种硬膜缝合辅助器械，涉及医疗器械技术领域，其技术方案要点是：包括护板、硬膜压板和按压握手，护板转动连接有转动轴；硬膜压板、按压握手均与转动轴固定连接，且位于转动轴两侧；硬膜压板与护板之间设有弹簧，弹簧两端分别与硬膜压板、护板的相向面固定连接。本发明通过手动加压按压握手，使得硬膜压板在转动轴转动作用下打开，此时弹簧处于拉伸状态；将护板置于欲缝合硬膜下方，松开按压握手后，硬膜压板在弹簧的恢复弹力作用下将断裂硬膜两侧边缘合拢后按压在护板上，减小裂开硬膜间隙，利于缝合，通过每次加压按压握手并向后移动改变硬膜夹持位置直至硬膜缝合结束，整体设计简单，操作容易，利于广大医护人员的使用。
- 一种缝合辅助器械
- [发明专利]一种高硬度硬涂膜及其制备方法-CN202010363644.2在审
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张克然;史梦
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宁波安特弗新材料科技有限公司
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2020-04-30
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2021-11-02
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C08J7/046
- 本发明涉及UV光固化涂料领域，具体涉及一种高硬度硬涂膜及其制备方法。为了解决现有高硬度硬涂膜在涂布硬化涂层的过程中易起皱或卷曲的问题，本发明提供一种高硬度硬涂膜及其制备方法。所述硬涂膜依次包括第一硬涂层、基材和第二硬涂层。本发明提供的高硬度硬涂膜的制造方法包括如下步骤：在基材的一面贴上保护膜a；在未覆保护膜的一面制备得到第一硬涂层；在第一硬涂层表面贴上保护膜b；将保护膜a撕下，在基材的这一面涂布第二硬化涂液，先后经过高压汞灯和UV‑LED光源固化后得到第二硬涂层；将硬涂膜在烘箱中进行烘烤。本发明提供的高硬度硬涂膜在涂布硬化涂层的过程，膜面不易起皱或卷曲，且不易翘曲。
- 一种硬度硬涂膜及其制备方法
- [发明专利]制作接触孔的方法-CN201010022612.2有效
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张力群;覃柳莎
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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2010-01-08
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2011-07-13
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H01L21/768
- 本发明公开了一种制作接触孔的方法，包括下列步骤：提供一前端器件层；在前端器件层上面形成结构层；在结构层上面形成第一硬掩膜层；在第一硬掩膜层上面形成第二硬掩膜层；在第二硬掩膜层上面形成光刻胶层；以光刻胶层为掩膜，刻蚀第二硬掩膜层，从而将光刻胶层的图案转移到所述第二硬掩膜层上；去除具有所需图案的光刻胶层；在第一硬掩膜层以及第二硬掩膜层上形成一层反图案材料层；去除部分反图案材料层直至露出第二硬掩膜层，使反图案材料层的顶部与第二硬掩膜层的顶部平齐，形成具有图案的反图案材料层；去除第二硬掩膜层；将反图案材料层的图案转移到第一硬掩膜层上以及结构层上，形成接触孔；去除反图案材料层以及第一硬掩膜层。
- 制作接触方法
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