[发明专利]MRAM器件的制造方法有效
申请号: | 201910407222.8 | 申请日: | 2019-05-16 |
公开(公告)号: | CN111952440B | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 杨成成;刘瑞盛 | 申请(专利权)人: | 中电海康集团有限公司;浙江驰拓科技有限公司 |
主分类号: | H10N50/10 | 分类号: | H10N50/10;H10N50/01;H10B61/00 |
代理公司: | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人: | 赵永刚 |
地址: | 311121 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种MRAM器件的制造方法,包括:在底电极上依次形成MTJ元件层、第一硬掩膜层和第二硬掩膜层;图形化第二硬掩膜层,依次刻蚀第二硬掩膜层及第一硬掩膜层;去除剩余的第二硬掩膜层;沉积一保护层,所述保护层覆盖剩余的第一硬掩膜层的侧壁和表面以及MTJ元件层的表面;对保护层进行刻蚀,只保留覆盖于剩余的第一硬掩膜层的侧壁的保护层;以剩余的第一硬掩膜层及其侧壁的保护层为硬掩膜,刻蚀MTJ元件层,得到MTJ预制件;去除覆盖于剩余的第一硬掩膜层的侧壁的保护层;以剩余的第一硬掩膜层为硬掩膜,刻蚀MTJ预制件,得到与剩余的第一硬掩膜层的侧壁平齐的MTJ元件。本发明能够降低MTJ元件的侧壁损伤,提高MRAM器件的可靠性。 | ||
搜索关键词: | mram 器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
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