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[发明专利]一种后栅工艺假栅的制造方法和后栅工艺假栅-CN201210510352.2有效
发明人：李春龙;李俊峰;闫江;赵超 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2012-12-03 - 公布日： 2014-06-11 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：本公开实施例提供了一种后栅工艺假栅的制造方法和一种后栅工艺假栅，该方法包括：提供半导体衬底；在所述半导体衬底上生长栅极氧化层；在所述栅极氧化层上淀积底层非晶硅；在所述底层非晶硅上淀积ONO结构硬掩膜；在所述ONO结构硬掩膜上淀积顶层非晶硅；在所述顶层非晶硅上淀积硬掩膜层，对所述硬掩膜层进行微缩，使微缩后的硬掩膜层宽度小于等于22nm；以所述微缩后的硬掩膜层为标准，对所述顶层非晶硅、ONO结构硬掩膜和底层非晶硅进行刻蚀，并去除所述硬掩膜层和顶层非晶硅。
一种工艺制造方法

[发明专利]沟槽刻蚀方法以及半导体器件制造方法-CN201110388536.1有效
发明人：熊磊;奚斐 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2011-11-29 - 公布日： 2017-07-11 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：根据本发明的沟槽刻蚀方法包括衬垫氧化层形成步骤，用于在衬底上形成衬垫氧化层；硬掩膜形成步骤，用于在所述衬垫氧化层上形成硬掩膜；光刻胶层形成步骤，用于在所述硬掩膜上形成光刻胶层；光刻步骤，用于对光刻胶层进行光刻以得到光刻胶层的图案；硬掩膜刻蚀步骤，用于利用光刻步骤所得到的光刻胶层的图案对所述硬掩膜进行刻蚀以形成硬掩膜图案；光刻胶层去除步骤，利用氧气去除所述光刻胶层；以及沟槽刻蚀步骤，用于利用硬掩膜刻蚀步骤刻蚀出的所述硬掩膜图案来利用氧气刻蚀沟槽
沟槽刻蚀方法以及半导体器件制造

[发明专利]半导体装置的制造方法-CN200310100708.6无效
发明人：半田崇登;海本博之 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2003-10-08 - 公布日： 2004-05-19 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：具有在硅基板(1)之中露出p型区域(2)的开口部并形成由BPSG膜等构成的硬掩膜(21a)。然后，通过进行采用乙醇气体的各向同性喷溅蚀刻将硬掩膜(21a)的角部变圆，形成具有锥体形状的注入硬掩膜(21)。通过将注入硬掩膜(21)作为掩膜进行N型杂质的倾斜离子注入，形成LDD结构的n^-层(13)。然后，除去注入硬掩膜(21)。由此，采用比以往的膜厚更薄的注入掩膜进行倾斜离子注入。
半导体装置制造方法

[实用新型]一种易撕膜型聚氯乙烯硬片-CN201821404352.3有效
发明人：张少捷 -专利权人：浙江多凌药用包装材料有限公司
申请日： 2018-08-29 - 公布日： 2019-04-23 - 主分类号： B32B27/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种易撕膜型聚氯乙烯硬片，包括PVC硬片板，所述PVC硬片板上并排设置多组置药腔，且置药腔内凹于PVC硬片板一侧表面，所述置药腔底端凸出设置于PVC硬片板另一侧表面，所述PVC硬片板位于置药腔内凹的表面覆盖有膜层，且PVC硬片板与膜层接触的位置设有内凹槽和外凸球，所述内凹槽和外凸球并排间隔分布。本实用新型通过在PVC硬片板与膜层接触的表面设置内凹槽和外凸球，利用内凹槽和外凸球使得PVC硬片板表面粗糙，当膜层的贴上时接触面积减小，且在内凹槽的作用下，使得PVC硬片板与膜层之间留有空隙，从而便于将膜层撕下，通过在PVC硬片板的两侧表面上设置抗菌层和抗紫外线层，利用抗紫外线层所起到的防紫外线的功能。
膜层内凹槽外凸置药腔聚氯乙烯硬片本实用新型抗紫外线层易撕膜内凹表面覆盖表面设置并排设置防紫外线间隔分布面积减小凸出设置板表面抗菌层底端撕下贴上药腔组置粗糙

[发明专利]一种硬膜修补材料的制备及其应用-CN201710863530.2在审
发明人：闫瑞国;富勇 -专利权人：北京华信佳音医疗科技发展有限责任公司
申请日： 2017-09-22 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： A61L27/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种硬膜修补材料的制备及其应用，属于生物材料和医疗卫生领域。本发明具体公开了一种硬膜修补材料的制备及其应用，具体步骤包括胶原蛋白的提取，浆液的制备，硬膜的冻干，交联和灭菌等过程。所得硬膜修补材料具有完整的三股螺旋结构，机械性能高，生物相容性好，降解可控等优点，可作为硬脑膜和脊柱膜的替代物。
一种修补材料制备及其应用

[发明专利]硬涂膜及其制备方法-CN201380039260.3有效
发明人：姜俊求;许殷奎;张影来;郑顺和;朴真荣;郑赫 -专利权人：株式会社LG化学
申请日： 2013-05-31 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： C08J5/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种硬涂膜及其制备方法，并且更具体而言，涉及一种呈现高硬度和其他优异特性的硬涂膜及其制备方法。本发明的硬涂膜及其制备方法可有利于制备具有低的卷曲发生率和高硬度的硬涂膜，并且制备的硬涂膜呈现优异的高硬度、耐磨性、高透明度、耐久性、耐光性和透光率，并因此可有效地用于各种行业中。
硬涂膜及其制备方法

[发明专利]降低源极和漏极电阻的结构和方法-CN201410654361.8有效
发明人：鲍宇;周军;朱亚丹;曾真 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-11-17 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：该方法包括：在衬底上形成的栅极、源极和漏极区和侧墙；在所述侧墙外侧形成第一侧墙硬掩膜；在所述源极和漏极区上形成半导体层；在所述第一侧墙硬掩膜外侧形成第二侧墙硬掩膜；将所述第二侧墙硬掩膜作为掩膜层刻蚀所述半导体层；去除所述第一侧墙硬掩膜和第二侧墙硬掩膜，从而在所述源极和漏极区上形成与所述栅极分离的凸起结构。
降低电阻结构方法

[发明专利]硬涂膜和包括该硬涂膜的显示窗-CN202210901882.3在审
发明人：林巨山;姜敏憼;金慧璘 -专利权人：东友精细化工有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： C08J7/046 文献下载
摘要：本发明实施例的硬涂膜包括基材层和硬涂层，硬涂层满足预定的油酸接触角。此外，硬涂膜可以包括根据实施例的硬涂层以提高光学性能和油分的可视度。
硬涂膜包括显示

[发明专利]一种无翘曲无色透明聚酰亚胺加硬复合膜制备方法-CN202010476948.X在审
发明人：李祥涛;陈图强;徐鸿;胡浩亨;张思哲;林嘉豪 -专利权人：浙江道明光电科技有限公司
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： C08J7/046 文献下载
摘要：一种无翘曲无色透明聚酰亚胺加硬复合膜制备方法，包括以下步骤：(a)取无色聚酰亚胺浆料，在光滑的钢带上涂覆无色聚酰亚胺浆料并进行预烘干处理，形成第一半固化聚酰亚胺膜；(b)将第一半固化聚酰亚胺膜进行双向拉伸处理形成第二半固化聚酰亚胺膜；(c)取加硬液，在第二半固化聚酰亚胺膜上涂覆加硬液形成加硬液层，后进行二次烘干处理和UV固化处理，将第二半固化聚酰亚胺膜完全固化形成聚酰亚胺层，将加硬液层完全固化形成加硬树脂层。本发明通过上述方法制得的复合膜其聚酰亚胺层和加硬树脂层之间的贴合度更好，膜的厚度更加均匀，可有效防止翘曲和表层裂纹现象的发生。
一种无翘曲无色透明聚酰亚胺复合制备方法

[发明专利]防反射硬膜薄膜、光学元件和图像显示装置-CN200680003672.1有效
发明人：高田胜则;重松崇之 -专利权人：日东电工株式会社
申请日： 2006-01-13 - 公布日： 2008-01-23 - 主分类号： G02B1/11 文献下载
摘要：本发明提供一种防反射硬膜薄膜，其是在透明塑料薄膜基材的至少一个面依次分别形成至少一层作为固化涂膜层的硬膜层、防反射层的防反射硬膜薄膜，在形成硬膜层和防反射层直接接触的界面的层中，硬膜层形成材料含有：具有这种防反射硬膜薄膜中的硬膜层与防反射层的粘附性良好，具有高硬度且不影响防反射特性的良好、且具有耐擦伤性。
反射薄膜光学元件图像显示装置

[发明专利]快速制备硬组织切片的方法及其应用-CN201810474109.7有效
发明人：陈建权;郑懿欣;刘存昌 -专利权人：苏州大学
申请日： 2018-05-17 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种快速制备硬组织切片的方法：将硬组织在多聚甲醛中固定，然后在蔗糖水溶液中浸泡；使用包埋剂包埋上述硬组织，然后进行速冻，使得包埋剂固化；将样本的一侧紧密地粘贴至粘附膜带上，然后在‑25℃～‑30℃下沿与粘附膜带的表面相平行的方向对硬组织进行切片，切片厚度为6‑8μm；将带有硬组织切片的膜带置于防脱载玻片上，带有硬组织切片的膜带上的硬组织切片通过紫外固化胶与防脱载玻片紧密贴合，然后用紫外光引发紫外固化胶聚合，去除硬组织切片表面的粘附膜带，得到硬组织切片。本发明还要求保护上述方法所制备的硬组织切片在组织染色中的应用。本发明方法简便易学、价格低廉、快捷(仅需3天)。
快速制备组织切片方法及其应用

[实用新型]慢性硬膜下血肿模型装置-CN201821477145.0有效
发明人：程祖珏;肖爵贤;金步;王利平;罗海涛;吕世刚;何伟;祝新根 -专利权人：南昌大学第二附属医院
申请日： 2018-09-10 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： G09B23/28 文献下载
摘要：本实用新型提供一种慢性硬膜下血肿模型装置，其包括有：模拟颅骨、模拟硬脑膜、模拟血肿和模拟脑组织；所述模拟硬脑膜包覆在所述模拟血肿和模拟脑组织外，所述模拟颅骨包覆在所述模拟硬脑膜外；所述模拟血肿位于所述模拟硬脑膜和所述模拟脑组织之间，且所述模拟血肿与所述模拟硬脑膜可分离地贴覆连接。本实用新型提供的慢性硬膜下血肿模型装置，能够给神经外科研究生和神经外科医师模拟出形同慢性硬膜下血肿在实际临床环境下的颅脑结构，使得神经外科研究生和神经外科医师能够有效地进行培训和反复操练，最终达到熟练进行慢性硬膜下血肿手术，能够精准地定位并清除慢性硬膜下血肿，为患者解决病痛，造福患者。
慢性硬膜下血肿硬脑膜神经外科血肿模拟脑本实用新型模拟颅骨模型装置包覆医师可分离地临床环境有效地出形颅脑贴覆病痛培训

[实用新型]一种防水防污的光学透镜-CN202020387519.0有效
发明人：张腾飞;蔡敬佩;张朝伟 -专利权人：南阳市康力达光学仪器有限责任公司
申请日： 2020-03-24 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： G02B1/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防水防污的光学透镜，包括树脂镜面，所述树脂镜面的由内到外依次镀制有加硬膜、减反射膜、防污膜和防水膜，所述加硬膜厚度为1.7～2.0μm，所述减反射膜的总厚度为0.6～0.8μm，所述防污膜厚度为0.005～0.01μm，所述防水膜厚度为0.005～0.01μm，所述树脂镜面和加硬膜、加硬膜和减反射膜、减反射膜和防污膜、防污膜和防水膜之间均设置有PVB膜，且PVB膜的厚度为0.001～0.003μm，本防水防污的光学透镜，表面的防污膜和防水膜的设计，使得镜片的表面不易附着污渍和水珠，从而保证了镜片的清洁性，再者加硬膜的设计，使得镜片具有较高的硬度，因此使得再擦拭时不易对镜片的表面造成划伤。
一种防水防污光学透镜

[发明专利]触摸屏及其制备方法-CN201410079325.3有效
发明人：张迅;王海涛;向程;易伟华 -专利权人：江西沃格光电股份有限公司
申请日： 2014-03-05 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：触摸屏包括玻璃基板及依次层叠于玻璃基板上的增硬膜和防护膜，增硬膜的材料包括氧化铝和氧化钕，防护膜的材料为氟化钙。增硬膜具有较高的硬度和致密性，防护膜具有较高的硬度，且具有防水和防指纹功能，通过设置增硬膜和防护膜，使得该触摸屏不易被划伤，且防水和防指纹效果较好，无需额外贴保护膜。
触摸屏及其制备方法

[发明专利]一种镀加硬膜的硫系化合物玻璃镜片及其加工工艺-CN202010663983.2在审
发明人：刘俊忠 -专利权人：湖北腾胜光电科技股份有限公司
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： C23C28/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种镀加硬膜的硫系化合物玻璃镜片及其加工工艺。一种镀加硬膜的硫系化合物玻璃镜片，其硫系化合物玻璃镜片的表面由内至外依次设置第一抗污染膜层、第一氟化钇膜层、第二抗污染膜层、第二氟化钇膜层、第三抗污染膜层和加硬膜层。同时也公开了这种镀加硬膜的硫系化合物玻璃镜片的加工工艺，包括以下步骤：1)镀制增透膜；2)镀制加硬膜。本发明加硬膜镀制方法采用分步骤进行阶梯式镀制法，通过分阶段进行镀制实现所需光学光谱规格要求6～13μm平均透过率Tave≥90％以上要求，改善了膜厚应力影响易产生膜脱以及膜断裂品质缺陷的问题，提高了硫系化合物玻璃镜片的产品品质
一种镀加硬膜化合物玻璃镜片及其加工工艺