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[发明专利]PVD复合膜层及其制备方法-CN201310430773.9有效
发明人：庾杰仁 -专利权人：佛山市伟盛利得镀膜有限公司
申请日： 2013-09-18 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明涉及PVD镀膜领域，具体而言，涉及PVD复合膜层及其制备方法。该PVD复合膜层，包括金属锆层和氮化钛层，所述金属锆层镀覆在基体上，所述氮化钛镀层镀覆在所述金属锆层上。该PVD复合膜层的制备方法，包括：清洗基体表面；在清洗后的所述基体表面镀金属锆层；在所述金属锆层上镀氮化钛层。本发明提供的PVD复合膜层及其制备方法，增强了氮化钛层抵抗还原酸腐蚀的能力，使得镀膜产品遇到还原酸时，可以延缓产品表面的氮化钛层的脱落速度，延长镀件表面的金黄色装饰保持的时间。
pvd 复合及其制备方法

[实用新型]一种复合银反射膜-CN201921860835.9有效
发明人：徐绍禹;颜毓雷;尹铮杰;翟怀伦;赵锦铃;王明辉 -专利权人：宁波瑞凌新能源科技有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： G02B5/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种复合银反射膜，包括依次层叠设置的柔性基材层、第一氮化钛保护层、银反射层、第二氮化钛保护层。采用氮化钛作为保护层，提高了复合银反射膜的抗氧化能力，氮化钛作为非金属陶瓷材料，对光的吸收少，对复合银反射膜的反射性能影响小；在氮化钛保护层与银反射层之间无需进一步设置金属隔离层，避免了引入金属隔离层导致的反射率下降的问题；复合银反射膜各层的结合力高，其可以适应户外的恶劣环境，应用领域广。
一种复合反射

[发明专利]一种超宽带光学完美吸收器及其制备方法-CN201711129345.7在审
发明人：刘正奇;陈检;周进;刘晓山;刘桂强 -专利权人：江西师范大学
申请日： 2017-11-15 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： G02B5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种超宽带光学完美吸收器及其制备方法，包括衬底，所述衬底上从下往上依次设置氮化钛膜层、介质膜层和氮化钛‑氧化钛结构层；所述氮化钛‑氧化钛结构层包括氮化钛颗粒阵列和氧化钛颗粒阵列，所述氮化钛颗粒阵列设置在所述介质膜层的上表面，所述氧化钛颗粒阵列设置在所述氮化钛颗粒阵列的上表面。通过氮化钛和氧化钛材料本身对不同波长的光有很好的吸收作用，结合所述氮化钛颗粒阵列和氧化钛颗粒阵列实现了覆盖紫外‑可见‑近红外波段的超宽带吸收。
一种宽带光学完美吸收及其制备方法

[发明专利]具有色彩的外壳及其制备方法-CN201010239064.9无效
发明人：张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;张东旭 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2010-07-28 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： H05K5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种具有色彩的外壳，包括一透明的基体及形成于基体上的一复合膜层，该复合膜层包括一钛氧氮化合物膜层及一铬膜层，该钛氧氮化合物膜层直接形成于基体的一表面上，该铬膜层形成于该钛氧氮化合物膜层上，该复合膜层于该钛氧氮化合物膜层一侧呈现的色度区域于
具有色彩外壳及其制备方法

[发明专利]半导体装置及其制造方法-CN98103420.9有效
发明人：中尾圭策;松田明浩;井筒康文;伊东丰二;三河巧;那须彻;长野能久;田中圭介;久都内知惠 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 1998-07-24 - 公布日： 2004-10-27 - 主分类号： H01L27/04 文献下载
摘要：一种半导体装置及其制造方法是在半导体基片上形成由下部电极电容绝缘膜及上部电极组成的电容元件。在层间绝缘膜形成下部电极用接触窗及上部电极用接触窗。在上部电极接触窗的底面和壁面以及层间绝缘膜上的上部电极用的接触窗的周边缘部，形成由氮化钛组成的防止扩散用的导电膜。在含有下部电极用接触窗及上部接触窗的内部的层间绝缘膜上，形成由钛膜、第一氮化钛膜、铝膜及第二氮化钛膜组成的金属布线。
半导体装置及其制造方法

[发明专利]基于氮化钛复合膜及其制备方法-CN201811059410.8在审
发明人：杨杰平 -专利权人：杨杰平
申请日： 2018-09-12 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明揭示了一种氮化钛复合膜及其制备方法，包括由基材表面向外依次形成的金属底层、支撑层及氮化钛层，底层采用阴极电弧技术制备，支撑层采用磁控溅射技术制备，氮化钛层是采用磁控溅射和阴极电弧两种技术同时工作形成的两种不同结构膜层交错堆叠的混合物层，所述氮化钛层的厚度在1~5μm之间。本发明设计精巧，结构简单，氮化钛层采用两种不同结构膜层交替堆叠的结构。充分发挥磁控溅射膜层的高致密性、缺陷少的优点，阴极电弧制备膜层的高硬度、良好的结合力的优点，实现膜层内部结构致密，又可以保证涂层的硬度高，最终形成具有良好的结合力、高硬度、结构致密的硬质涂层。
制备氮化钛层膜层磁控溅射结构膜层阴极电弧氮化钛复合膜高硬度结合力支撑层致密磁控溅射技术阴极电弧技术高致密性混合物层基材表面交错堆叠交替堆叠结构致密金属底层硬质涂层保证

[发明专利]二氧化钛或氮化钛支撑的碳量子点修饰聚吡咯纳米阵列材料及其制备方法和应用-CN201510243215.0有效
发明人：谢一兵;杜洪秀 -专利权人：东南大学
申请日： 2015-05-13 - 公布日： 2018-02-02 - 主分类号： H01G11/28 文献下载
摘要：本发明提供了一种二氧化钛或氮化钛支撑的碳量子点修饰聚吡咯纳米阵列材料，包括管壁独立结构的二氧化钛或氮化钛纳米管阵列，以及二氧化钛或氮化钛纳米管内壁面和外壁面上均匀沉积的碳量子点修饰的聚吡咯导电膜；由二氧化钛或氮化钛纳米管内壁面上均匀沉积的碳量子点修饰的聚吡咯导电膜(1)、二氧化钛或氮化钛纳米管阵列(2)以及二氧化钛或氮化钛纳米管外壁面上均匀沉积的碳量子点修饰的聚吡咯导电膜(3)形成同心轴中空结构的纳米管复合材料。
氧化氮化支撑量子修饰吡咯纳米阵列材料及其制备方法应用

[发明专利]质子交换膜燃料电池催化剂及其制备方法-CN202110832415.5在审
发明人：郑育英;袁泽宇;党岱;张智杰;方岩雄;刘全兵 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2021-07-22 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： H01M4/92 文献下载
摘要：本发明涉及一种质子交换膜燃料电池催化剂及其制备方法。该催化剂包括载体和活性成分；所述载体包括蒲公英状氮化钛，所述活性成分包括铂或铂合金；所述蒲公英状氮化钛的制备包括：蒲公英状二氧化钛与氨气发生氮化反应，制备得到所述蒲公英状氮化钛。本发明的质子交换膜燃料电池催化剂具有优异的催化性能和稳定性能。
质子交换燃料电池催化剂及其制备方法

[发明专利]制造半导体器件的设备和方法-CN98126585.5无效
发明人：占部耕児 -专利权人：恩益禧电子股份有限公司
申请日： 1998-12-02 - 公布日： 2004-01-28 - 主分类号： H01L21/3205 文献下载
摘要：一种半导体器件制造设备，包括至少一个反应室和一个设于反应室的衬底支架，在反应室中氮化硅膜淀积在衬底支架上，半导体衬底置于反应室中衬底支架的氮化硅膜上。以钛的卤化物为原料气体通过化学汽相淀积工艺在反应室中在半导体衬底上淀积钛膜或氮化钛膜。
制造半导体器件设备方法

[实用新型]铝材真空镀膜-CN201420130116.2有效
发明人：庾杰仁 -专利权人：佛山市红利建材有限公司
申请日： 2014-03-21 - 公布日： 2014-10-01 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种铝材真空镀膜，包括铝材本体，所述铝材本体表面由内向外依次镀有三层膜，所述的第一层膜为氧化铝膜，第二层膜为由金属铬和钛组合的钛铬膜，第三层膜为氮化钛膜或碳化钛膜。利用氧化铝的超硬特性作为纯铝材制品的基础层，再用真空镀膜镀上钛铬膜层、氮化钛膜或碳化钛膜层，使之达到耐磨损、抗腐蚀和多种装饰色彩的效果。
真空镀膜

[发明专利]半导体装置和半导体装置的制造方法-CN201810200156.2在审
发明人：五十岚觉;加藤伸二郎;长谷川尚;秋野胜;井村行宏 -专利权人：精工半导体有限公司
申请日： 2018-03-12 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： H01L23/485 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体装置及其制造方法，半导体装置(10)具有：布线层(5)，其包含设置于基板(1)上的包含铝或铝合金的布线膜(6)和设置于布线膜(6)上的氮化钛膜(7)；保护层(9)，其覆盖布线层(5)的上表面(5a)和侧面(5b)；和焊盘部(8)，其是贯通保护层(9)和氮化钛膜(7)且布线膜(6)露出而成的，保护层(9)是从布线层(5)侧依次层叠第1氮化硅膜(41)、氧化膜(3)和第2氮化硅膜(42不易产生包含氮化钛的防反射膜的腐蚀，能够利用一次光刻工序对焊盘部进行开口。
半导体装置保护层布线膜氮化硅膜氮化钛膜布线层防反射膜一次光刻依次层叠氮化钛覆盖布焊盘部铝合金上表面氧化膜对焊基板盘部线层制造开口腐蚀贯通侧面

[实用新型]一种具有氮化钛涂层的镀膜玻璃-CN201521144334.2有效
发明人：李林波 -专利权人：洛阳新东昊玻璃有限公司
申请日： 2015-12-31 - 公布日： 2016-06-29 - 主分类号： C03C17/36 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有氮化钛涂层的镀膜玻璃，由基层玻璃、介质层、金属保护层、氮化钛涂层；基层玻璃设置在中间的位置，基层玻璃的厚度为2-6cm，在基层玻璃的两侧分别对称设置一层介质层，介质层的外侧均设置一层金属保护层；在金属保护层的外侧均设置有一层氮化钛涂层；基层玻璃、介质层、金属保护层和氮化钛涂层紧密涂附结合。这种具有氮化钛涂层的镀膜玻璃能够解决的镀膜玻璃的膜层宜划伤、膜层较软、比较脆弱、易脱膜，且不影响镀膜玻璃的节能效果。
一种具有氮化涂层镀膜玻璃

[发明专利]一种镀膜材料及其制备方法-CN200710161056.5有效
发明人：郭丽芬;张旺;宫清 -专利权人：比亚迪股份有限公司
申请日： 2007-12-24 - 公布日： 2009-07-01 - 主分类号： B32B33/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种镀膜材料，该材料包括基材和镀覆在基材上的膜层，所述膜层包括依次镀覆在基材上的钛锆膜层和钛锆碳氮化合物膜层。还提供了一种镀膜材料的制备方法，该方法包括依次在形成钛锆膜层的磁控溅射条件下和形成钛锆碳氮化合物膜层的磁控溅射条件下，在磁控靶上施加电源使磁控靶上的靶材物质溅射并沉积在基材上，以形成依次镀覆在基材上的钛锆膜层和钛锆碳氮化合物膜层，所述靶材为钛锆镶嵌靶。本发明提供的镀膜材料，膜层为蓝色，色差小，颜色均匀，而且膜层的金属质感很强，结合力好，耐磨性和耐腐蚀性能优良。
一种镀膜材料及其制备方法

[实用新型]一种耐磨伞齿轮-CN201320457432.6有效
发明人：刘锄非;邬惠明 -专利权人：江阴市科安传动机械有限公司
申请日： 2013-07-29 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： F16H55/17 文献下载
摘要：实用新型公开了一种耐磨伞齿轮，所述耐磨伞齿轮包括轮体和设置在轮体上的轮齿；所述轮齿表面设有渗碳层，所述渗碳层表面涂覆有碳氮化钛涂膜。通过在轮齿表面设置渗碳层和碳氮化钛涂膜可以提高轮齿的硬度，碳氮化钛涂膜可以进一步提高轮齿的自润滑性。
一种耐磨伞齿轮

[发明专利]一种反渗透复合膜的制备方法-CN202211348435.6在审
发明人：沈涓;王彦辉;张乐喜 -专利权人：江苏泷膜环境科技有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B01D67/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种反渗透复合膜的制备方法。本发明将氮化钛纳米线改性制备出具有亲水功能的氨基氮化钛纳米线；将氨基氮化钛纳米线加入水相溶液中，经界面聚合反应使其均匀分布在反渗透复合膜的聚酰胺功能层中。氨基氮化钛纳米线参与界面聚合反应，通过均苯三甲酰胺(TMC)的交联，在聚酰胺层充当结合点位，反渗透复合膜的机械强度及耐氧化性增强，使用寿命延长。
一种反渗透复合制备方法