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[发明专利]MEMS光学偏转器件-CN202210112102.7有效
发明人：武震宇;王栎皓;刘艺晨;汪洋;余子昊 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2022-01-29 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明提供一种MEMS光学偏转器件，包括：基座、2N个悬臂梁致动器、2N个耦合结构及反射微镜，其中N≥1；每个悬臂梁致动器包括：致动器衬底、致动结构、第一柔性结构；基座与致动器衬底固定连接；致动结构与致动器衬底连接；第一柔性结构与致动器衬底固定连接；第一柔性结构与一个耦合结构固定连接；2N个耦合结构固定连接于反射微镜的下方；2N个悬臂梁致动器沿周向分布于反射微镜的下方周围，且每两个悬臂梁致动器沿直线分布。通过在每一个第一柔性结构的一端均设置一个耦合结构，当沿直线分布的两个悬臂梁致动器同时产生致动力使反射微镜旋转时，两个悬臂梁致动器的旋转轴与反射微镜共轴，光的入射点在偏转过程中不会发生偏移。
mems 光学偏转器件

[发明专利]一种分段式多层微悬臂梁压电致动器-CN201310258261.9有效
发明人：郑学军;王丁;祝元坤;王现英;程宏斌 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2013-06-26 - 公布日： 2013-10-09 - 主分类号： H01L41/047 文献下载
摘要：一种分段式多层微悬臂梁压电致动器，包含：由下至上相互固定的基底层、缓冲层、底电极层、压电薄膜层以及顶电极层，压电薄膜层和顶电极层在分段式多层微悬臂梁压电致动器的第二模态应力节点处断开一定空隙形成第一压电薄膜层、第二压电薄膜层和第一顶电极层、第二顶电极层，第一顶电极层和第二顶电极层同时连接外电路的正极，底电极层连接外电路的负极，形成致动电路，分段式多层微悬臂梁压电致动器的一端固定在固定单元上。本发明的分段式多层微悬臂梁压电致动器，大幅度提高了致动性能，对微悬臂梁压电致动器的开发应用，压电材料设计和性能预测具有指导意义。
一种段式多层悬臂梁压电致动器

[发明专利]具有附加微致动器对的两级头部悬置组件-CN201910176028.3有效
发明人： T·廉;R·赞布里;R·希瓦拉马;B·J·韦梅尔 -专利权人：希捷科技有限公司
申请日： 2019-03-08 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： G11B5/48 文献下载
摘要：本申请公开了具有附加微致动器对的两级头部悬置组件。公开了一种用于支撑盘驱动器的读/写头的位于可旋转驱动致动器臂上的头部悬置组件。头部悬置组件包括靠近并且可操作地连接到第一微致动器对的底板端，第一微致动器对通信地耦合到控制器。头部悬置组件还包括将第一微致动器对可移动地连接到第二微致动器对的负载梁。头部悬置组件还包括靠近并且可操作地连接到第二微致动器对的头部换能器端，第二微致动器对通信地耦合到控制器。读/写头位于头部换能器端附近，读/写头柔性地连接到负载梁，并且控制器配置为可选择地将控制信号传送到第一和第二微致动器对以改善对读/写头的跟踪控制。
具有附加微致动器两级头部悬置组件

[发明专利]一种基于微悬臂阵列传感技术的微纳光控致动器的制备及检测方法-CN201910532487.0在审
发明人：唐毓;李世琴;梅永松;黄赛鹏;张飞;丁松年;冯华伟;戚星宇 -专利权人：安徽理工大学
申请日： 2019-06-19 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于微悬臂阵列传感技术的微纳光控致动器的制备及检测方法。包含以下三个步骤：利用毛细管将光响应材料涂覆到微悬臂梁阵列上，其中第一根悬臂梁为对照组，第二根至第八根微悬臂梁修饰有不同浓度的光响应材料；通过紫外光和可见光光源对光响应材料的交替照射，使其发生光致异构化，导致微悬臂梁发生弯曲，实现光控致动器的制备；通过激光照射在微悬臂梁阵列自由端上，反射的光线在光电位置敏感探测器上形成光斑，微悬臂梁的弯曲会导致光斑发生位移，通过对光斑的位移检测实现对微梁表面应力的检测充分利用微悬臂梁的微米级尺寸、实时、可以痕量检测应力等优点，结合光响应材料光致异构特点，实现微纳光控致动器的制备及性能检测。
微悬臂梁致动器光控制备光响应材料光斑传感技术微悬臂检测光致异构化可见光光源敏感探测器表面应力光电位置光致异构痕量检测激光照射三个步骤位移检测响应材料性能检测紫外光毛细管微米级悬臂梁自由端涂覆微梁反射修饰照射

[发明专利]基于电热驱动的V+U型复合梁微致动器及其制备方法-CN201310237155.2有效
发明人：沈雪瑾;王振禄;陈晓阳;胡懿 -专利权人：上海大学
申请日： 2013-06-17 - 公布日： 2013-10-09 - 主分类号： H02N10/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于电热驱动的V+U型复合梁微致动器，用于产生基于直线运动和弧状运动的复合致动方式。所述装置由V型电热微致动器、U型冷热臂电热微致动器、V型电热微致动器电极、U型冷热臂电热微致动器电极组成，整个装置为多晶硅材料，用MEMS工艺制作。该装置将V型微致动器的直线运动和U型冷热臂微致动器的弧状运动结合起来，产生了基于直线运动和弧状运动的复合致动方式，结构简单，效率高，可用于驱动微夹钳、微齿轮等MEMS器件。
基于电热驱动复合梁微致动器及其制备方法

[发明专利]微抓举式致动器结构-CN200710003170.5无效
发明人：洪银树;黄义佑;李彦其;林君颖 -专利权人：建凖电机工业股份有限公司
申请日： 2007-02-25 - 公布日： 2008-08-27 - 主分类号： H02N1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种微抓举式致动器结构，其包含一致动平板，致动平板通过支承梁与主结构层连接，支承梁与主结构层的连接处具有导角，致动平板尾端设有一个以上的蚀刻孔。本发明可加速致动平板微结构的释放，有效降低致动平板前端所累积的残留电荷，以延长其生命周期并降低驱动电压。而且本发明在多晶硅支撑梁与致动平板连接处加入特殊导角设计，可增加支撑梁的弯曲刚性，进一步有效提升微抓举式致动器元件制造合格率，并减少其致动期间因结构断裂而发生故障的机率。
抓举式致动器结构

[实用新型]微抓举式致动器结构-CN200720003051.5无效
发明人：洪银树;黄义佑;李彦其;林君颖 -专利权人：建凖电机工业股份有限公司
申请日： 2007-02-25 - 公布日： 2008-02-06 - 主分类号： H02N1/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种微抓举式致动器结构，其包含一致动平板，致动平板通过支承梁与主结构层连接，支承梁与主结构层的连接处具有导角，致动平板尾端设有一个以上的蚀刻孔。本实用新型可加速致动平板微结构的释放，有效降低致动平板前端所累积的残留电荷，以延长其生命周期并降低驱动电压。而且本实用新型在多晶硅支撑梁与致动平板连接处加入特殊导角设计，可增加支撑梁的弯曲刚性，进一步有效提升微抓举式致动器元件制造合格率，并减少其致动期间因结构断裂而发生故障的几率。
抓举式致动器结构

[发明专利]静电致动折叠梁式纳米级步进微致动器-CN200610117320.0无效
发明人：于茂华;王小静;刘永武;高嵘;谢明春;张敏亮;王国亮 -专利权人：上海大学
申请日： 2006-10-19 - 公布日： 2007-05-30 - 主分类号： H02N1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种静电致动折叠梁式纳米级步进微致动器。包括基板、由支撑梁支撑而贴近基板表面绝缘层的致动平板、与致动平板连成一体的垫块、以及分别接通基板和致动平板的固定电极，所述的支撑梁是与致动平板连成一体而从致动平板两侧向外延伸弯折形成的两个折叠梁，所述的致动平板一侧或两侧的折叠梁与所述的连通致动平板的固定电极连成一体具有致动位移大、精度高、致动过程可控性好、能实现纳米级步进致动。通过施加驱动电压、驱动微致动器，实现其执行机构传递负载的作用。本发明在生物医学、航空航天技术、IT产业、制造业等方面具有较大的应用前景。
静电折叠纳米步进微致动器

[发明专利]轨道式闸微阀装置-CN201410842592.1有效
发明人：邓宁;李勇俊;张胜昌;段飞 -专利权人：浙江盾安人工环境股份有限公司
申请日： 2014-12-30 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： F16K3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种轨道式闸微阀装置，由上下两层硅片键合而成，第一层硅片底部设有凹槽，第二层硅片上有流体入口、流体出口和控制端口，所述流体入口、流体出口和控制端口均上下贯穿第二层硅片，在第一层硅片的底部凹槽内设有微阀轨道、移动构件和致动梁，所述移动构件设置于微阀轨道上方，所述致动梁一端连接底部凹槽的侧壁，另一端连接在移动构件上，所述致动梁上连接有双金属热致动器，所述移动构件上设有闸门，通过致动梁驱动移动构件沿微阀轨道运动来控制闸门启闭流体入口和流体出口本发明避免了大质量块闸门的必要性，为更为丰富的闸微阀结构设计提供了可能。
轨道式闸微阀装置

[发明专利]静电微触点通断器及其制造方法、使用该通断器的装置-CN200610064810.9有效
发明人：增田贵弘;积知范 -专利权人：欧姆龙株式会社
申请日： 2006-03-14 - 公布日： 2006-10-18 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：静电微触点通断器及其制造方法、使用该通断器的装置。本发明的静电微继电器(10)通过在设于基座(11)上的固定电极(12)和致动器(21)的可动电极(24)之间施加电压而产生的静电引力来驱动可动电极(24)，使设于致动器(21)上的可动触点26与设于基座致动器(21)具有：支撑部(22)，其竖立地设置于基座(11)上；以及梁部(23)，其从支撑部(22)向侧方延伸、弹性地支撑可动电极(24)以及可动触点(26)。梁部(23)从支撑部(22)侧开始以可动电极(24)和可动触点(26)的顺序进行弹性支撑。连接梁部(23)和可动电极(24)的连接部(28)从支撑部(22)侧开始形成有狭缝(27)。
静电触点通断器及其制造方法使用装置

[发明专利]具有改进的磁头斜度调整的磁盘驱动器-CN01811390.7无效
发明人： P·克兰;M·E·曼戈尔德;济恩－埃迪恩布塔戈 -专利权人：西加特技术有限责任公司
申请日： 2001-06-13 - 公布日： 2003-08-27 - 主分类号： G11B5/55 文献下载
摘要：一磁盘驱动器(100)包括一磁盘(126)、一具有一臂(114)的音圈电动机(118)和一梁(140)，该梁具有一连接到臂的第一端(142)和一包括一窗框架和一平衡环区域的第二端(160)。一读/写磁头(204)具有一在桥部下方的预加载区域(166)和一在磁盘上的滑动器表面(205)。一微致动器(206)具有一主体(224)，并且具有结合到读/写磁头的微致动器臂(226)和结合到桥部的安装臂(228)。微致动器具有与花线电路相连的电气触点(222)。电气触点设置在微致动器主体和平衡环区域之间。
具有改进磁头斜度调整磁盘驱动器

[发明专利]用于通过基部激励进行微悬臂致动的系统和方法-CN201680052943.6在审
发明人： C.门安;M.科梅里 -专利权人：勇愿公司
申请日： 2016-07-13 - 公布日： 2018-07-31 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：公开了用于微悬臂的中等高度振动的基部激励的系统和方法。微悬臂可以被耦合到邻近其基部的一个或多个致动器。致动器可以包括块状材料、桥或成形的电线，由于例如电热加热效应或压电效应，他们通过施加电流而膨胀和收缩。单个致动器或致动器阵列可以被放置在微悬臂周围以使其振荡并施加致动脉冲。利用对应于固有频率的信号的致动器的激励可以在系统中诱发共振并且可能导致微悬臂的悬臂尖端的高幅度振动和位移。致动器的各种架构可以被实现以刺激梁的不同频率并且诱发不同方向和幅度的位移。
微悬臂致动器基部固有频率致动诱发单个致动器产生系统几何参数加热效应块状材料施加电流压电效应电热高幅度耦合到脉冲共振振荡标称成形悬臂收缩电线架构邻近膨胀施加刺激

[发明专利]一种用于微纳尺度材料的硅基石英MEMS谐振式扭矩传感器-CN201910445282.9有效
发明人：韦学勇;丁延玉;王曙东;任娟;任子明;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-05-27 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： G01L1/10 文献下载
摘要：一种用于微纳尺度材料的硅基石英MEMS谐振式扭矩传感器，包括单晶硅基底层，单晶硅基底层上生长二氧化硅绝缘层，二氧化硅绝缘层设有单晶硅结构层，单晶硅结构层包括线型微纳材料夹持机构的键槽，键槽两侧和输出梁、V型致动梁顶端连接，V型致动梁固定在锚点上，输出梁通过限位梁固定在锚点上，输出梁的两端分别与二阶放大梁的输入端连接，二阶放大梁通过支点梁固定在锚点上，二阶放大梁的输出端与悬空平台连接，悬空平台连接石英双端固定音叉一端，石英双端固定音叉另一端固定在锚点上，锚点以外结构均处于悬空状态；对V型致动梁施加控制电压，由于热应力发生位移，从而夹紧线型微纳材料一端的花键；本发明具有精度高，成本低等优点。
一种用于尺度材料基石 mems 谐振扭矩传感器

[发明专利]一种微阀-CN201310535961.8在审
发明人：段飞;邓宁;王鑫楠 -专利权人：浙江盾安人工环境股份有限公司
申请日： 2013-11-01 - 公布日： 2015-05-13 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微阀，属于微电子机械领域，解决了微阀使用热执行器致动的稳定性问题，采用的主要技术方案包括壳体、阀体及外围磁体，阀体由第一层、第二层和第三层组成，第一层和/或第三层设有阀口共两个，第二层包括固定部和可动部，固定部与第一层和第三层固定连接，可动部通过第一支承梁和第二支承梁与固定部连接，第一支承梁在横向上的刚度大于在纵向上的刚度，第二支承梁在横向上的刚度小于在纵向上的刚度，可动部设有连接腔，第二层包括使可动部相对固定部转动的致动组件，本发明主要用于微流体的流量控制。
一种

[发明专利]微流体致动器装置-CN201911240250.1在审
发明人：莫皓然;张正明;廖文雄;黄胜谊;陈酩仁;韩永隆;黄启峰;蔡长谚;李伟铭 -专利权人：研能科技股份有限公司
申请日： 2019-12-06 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：一种微流体致动器装置，包含承载板、微流体致动器、微流体致动器、电极接垫及静电防护电路。微流体致动器设置于承载板上，用以输送流体。微控制器用以控制微流体致动器的开启或关闭。电极接垫设置于承载板上，并与微流体致动器相应电性连接。静电防护电路与电极接垫电性连接。
流体致动器装置

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