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[发明专利]微致动器-CN00128887.3无效
发明人：金石中;李容勋 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2000-09-28 - 公布日： 2001-07-11 - 主分类号： G11B21/16 文献下载
摘要：一种微致动器,其中的滑块由沿着寻道方向枢转的致动臂支撑,并具有一面向记录介质的容纳部。在容纳部中的第一、二磁芯沿磁力方向面对并间隔预定距离,并在磁力方向上二者的中心线错开。
微致动器

[发明专利]基于电热驱动的V+U型复合梁微致动器及其制备方法-CN201310237155.2有效
发明人：沈雪瑾;王振禄;陈晓阳;胡懿 -专利权人：上海大学
申请日： 2013-06-17 - 公布日： 2013-10-09 - 主分类号： H02N10/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于电热驱动的V+U型复合梁微致动器，用于产生基于直线运动和弧状运动的复合致动方式。所述装置由V型电热微致动器、U型冷热臂电热微致动器、V型电热微致动器电极、U型冷热臂电热微致动器电极组成，整个装置为多晶硅材料，用MEMS工艺制作。该装置将V型微致动器的直线运动和U型冷热臂微致动器的弧状运动结合起来，产生了基于直线运动和弧状运动的复合致动方式，结构简单，效率高，可用于驱动微夹钳、微齿轮等MEMS器件。
基于电热驱动复合梁微致动器及其制备方法

[发明专利]微流体致动器装置-CN201911240250.1在审
发明人：莫皓然;张正明;廖文雄;黄胜谊;陈酩仁;韩永隆;黄启峰;蔡长谚;李伟铭 -专利权人：研能科技股份有限公司
申请日： 2019-12-06 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：一种微流体致动器装置，包含承载板、微流体致动器、微流体致动器、电极接垫及静电防护电路。微流体致动器设置于承载板上，用以输送流体。微控制器用以控制微流体致动器的开启或关闭。电极接垫设置于承载板上，并与微流体致动器相应电性连接。静电防护电路与电极接垫电性连接。
流体致动器装置

[发明专利]微致动器组件、微致动器及镜头模组-CN200810301432.0有效
发明人：周代栩 -专利权人：鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2008-05-06 - 公布日： 2009-11-11 - 主分类号： G02B7/09 文献下载
摘要：一种微致动器组件，其包括框架、至少二个弹性体和可动部，所述至少二个弹性体一端分别与可动部相对两侧相连，另一端分别与所述框架相连，从而将所述可动部悬挂于所述框架，所述弹性体为碳纳米管束。一种微致动器，其包括底座、微致动器组件和驱动元件，所述微致动器组件固定于底座，所述驱动元件包括线圈和磁铁，所述磁铁固定于微致动器组件，所述线圈相对于底座固定且与磁铁相对设置，所述微致动器组件上述的微致动器组件本发明还涉及一种应用所述微致动器的镜头模组。
微致动器组件镜头模组

[发明专利]用于硬盘驱动器臂的PZT微致动器连接的方法和机构-CN03826441.2无效
发明人：姚明高;白石一雅;解贻如 -专利权人：新科实业有限公司
申请日： 2003-05-12 - 公布日： 2006-05-10 - 主分类号： G11B5/48 文献下载
摘要：一种具有定型模子的固定装置可将第一微致动器部分和第二微致动器部分保持在适当的位置，以便在保持第一微致动器部分的结构的同时进行耦接。所述第一微致动器部分和第二微致动器部分可以是框架或压电材料条。一嵌入在固定装置中的吸嘴系统可将第一微致动器部分保持在适当的位置。一移动吸嘴系统可将第二微致动器部分保持在适当的位置并相对于所述第一微致动器部分定位所述第二微致动器部分。一相机系统可监视所述处理。一分配器可将环氧树脂施加在所述第一和第二微致动器部分之间。一紫外线源可提供用于固化的紫外线辐射。
用于硬盘驱动器 pzt 微致动器连接方法机构

[发明专利]微流体装置中定向流动的致动微流体结构及使用它的方法-CN201911111578.3有效
发明人：凯斯·布林格;安德鲁·麦克法兰;J·坦纳·内维尔 -专利权人：伯克利之光生命科技公司
申请日： 2015-12-07 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：微流体装置可以包括多个互连的微流体元件。多个致动器可以被定位成邻接、紧邻和/或附接到微流体元件的可变形表面。致动器可以被选择性地致动和去致动，以在微流体(或纳流体)装置中产生流体介质的定向流动。此外，致动器可以被选择性地致动和去致动，以在微流体装置中产生流体介质的局部流动，以移动微流体装置中的试剂和/或微物体。
流体装置定向流动致动微结构使用方法

[发明专利]微流体装置中定向流动的致动微流体结构及使用它的方法-CN201580075704.8有效
发明人：凯斯·布林格;安德鲁·麦克法兰;J·坦纳·内维尔 -专利权人：伯克利之光生命科技公司
申请日： 2015-12-07 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：微流体装置可以包括多个互连的微流体元件。多个致动器可以被定位成邻接、紧邻和/或附接到微流体元件的可变形表面。致动器可以被选择性地致动和去致动，以在微流体(或纳流体)装置中产生流体介质的定向流动。此外，致动器可以被选择性地致动和去致动，以在微流体装置中产生流体介质的局部流动，以移动微流体装置中的试剂和/或微物体。
流体装置定向流动致动微结构使用方法

[发明专利]具有附加微致动器对的两级头部悬置组件-CN201910176028.3有效
发明人： T·廉;R·赞布里;R·希瓦拉马;B·J·韦梅尔 -专利权人：希捷科技有限公司
申请日： 2019-03-08 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： G11B5/48 文献下载
摘要：本申请公开了具有附加微致动器对的两级头部悬置组件。公开了一种用于支撑盘驱动器的读/写头的位于可旋转驱动致动器臂上的头部悬置组件。头部悬置组件包括靠近并且可操作地连接到第一微致动器对的底板端，第一微致动器对通信地耦合到控制器。头部悬置组件还包括将第一微致动器对可移动地连接到第二微致动器对的负载梁。头部悬置组件还包括靠近并且可操作地连接到第二微致动器对的头部换能器端，第二微致动器对通信地耦合到控制器。读/写头位于头部换能器端附近，读/写头柔性地连接到负载梁，并且控制器配置为可选择地将控制信号传送到第一和第二微致动器对以改善对读/写头的跟踪控制。
具有附加微致动器两级头部悬置组件

[发明专利]微致动器以及具有微致动器的装置-CN200580001648.X有效
发明人：虫鹿由浩 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2005-03-02 - 公布日： 2007-02-07 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明的微致动器包括：基台(1)；可以相对于基台(1)变位的可动部(7)；支承可动部(7)的弹性支承部(6)；以及使可动部(7)变位的驱动部(4a～4c)。通过在与可动部(7)的垂直方向上的变位对应的弹簧常数、和与可动部(7)的倾动角度对应的弹簧常数之间保持特定的关系，从而增大驱动力与可动部(7)的变位之间的对角性，以此来实现微致动器的控制的高精度化以及简洁化
微致动器以及具有装置

[发明专利]将挠曲件粘结到微致动器的悬浮组件-CN201110183031.1有效
发明人： W·C·舒姆;Y·刘;J·E·斯库拉 -专利权人：西部数据技术公司
申请日： 2011-06-27 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： G11B5/48 文献下载
摘要：本发明公开一种用于磁盘驱动器的悬浮组件，其包括：具有顶面和底面的安装板；形成在安装板内的微致动器安装结构；安装在微致动器安装结构中的微致动器，其中微致动器具有顶面和底面；以及附连到安装板的底面和微致动器的挠曲件焊盘层上的环氧树脂大范围地粘结到微致动器并且延伸穿过贯穿孔。
挠曲粘结到微致动器悬浮组件

[发明专利]单对致动器驱动的摩擦式双向直线运动微马达及制备方法-CN201510021723.4在审
发明人：沈雪瑾;王振禄;陈晓阳 -专利权人：上海大学
申请日： 2015-01-16 - 公布日： 2015-05-13 - 主分类号： H02N2/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种单对致动器驱动的摩擦式双向直线运动微马达及制备方法。微马达包括致动单元和滑杆两部分。致动单元包括致动器、驱动杆和驱动头，致动器可以是电热致动器，也可以是静电致动器、电磁致动器和压电制动器等任意能产生往复运动的致动器。滑杆为微马达的输出构件，通过防黏附凸块支撑在衬底上，垂直衬底方向用约束罩约束。微马达由单对致动器驱动实现前进和后退的双向运动，用MEMS表面硅工艺制作、无需装配、结构简单，可应用在通讯、航空航天、生物医学等领域。
致动器驱动摩擦双向直线运动马达制备方法

[发明专利]温度补偿微型电动机械结构以及补偿环境温度变化的作用的方法-CN00800228.2无效
发明人：爱德华·希尔;罗伯特·L·伍德;拉马斯瓦米·马哈德万 -专利权人：克罗诺斯集成微系统公司
申请日： 2000-02-21 - 公布日： 2001-07-18 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：这种结构包括一个主动微致动器(105),适合于热致动以响应其温度的主动改变而运动。主动微致动器可进一步适合于响应环境温度的变化而运动。这种结构还包括一个温度补偿元件(205),诸如一个温度补偿微致动器或一个框架,适合于响应环境温度的变化而运动。主动微致动器与温度补偿元件响应环境温度的变化而协同运动。因此,在主动微致动器温度没有主动改变的情况下,在宽范围的环境温度下主动微致动器与相关的温度补偿微致动器之间保持预定的空间关系。在一个供选的实施方案中,主动微致动器悬置在微电子衬底上的一个框架上,在主动微致动器温度没有主动改变的情况下,在宽范围的环境温度下该MEMS结构保持主动微致动器的至少一部分相对于衬底处于一个固定位置。
温度补偿微型电动机械结构以及环境温度变化作用方法

[发明专利]一种金属有机框架增强的微纳纤维膜基致动器及其制备和应用-CN202310471341.6在审
发明人：熊佳庆;周佳慧 -专利权人：东华大学
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B25J19/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种金属有机框架增强的微纳纤维膜基致动器及其制备和应用。该致动器包括活性层，所述活性层为金属有机框架基微纳纤维膜。该致动器的制备方法包括：将金属有机框架、聚合物和溶剂混合，搅拌，得到纺丝液，纺丝得到金属有机框架基微纳纤维膜，将金属有机框架基微纳纤维膜直接作为致动器，或者将金属有机框架基微纳纤维膜与惰性层叠加组合得到致动器该致动器通过引入金属有机框架到纤维内部或表面，构建含微纳多孔结构及分子级扩散通道的多级结构柔性微纳纤维薄膜，有效提升客体分子的吸纳/扩散/释放速率，从而增强致动器的响应性能。
一种金属有机框架增强纤维膜基致动器及其制备应用

[实用新型]一种带微致动器的风力机叶片-CN201821533532.1有效
发明人：朱国俊;薄晓宇;刘佳敏;冯建军 -专利权人：西安理工大学
申请日： 2018-09-19 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： F03D1/06 文献下载
摘要：本实用新型公开的一种带微致动器的风力机叶片，叶片呈翼型，叶片表面沿翼型边缘从前向后间隔设置有三个微致动器，每个微致动器均包括外壳，外壳的表面上均设置有三个气泡膜，外壳与叶片之间还设置有隔离层。本实用新型的一种带微致动器的风力机叶片，通过在叶片上设置微致动器，叶片表面的微致动器受到周围空气压力的作用，附着在它上面的气泡不断收缩和膨胀，使微致动器和翼型表面流场的相互耦合，实现对的涡流分离状态的操纵
微致动器风力机叶片叶片本实用新型叶片表面翼型涡流分离状态风速变化间隔设置翼型表面周围空气耦合隔离层气泡膜附着流场前向收缩膨胀

[发明专利]用于机械地变形细胞的装置和方法-CN200980111922.7无效
发明人： J·M·J·登图恩德;M·F·吉利斯 -专利权人：皇家飞利浦电子股份有限公司
申请日： 2009-03-31 - 公布日： 2011-03-02 - 主分类号： G01N33/487 文献下载
摘要：本发明涉及用于使细胞机械地变形的装置，其包括：用于在细胞保持区域中保持细胞(32)的细胞保持元件(33)，用于在所述被保持的细胞(32)上施加力的微致动器(31)，其中所述微致动器(31)可以以电、热、光或磁方式被致动并且其中所述微致动器(31)以未致动的状态或以致动的状态在所述细胞(32)上施加所述力，和用于以电、热、光或磁方式致动所述微致动器(31)的激励单元(35)。
用于机械变形细胞装置方法

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