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[发明专利]一种暖机片分配方法及装置-CN202310224404.8在审
发明人：张超;戎迪 -专利权人：上海赛美特软件科技有限公司
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请提供了一种暖机片分配方法及装置，其中，该方法包括：确定目标机台对应的待加工产品列表，所述待加工产品列表包括每个待加工产品对应的加工步骤；针对每个待加工产品，确定该待加工产品对应的加工步骤中是否存在至少一个未执行暖机操作；若该待加工产品对应的加工步骤中存在至少一个未执行暖机操作，则确定所述至少一个未执行暖机操作中每个未执行暖机操作对应的机台腔室、目标暖机片及目标暖机片数量；在每个未执行暖机操作的机台腔室对应的目标暖机片盒中取出所述目标暖机片数量的所述目标暖机片；将所述目标暖机片数量的所述目标暖机片分配至该个未执行暖机操作对应的机台腔室。
一种暖机片分配方法装置

[发明专利]栅极侧墙ICP刻蚀用暖机片及其制备方法、暖机方法-CN202311140497.2在审
发明人：李家明;舒思桅 -专利权人：粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2023-09-06 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种栅极侧墙ICP刻蚀用暖机片及其制备方法、暖机方法，采用该暖机片结构，在进行暖机刻蚀过程中，不仅可以保证使ICP刻蚀腔室达到栅极侧墙刻蚀时所需的工作状态；同时由于暖机片上的叠层结构与栅极侧墙的层叠方式以及材料均相同，则在对暖机片进行刻蚀过程中，可有效模拟产品片栅极侧墙的刻蚀环境，能提供刻蚀终点，通过相应的刻蚀终点监控相应刻蚀层的刻蚀速率，从而及时发现刻蚀速率的异常，将刻蚀速率的异常阻挡在暖机过程中，从而有效保证首片产品片的刻蚀效果；尤其对于从未使用的全新的刻蚀腔室、进行周期性维护后的刻蚀腔室和空闲时间过长的刻蚀腔室，刻蚀速率异常更易发生，采用本发明的暖机片更能有效的监控刻蚀速率的异常。
栅极 icp 刻蚀用暖机片及其制备方法

[发明专利]一种暖机控制方法-CN201310081809.7有效
发明人：陈智文 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2013-03-14 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种暖机控制方法，包括以下步骤：在一晶圆加工设备对晶圆进行工艺操作前，先根据工艺操作的需求设定晶圆加工设备的至少一个暖机类型，同时分别设定与每个暖机类型相对应的暖机条件和暖机控片种类；实时获取晶圆加工设备的检测数据信息；将检测数据与每个暖机条件进行比对，以判断晶圆加工设备需要进暖机操作的暖机类型，并根据与该暖机类型对应的暖机控片种类派工相应的暖机控片至该晶圆加工设备，对晶圆加工设备进行暖机操作后，继续使用该晶圆加工设备对晶圆进行工艺操作；若检测数据均不满足每个暖机条件，则晶圆加工设备直接对晶圆进行工艺操作。通过本发明方法，使得在整个暖机的过程中，无需人为干预，有效提高了设备利用率。
一种控制方法

[发明专利]一种提高制造机台腔体产出效率的方法及系统-CN201510186200.5有效
发明人：莫违;方利;李武 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2015-04-17 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种提高制造机台腔体产出效率的方法及系统，包括：获取并暂存腔体上一批次产品的工艺条件参数值以及工艺结束时间；计算上一批次最后一片产品工艺结束到下一批次第一片产品进腔体开始工艺的闲置时间间隔值，判断所述时间间隔值是否大于预设值，若所述时间间隔值大于预设值，则进行暖机操作，否则继续进行产品工艺；进行暖机操作，监测暖机过程中腔体的工艺条件参数值，若暖机过程中监测到腔体的工艺条件参数值达到暂存的工艺条件参数值，则停止暖机；记录不同的时间间隔值对应所需要的暖机控片数量，为下次暖机操作提供参考。通过该系统可以快速判断腔体是否可以继续生产，极大的提高机台的利用率和产出效率，并能够减少生产中暖机控片的使用量，节约成本。
一种提高制造机台产出效率方法系统

[实用新型]一种暖通空调用散热装置-CN202220227545.6有效
发明人：付腾元;许斌 -专利权人：付腾元
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： F24F1/06 文献下载
摘要：本实用新型属于空调散热领域，尤其是一种暖通空调用散热装置，针对现有的暖通空调外机工作时多数仅采用散热片的方式进行散热，散热效果不佳，暖通空调外机长时间工作在高温环境中容易损坏的问题，现提出如下方案，其包括左侧设置有开口的暖通空调外机，所述暖通空调外机的左侧固定安装有散热板，所述散热板完全覆盖暖通空调外机的开口，且散热板的左侧固定安装有散热鳍片，所述散热鳍片的数量设置有多个，所述散热板的左侧固定安装有散热通道，本实用新型较之常规的暖通空调用散热装置，提升了散热效果，能防止暖通空调外机工作在高温环境下，延长了暖通空调外机使用寿命的同时还能够节约能耗。
一种暖通调用散热装置

[发明专利]键合晶圆的制作方法及晶圆键合机台-CN202110965781.8在审
发明人：赵志远;袁绅豪;刘武;刘淼;王顺 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-08-20 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：所述键合晶圆的制作方法，包括如下步骤：提供预处理的暖机片，其中，所述暖机片具有多孔结构，所述预处理的暖机片的多孔结构内装载有水溶液；传送所述预处理的暖机片至等离子体反应室，并在预设的压力下静置预设的时间；向所述等离子体反应室提供至少两片待键合晶圆；活化处理至少两片待键合晶圆的表面；清洗活化处理后的至少两片待键合晶圆；接合清洗后的至少两片待键合晶圆，以制得键合晶圆。本发明提供的键合晶圆的制作方法，基于在活化处理至少两片待键合晶圆的表面之前向等离子体反应室提供预处理的暖机片，从而提供了充足的反应水汽，进而提高了晶圆键合强度。
键合晶圆制作方法晶圆键合机台

[实用新型]暖被机-CN93246743.1无效
发明人：王隆明;周世源;赵勇;钱巍;陆亚平 -专利权人：上海安立霸电器有限公司
申请日： 1993-12-06 - 公布日： 1994-08-03 - 主分类号： A47C21/04 文献下载
摘要：一种暖被机，它包含送风系统、温度控制器、定时器和干燥垫。其特征在于用PTC陶瓷发热器取代了电热丝；该发热器由PTC陶瓷发热体、散热片及散热片四周的散热通道组成；另外该暖被机还包含一衣服干燥袋。该暖被机具有节电、安全、无明火并能烘暖衣物等优点。
暖被机

[实用新型]一种自动套片机-CN202120533420.1有效
发明人：张利斌 -专利权人：宁波宇晓包装有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： B23P19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动套片机，包括工作台，所述工作台顶部连接有支撑架，所述工作台顶部连接有两个对称分布的用于对需要套装暖片的暖气管进行装夹的夹紧装置，所述支撑架上连接有用于对暖气管进行暖片套装的套片装置，本实用新型通过在工作台上安装夹紧装置来对需要套暖片的暖气管进行装夹，保持在套片过程中的稳固，在工作台上的支撑架上安装套片装置来对装夹好的暖气管进行暖片的套装工作，在套片装置上连接暖片夹来对暖片进行夹紧，方便套装，通过这几种装置之间的配合，解决了现有人工套片方式工作效率慢、套片完产品不合格和易造成暖片弯折等问题。
一种自动套片机

[发明专利]一种暖机方法-CN202010147538.0有效
发明人：徐龙江;张君 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-03-05 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种暖机方法，包括：向刻蚀腔室内通入第一刻蚀气体，对置于所述刻蚀腔室内的暖机片进行刻蚀；其中，所述第一刻蚀气体能够与所述光胶暖机片发生反应形成含碳副产物，并覆盖所述刻蚀腔室内石英窗的表面；向所述刻蚀腔室内通入第二刻蚀气体，对所述暖机片进行刻蚀，形成刻蚀副产物并覆盖于所述刻蚀腔室内壁。本发明的有益效果在于，第一刻蚀气体与含有碳元素的暖机片反应，生成碳或含碳的固体化合物，碳或含碳的固体化合物沉积在刻蚀腔体的石英盖上，对石英盖板起到隔离保护作用，防止第二刻蚀气体与石英盖反生反应，延长石英盖的使用寿命
一种方法

[实用新型]一种新型耐腐的碳塑合金暖气片-CN202120460374.7有效
发明人：周忠岭;周忠科 -专利权人：大庆市明诚科技有限公司
申请日： 2021-03-03 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： F24D19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型耐腐的碳塑合金暖气片，包括底座，所述底座靠近顶部一侧中心处固定连接有L型杆，所述底座靠近顶部一侧设置有第一暖片，所述第一暖片一侧设置有第二暖片。本实用新型中，通过设置底座、L型杆、第一暖片、第二暖片、第三暖片和方形框，便于通过方形框和L型杆的滑动连接实现第一暖片、第二暖片和第三暖片的快速安装和拆卸，同时矩形设置的L型杆可以防止第一暖片、第二暖片和第三暖片在
一种新型合金暖气片

[实用新型]取暖器-CN201520313867.2有效
发明人：汤卫平 -专利权人：常州中苏纳米新材料科技有限公司
申请日： 2015-05-15 - 公布日： 2015-09-09 - 主分类号： F24D15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及取暖设备技术领域，尤其是一种取暖器，包括底座和暖片，所述底座上设有中心轴杆，所述中心轴杆上设有暖片座，所述暖片座上设有暖片，所述暖片外设有暖片罩。该取暖器暖片座为圆柱形，周围均设有暖片，可对取暖器周围进行360°加热；中心轴杆上的风机可将暖片上的热气吹出，加速热气流动；底座上的开关可调节暖片功率。
取暖器

[实用新型]电器设备生产线的线上暖机测试装置-CN02231664.7无效
发明人：杜严俊 -专利权人：神基科技股份有限公司
申请日： 2002-04-24 - 公布日： 2003-05-07 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：一种电器设备生产线的线上暖机测试装置，包括在一生产线框架中形成的一线上暖机测试槽道，它延伸地形成在该生产线框架中的输送装置入口至出口间，而在该输送装置的入口与出口处配置有数个条状悬垂的帘片。该线上暖机测试槽道被区分为数个槽道区段，每一个槽道区段中各自配置有热源产生装置、温控装置、及温度传感器，以执行分区分段的精确热源控制。该线上暖机测试槽道的各个侧面是以数片薄铝板予以封闭形成一封闭的槽道，其中一个侧面可配置可开启式透明窗。
电器设备生产线线上测试装置

[实用新型]一种方舱式地暖结构-CN202022729698.4有效
发明人：方闯;汪建;詹庆峰;王瑞;张刚;陈兵 -专利权人：南京宇洁环境系统技术有限公司
申请日： 2020-11-23 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： F24D3/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种方舱式地暖结构，包括两个边框架、地暖片、接头安装板以及设置在地暖片两端用于固定地暖片的地暖片上端盖和地暖片下端盖，两个边框架相互平行设置，且通过设置的框架连接板固定连接，地暖片内部设有地暖腔，地暖片上端设有散热片，接头安装板上固定连接有水管接头，水管接头通过连接管连通地暖腔。
一种方舱式结构

[实用新型]PTC风暖机-CN200920295286.5无效
发明人：姚松良;王永麟 -专利权人：浙江来斯奥电气有限公司
申请日： 2009-12-29 - 公布日： 2010-11-17 - 主分类号： F24H3/04 文献下载
摘要：一种PTC风暖机，它包括箱体和后箱盖，箱体上有PTC发热元件、电机和转轮，其特征在于PTC发热元件是由至少一根PTC件和散热片构成的，PTC件呈长条状，散热片与PTC件垂直连接。本实用新型的PTC风暖机，由于PTC发热元件的PTC件呈长条状，散热片与PTC件垂直连接，适合使用转轮进行散热，以利于降低噪音。
ptc 风暖机

[发明专利]一种羊毛暖芯絮片-CN201810026507.2在审
发明人：侯志宏;刘鹏程;陈苗 -专利权人：榆林市衣人美服饰有限公司
申请日： 2018-01-11 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： D04H1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种羊毛暖芯絮片，所述的羊毛暖芯絮片由羊毛和铜改性聚酯纤维混合而成。本发明的羊毛暖芯絮片融合了铜改性聚酯纤维的抗菌、防螨、消臭、自洁等功能，对提高机体免疫能力，对人体保护、保健和护理的功能性，降低自然环境污染而引起对身体皮肤引起的病菌伤害，消除了因人类身体外表自身病菌侵害而引起的身体危害，让人类在抵抗自然病菌的过程中，多了一道天然屏障；手洗后外观不变，机洗后缩率大大降低，有效的突破了羊毛防寒服不能机洗的难关；本发明的羊毛暖芯絮片制备的防寒服更加轻便保暖，且符合人类对新型保健、健康的穿着新理念的渴望和需求
一种羊毛暖芯絮片

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