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[发明专利]一种晶圆加工过程中的预约方法和预约装置-CN202310458612.4在审
发明人：盛旺;董斌 -专利权人： 上海赛美特软件科技有限公司
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G06Q10/04 文献下载
摘要：本申请提供了一种晶圆加工过程中的预约方法和预约装置，所述预约方法包括：针对目标加工机台，确定使用该目标加工机台进行加工的每个加工过程所对应的目标晶圆盒组；获得目标加工机台在该加工过程下的可预约装载口；对该加工过程所对应的目标晶圆盒组中的每个目标晶圆盒和所述目标加工机台上的可预约装载口进行匹配；基于匹配的结果生成每个目标晶圆盒的预约信息；将所述目标晶圆盒组预约到所述目标加工机台上，并在目标晶圆盒组被预约到所述目标加工机台上期间，按照所述预约信息将每个目标晶圆盒预约到匹配的可预约装载口上。通过所述预约方法和预约装置，能够在某些复杂的晶圆加工场景下提高晶圆加工效率并且避免晶圆的加工效果受到影响。
一种加工过程中的预约方法装置

[发明专利]一种晶圆炉管加工的匹配方法、装置及电子设备-CN202310395176.0在审
发明人：张超;戎迪;郭鑫;潘路 -专利权人： 上海赛美特软件科技有限公司
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请提供了一种晶圆炉管加工的匹配方法、装置及电子设备，晶圆炉管加工的匹配方法包括：针对于任一批次的待加工晶圆，确定所述批次下的所述待加工晶圆进入酸洗工艺的起始站点和进入炉管加工工艺的终止站点；在所述批次下的所述待加工晶圆进入酸洗工艺的起始站点之前，判断所述批次下的所述待加工晶圆是否按照预设晶圆筛选条件进行批次集合匹配；若是，则控制所述批次下的所述待加工晶圆进入酸洗工艺的起始站点，并在完成所述酸洗工艺后，按照所述批次集合顺序进入所述炉管加工工艺。本申请实现了对待加工晶圆的批次集合自动匹配，使得待加工晶圆自动化完成了由酸洗工艺到炉管高温加工工艺的操作，进而提升了待加工晶圆的良率。
一种炉管加工匹配方法装置电子设备

[发明专利]一种半导体设备数据采集方法、装置、电子设备及介质-CN202310268251.7在审
发明人：郑剑 -专利权人： 上海赛美特软件科技有限公司
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： G06F11/30 文献下载
摘要：本申请提供了一种半导体设备数据采集方法、装置、电子设备及介质，该方法包括：从目标半导体设备的目标配置文件中获取待采集数据的采集路径以及原始格式；通过目标半导体设备的操作系统中与待采集数据对应的目标接口从采集路径指示的位置处采集数据；响应于远端设备发送的数据接收指令，将采集到的原始格式的数据整合成指定协议对应的目标格式的数据，将整合后的数据通过指定协议发送至远端设备。通过采用上述半导体设备数据采集方法、装置、电子设备及介质，解决了老旧半导体工艺设备无法接入到EAP系统和MES系统，以及添加其他硬件设备时接入成本高的问题。
一种半导体设备数据采集方法装置电子设备介质

[发明专利]一种晶圆的加工方法、装置、电子设备及存储介质-CN202310348382.6在审
发明人：戎迪;张超;郭鑫 -专利权人： 上海赛美特软件科技有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请提供了一种晶圆的加工方法、装置、电子设备及存储介质，晶圆的加工方法包括：获取目标区域对应的各个批次的晶圆待加工项目，每个批次的晶圆待加工项目包括晶圆加工流程和晶圆加工机台集合；针对于加工机台集合中的任一目标加工机台，从目标区域内的各个批次的晶圆加工流程中，确定与目标加工机台相对应的至少一个候选晶圆待加工项目，以及从预设晶圆批次装配盒中确定出候选晶圆待加工项目对应批次的候选晶圆；基于预设优先权卡控规则，确定目标加工机台对各个候选晶圆待加工项目的目标加工顺序。本申请在提高了晶圆加工准确性的同时，更能够根据实际生产作业的需求，对不同批次的晶圆芯片进行高效的加工生产。
一种加工方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种产品编码方法、装置、电子设备及存储介质-CN202211718102.8在审
发明人：李钢江;滕超 -专利权人： 上海赛美特软件科技有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G06F40/126 文献下载
摘要：本申请提供了一种产品编码方法、装置、电子设备及存储介质，方法包括：对于全部产品中的每一所述产品，获取该产品的产品编号；按照预设的n进制的编码规则，对所述产品的总数量进行编码转换，得到以n进制表示的数量编号，以及，按照所述编码规则，该产品的产品编号进行编码转换，得到以n进制表示的该产品的目标编号；对所述数量编号的位数以及该产品的目标编号进行拼接，得到该产品的拼接编号；将该产品的拼接编号存储至所述关系型数据库中。本申请能够提升数据库的处理效率。
一种产品编码方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种暖机片分配方法及装置-CN202310224404.8在审
发明人：张超;戎迪 -专利权人： 上海赛美特软件科技有限公司
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请提供了一种暖机片分配方法及装置，其中，该方法包括：确定目标机台对应的待加工产品列表，所述待加工产品列表包括每个待加工产品对应的加工步骤；针对每个待加工产品，确定该待加工产品对应的加工步骤中是否存在至少一个未执行暖机操作；若该待加工产品对应的加工步骤中存在至少一个未执行暖机操作，则确定所述至少一个未执行暖机操作中每个未执行暖机操作对应的机台腔室、目标暖机片及目标暖机片数量；在每个未执行暖机操作的机台腔室对应的目标暖机片盒中取出所述目标暖机片数量的所述目标暖机片；将所述目标暖机片数量的所述目标暖机片分配至该个未执行暖机操作对应的机台腔室。
一种暖机片分配方法装置

[发明专利]设备生产条件的生成方法、装置、电子设备及存储介质-CN202111638023.1有效
发明人：盛旺 -专利权人： 上海赛美特软件科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： G06Q10/0631 文献下载
摘要：本申请提供了一种设备生产条件的生成方法、装置、电子设备及存储介质，所述生成方法包括：响应于在参数设置界面上的触发操作，根据目标对象与参数标识之间的对应关系，获取目标对象下待设置的至少一个参数标识；响应于各个参数标识对应的输入框中的输入操作，确定参数标识的参数关系以及参数值；根据参数关系以及参数值生成目标对象的生产约束条件，按照生产约束条件进行生产。采用本申请提供的技术方案能够通过参数设置界面输入或选择参数关系以及参数值设置目标对象下待设置的参数标识，根据在参数设置界面的输入直接自动生成生产约束条件从而进行生产，大幅度减少了设备生产约束条件设置的工作量，提高了设备生产约束条件生成的效率。
设备生产条件生成方法装置电子设备存储介质

[发明专利]晶圆承载具的更换控制方法、装置、电子设备及存储介质-CN202310225781.3在审
发明人：张超;戎迪 -专利权人： 上海赛美特软件科技有限公司
申请日： 2023-03-09 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请提供了晶圆承载具的更换控制方法、装置、电子设备及存储介质，所述更换控制方法包括：获取多个批次的待运输晶圆；其中，多个所述批次的待运输晶圆对应多个第一晶圆承载具；当多个所述第一晶圆承载具处于晶圆分拣机台的进机台位置处，所述第一晶圆承载具携带的多个批次的待运输晶圆从所述进机台进入时，检测是否对所述批次的待运输晶圆进行拆分；若是，则根据拆分后的每个批次的待运输晶圆确定出多个第二晶圆承载具，将多个所述第二晶圆承载具放置在晶圆分拣机台的出机台位置处，拆分后的每个批次的待运输晶圆从所述出机台输出进入相对应的第二晶圆承载具内，提高晶圆承载具的更换的效率。
承载更换控制方法装置电子设备存储介质

[发明专利]炉管机台的分配控制方法、装置、电子设备及存储介质-CN202310226989.7在审
发明人：戎迪;张超 -专利权人： 上海赛美特软件科技有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请提供了炉管机台的分配控制方法、装置、电子设备及存储介质，包括：获取多个批次的待分配晶圆；基于多个批次的待分配晶圆的订单信息进行分组，确定出多个组别的待分配晶圆；当多个组别的待分配晶圆进入炉管机台的多个进站机台时，基于各个组别的待分配晶圆的优先级确定出第一组别的待分配晶圆，对第一组别的待分配晶圆进行分配；其中，第一组别的待分配晶圆的优先级为最高优先级；在完成第一组别的待分配晶圆的分配后，基于多个组别的待分配晶圆的优先级中的第二优先级，确定出第二组别的待分配晶圆进行分配，直至完成每个组别的待分配晶圆的分配。避免了多个组别的待分配晶圆同时进行排货分配所导致的诸多问题，提高了炉管机台的分配控制的效率。
炉管机台分配控制方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种假片更换方法、装置、电子设备及存储介质-CN202310166796.7在审
发明人：郭鑫;戎迪;张超;潘路;项博彦 -专利权人： 上海赛美特软件科技有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请提供了一种假片更换方法、装置、电子设备及存储介质，涉及芯片制造技术领域，应用于生产制造执行系统MES，其中，基于设置的假片更换通知接口，接收机台自动化程序EAP上报的目标机台需要更换旧假片的通知；响应接收到的所述机台自动化程序EAP上报的目标机台需要更换旧假片的通知，建立假片更换信息；基于建立的所述假片更换信息向所述目标机台下发相匹配的更换假片的搬送任务；从而实现芯片制造过程中对炉管机台和蚀刻机台Dummy Wafer假片更换的全自动化，提升芯片制造的效率和质量。
一种更换方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种产品约束检查结果确定方法、装置、设备及存储介质-CN202310168066.0在审
发明人：李钢江;滕超 -专利权人： 上海赛美特软件科技有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G06F16/2457 文献下载
摘要：本申请提供了一种产品约束检查结果确定方法、装置、设备及存储介质，其中，对于每个检查周期，在该检查周期的开始时刻，对待检测产品进行至少一个约束检查条目的约束检查得到第一约束检查结果；在该检查周期的结束时刻，判断所述条目数据库中是否存在新增检查条目；若所述条目数据库中存在所述新增检查条目，则对所述待检测产品进行新增检查条目的约束检查得到第二约束检查结果；根据所述第一约束检查结果和所述第二约束检查结果确定出第一目标检查结果。采用上述方法，以得到准确的产品的约束检查结果。
一种产品约束检查结果确定方法装置设备存储介质

[发明专利]一种数据查询方法、装置、电子设备及存储介质-CN202310194159.0在审
发明人：李钢江;滕超 -专利权人： 上海赛美特软件科技有限公司
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G06F16/2453 文献下载
摘要：本申请提供了一种数据查询方法、装置、电子设备及存储介质，方法包括：接收针对目标产品的目标查询请求，其中，目标查询请求用于查询全部产品中目标产品的最新的状态信息，全部产品中每一产品的状态信息记录于数据库中的历史数据表中；判断截至目前为止是否基于任一针对于产品的查询请求对历史数据表进行过访问；若否，则基于目标查询请求从历史数据表中对目标产品的最新的状态信息进行查询，并在数据库中构建记载每一产品的最新的状态信息的实时数据表；若是，则基于目标查询请求从已经构建好的实时数据表中对目标产品的最新的状态信息进行查询。本申请能够提升数据查询效率。
一种数据查询方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种产品排序方法、装置、电子设备及存储介质-CN202310130371.0在审
发明人：李钢江;滕超 -专利权人： 上海赛美特软件科技有限公司
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G06F16/2458 文献下载
摘要：本申请提供了一种产品排序方法、装置、电子设备及存储介质，方法包括：向用户展示预先定义好的至少一个产品排序规则；接收用户对至少一个产品排序规则中的至少部分目标产品排序规则的选取以及优先级设置，根据至少部分目标产品排序规则以及至少部分目标产品排序规则各自的优先级对存储于数据库中的待排序产品进行排序。本申请能够降低产品排序的门槛，使得非专业数据人员也能对数据库中的产品进行排序。
一种产品排序方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种产品派工方法、系统、计算机设备及可读存储介质-CN202310033770.5在审
发明人：李钢江;滕超 -专利权人： 上海赛美特软件科技有限公司
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G06Q10/0631 文献下载
摘要：本申请提供了一种产品派工方法、系统、计算机设备及可读存储介质，其中，对于每个待加工产品，信息处理子系统根据该待加工产品的产品属性判断该待加工产品是否为有效产品；若不是有效产品，信息处理子系统将该待加工产品的产品编码从初始加工列表中删除得到候选加工列表；信息处理子系统根据每个目标加工产品的优先等级由高到低的顺序，对每个目标加工产品的产品编码在候选加工列表中的位置进行由前到后的排序得到目标加工列表；产品运输子系统控制产品运输设备根据每个目标加工产品的产品编码在目标加工列表中的位置由前到后的顺序，将每个目标加工产品依次运输至目标加工机台。采用上述方法，以确保产品派工后加工机台能够正常进行产品加工。
一种产品方法系统计算机设备可读存储介质

[发明专利]一种产品加工机台控制方法、系统、设备及存储介质-CN202310035312.5在审
发明人：李钢江;滕超 -专利权人： 上海赛美特软件科技有限公司
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本申请提供了一种产品加工机台控制方法、系统、设备及存储介质，其中，所述生产管理子系统根据所述至少一个加工机台中的每个加工机台的机台信息确定出所述至少一个加工机台的优先级顺序；所述生产管理子系统根据预设的待加工任务数量和所述至少一个加工机台的优先级顺序确定出目标机台编号；所述生产管理子系统将所述目标机台编号发送至所述机台派工子系统；所述机台派工子系统控制目标加工机台执行产品加工任务采用上述方法，以提高使用加工机台进行产品加工时的效率。
一种产品加工机台控制方法系统设备存储介质

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