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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]支撑基板-CN201180038536.7无效
发明人：古川一也;西原芳幸 -专利权人：旭硝子株式会社
申请日： 2011-08-02 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及一种支撑基板，所述支撑基板是被贴附在被支撑基板上以支撑被支撑基板的支撑基板，具备：具有贴附在上述被支撑基板上的贴附面的支撑基板主体；和至少形成在上述支撑基板主体的表面中的贴附面的相反侧的表面上的以掺氟氧化锡为主体的导电膜
支撑

[发明专利]基板支撑设备和基板支撑方法-CN202110516710.X在审
发明人：严泰骏;朴宰显;金钟元;林旻俊 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2021-05-12 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板支撑设备和基板支撑方法。在基板支撑设备上安放由传送单元传送的基板，基板支撑设备包含：底板；第一底座部件，包含在底板上彼此间隔开的多个第一底座构件；第二底座部件，安置在第一底座构件之间且竖直地移动；以及固定部件，用于固定向上移动的第二底座部件，以便快速执行装载和卸载基板的操作且稳定地支撑基板。
支撑设备方法

[发明专利]基板支撑装置和基板支撑方法-CN200610073588.9无效
发明人：楠木寿幸 -专利权人：雅马哈发动机株式会社
申请日： 2006-04-13 - 公布日： 2006-10-18 - 主分类号： B41F15/26 文献下载
摘要：本发明提供一种不受基板W的下表面形状的影响即可容易地支撑基板W的基板支撑装置及支撑方法。上述支撑装置，包括多个支撑基板(W)的基板支撑部(27)，上述各基板支撑部(27)，包括通过与基板(W)的下表面(W2)接触可对应于基板(W)的下表面(W2)形状进行变位的接触销(271)，和固定接触销采用本发明，即使基板(W)的下表面(W2)存在安装完毕的元件(C1、C2)，由于接触销(271)对应于上述各元件的高度进行变位，所以无需对应于基板(W)的下表面(W2)的元件设置状况等来变更基板支撑部(
支撑装置方法

[发明专利]支撑销、基板支撑装置、基板处理装置-CN201310412407.0有效
发明人：田中俊幸;伊藤周;富冈修一 -专利权人：雅马哈发动机株式会社
申请日： 2013-09-11 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种支撑销、基板支撑装置及基板处理装置，无论有无定位板都能够共用支撑销。该支撑销（50）配置在设于基板支撑装置（30）的底座（31）上，用于支撑印刷基板（P），该支撑销具备支撑销主体（51）及姿态稳定部件（60），支撑销主体具有形成于下端侧的小径部（53）和形成于前端侧的支撑部（55），小径部与形成于定位板（40）的定位孔（43）嵌合，其中该定位板装卸自如地安装于底座上，并且支撑部支撑印刷基板（P）；姿态稳定部件（60）能够装卸地安装于支撑销主体的小径部，在不使用定位板（40）而将支撑销主体（51）配置于底座（31）上的情况下，使支撑销主体相对于底座稳定为立起的姿态。
支撑装置处理

[发明专利]基板支撑针、基板支撑装置和基板取放系统-CN201510116984.4有效
发明人：王小军;石旭;徐志龙;刘大刚;李冬青;许建凡 -专利权人：合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2015-03-17 - 公布日： 2017-07-04 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供一种基板支撑针、基板支撑装置和基板取放系统，所述基板支撑针用于支撑基板，所述基板支撑针包括杆体，所述杆体的支撑端设置有转动件，所述转动件能够沿基板的表面发生滚动。与现有技术相比，本发明可以能够减小对基板的损伤。
支撑装置基板取放系统

[发明专利]基板支撑用支撑单元-CN201280017748.1有效
发明人：康浩荣;赵炳镐;朴珠泳;金彻镐 -专利权人：泰拉半导体株式会社
申请日： 2012-04-09 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：公开了一种基板支撑用支撑单元，其防止在基板处理过程中基板因弯曲而发生变形的现象。本发明的基板支撑用支撑单元，在基板处理过程中，由于基板的整体面被多个支撑销均匀地支撑，因此不会发生基板因自重而弯曲变形的现象。由此，能够提高平板显示器的可靠性。
支撑单元

[发明专利]柔性基板支撑用支撑基板的制造方法-CN201911392445.8在审
发明人：闵润基;金孝锡;朴暻完 -专利权人：圆益IPS股份有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了支撑基板的制造方法及柔性显示器的制造方法。本发明的支撑基板的制造方法及柔性显示器的制造方法的特征在于，在柔细显示器的制造过程中临时粘合并固定柔性基板，并且在柔细显示器制造完成之后可利用机械性的力量容易拆分柔性基板。
柔性支撑制造方法

[发明专利]基板支撑台和具有基板支撑台的基板检查设备-CN200710110868.7有效
发明人：崔裕灿;洪旋珠;朴珉镐 -专利权人： SFA工程股份有限公司
申请日： 2007-06-12 - 公布日： 2007-12-19 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明揭示一种基板支撑台和一种具有所述基板支撑台的基板检查设备。一种基板检查设备包括：台，其上面稳定地安装有基板，所述基板成为检查目标，其中对附接到所述基板的一边的TAB的区域执行凹痕检查和裂缝检查；至少一个凹痕检查相机，其对所述TAB区域进行照相，以便检查所述TAB中是否出现凹痕；至少一个裂缝检查相机，其对所述TAB区域进行照相，以便检查所述基板的TAB区域中是否出现裂缝；以及光学系统移动单元，其支撑所述凹痕检查相机和所述裂缝检查相机，以便相对于所述台而相对地移动
支撑具有检查设备

[发明专利]基板支撑台和具有基板支撑台的基板检查设备-CN200910179862.4无效
发明人：崔裕灿;洪旋珠;朴珉镐 -专利权人： SFA工程股份有限公司
申请日： 2007-06-12 - 公布日： 2010-03-10 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明揭示一种基板支撑台和一种具有所述基板支撑台的基板检查设备。一种基板检查设备包括：台，其上面稳定地安装有基板，所述基板成为检查目标，其中对附接到所述基板的一边的TAB的区域执行凹痕检查和裂缝检查；至少一个凹痕检查相机，其对所述TAB区域进行照相，以便检查所述TAB中是否出现凹痕；至少一个裂缝检查相机，其对所述TAB区域进行照相，以便检查所述基板的TAB区域中是否出现裂缝；以及光学系统移动单元，其支撑所述凹痕检查相机和所述裂缝检查相机，以便相对于所述台而相对地移动
支撑具有检查设备

[发明专利]基板支撑装置-CN201711257710.2在审
发明人：杨岳霖;廖啟宏;蔡飞国 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2017-12-04 - 公布日： 2019-01-29 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种基板支撑装置，包含一外壳及多个球状支撑体。该外壳有一上表面，该上表面包含多个开口。该外壳用于将所述多个球状支撑体定位于所述多个开口内，因此所述多个球状支撑体的最上表面被排列于该上表面之上的一平面。所述多个球状支撑体的一球状支撑体可在该外壳内旋转。
球状支撑体上表面基板支撑装置开口内旋转

[发明专利]基板支撑装置-CN201610619714.X在审
发明人：朴永秀;柳守烈;孙侐主;金永镐 -专利权人：系统科技公司
申请日： 2016-07-29 - 公布日： 2017-11-10 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开一种基板支撑装置，其目的在于，在执行用于利用环氧树脂模塑料(EMC)材质的基板而制作单芯片系统(SoC)的回流焊工序时，最小化基板和支撑基板的支撑板之间的热传递引起的热损失，从而防止由基板的翘曲现象引起的工艺不良为了实现上述目的，本发明的基板支撑装置在进行用于制造单芯片系统(SoC)的回流焊工艺时固定支撑环氧树脂模塑料材质的基板，其中包括支撑板，可升降地配备于对所述基板进行热处理的腔室的内部，并用于支撑所述基板；多个基板支撑部件，在所述支撑板上相隔预定间距而配备，并由隔热材料形成，以用于使所述基板被放置而得到支撑的同时阻断被热处理的基板和所述支撑板之间的热传递。
支撑装置

[发明专利]基板支撑台-CN201910239428.4在审
发明人：松本龙儿;须能翼 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2019-10-18 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明提供可容易且价格低廉地维修的基板支撑台。由基台(10a)和支撑板(10b)构成，支撑板(10b)为具有从表面突出并用于支撑基板(PO)的多个凸部(11)的板状的部件，且该支撑板(10b)由显示面板所使用的材料、例如玻璃基板(GS)及绝缘膜所使用的有机材料
支撑板基台基板支撑台玻璃基板基板支撑台本发明显示面板有机材料支撑基板绝缘膜可更换板状凸部维修

[发明专利]基板支撑装置-CN202010322025.9在审
发明人：朴天英;金盛珍;赵源锡 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2020-04-22 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明的一实施例的基板支撑装置包括：支撑框架，包括第一支撑部及第二支撑部，所述第二支撑部的至少一部分与所述第一支撑部相隔；销部件，用于支撑基板的下表面，并且包括与所述第一支撑部结合的多个第一支撑销及与所述第二支撑部结合的多个第二支撑销；以及驱动模块，沿所述基板的所述下表面的法线方向选择性地使所述第一支撑部及所述第二支撑部移动。因此，本发明在不更换设备的情况下能够应用到不同种类的基板上。
支撑装置

[发明专利]基板支撑基座-CN201910484041.5在审
发明人： S·J·拉罗萨;S·普劳蒂 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-06-04 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本文讨论的系统和方法与在处理腔室中使用以制造半导体、电子器件、光学器件和其它器件的基板支撑基座相关联。所述基板支撑基座包括静电吸盘主体，所述静电吸盘主体经由结合层结合到冷却基部。
结合层静电吸盘主体气流通道基板支撑多孔塞基部冷却处理腔室电子器件光学器件物理屏蔽顶表面内边缘扫掠半导体穿过关联侵蚀制造

[发明专利]基板支撑装置-CN202111620718.7在审
发明人：肖文欢 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种基板支撑装置，包括基座、支撑杆、驱动板、推拉杆、驱动件，基座包括基座本体以及位于所述基座本体的两相对端的底板，所述基座本体的端部与所述底板滑动连接，支撑杆的第一端与基座本体固定连接，支撑杆的第二端固定连接有支撑针，支撑针用于支撑基板，驱动板设于基座本体上且与基座本体联动连接，推拉杆设于驱动板一侧且与驱动板固定连接，驱动件驱动推拉杆沿第一方向运动，推拉杆沿第一方向运动时，同步带动驱动板沿第一方向运动，基座本体和支撑杆沿与第一方向相交的第二方向运动。通过上述部件之间的联动设计，只需驱动推拉杆在第一方向运动，即可实现支撑针与基板接触位置的改变，且无需开腔作业和设备改造。
支撑装置

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