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[发明专利]基板处理装置-CN202011011955.9有效
发明人：孙侐主;朴永秀;柳守烈;崔宇镇;金学杜;许东根;吴俊昊 -专利权人：系统科技公司
申请日： 2020-09-22 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供能够防止因进行基板处理的平台上的基板的翘曲现象而引起的工序不良的基板处理装置。用于实现此目的的本发明的基板处理装置包括：多个腔室，为了处理基板而沿圆周方向以预定间隔布置；转盘(600)，配备为为了在多个腔室之间移送基板而能够旋转，其中，多个腔室中的至少一个腔室配备有：平台(110)，安置基板；夹持环(120)，以与基板的边缘位置部以预定宽度重叠的方式位于基板的上部并配备为可进行升降，以防止装载于平台(110)上的基板的变形；弹性部件(150)，配备为对夹持环(120)作用有朝向平台(110)的方向的弹性力；夹持销(160)，配备为以与作用于所述夹持环(120)的所述弹性力对向的方式使力作用于所述夹持环(120)。
处理装置

[发明专利]传送盒清洗工艺-CN202110521366.3在审
发明人： 朴永秀;许东根;李基万 -专利权人：系统科技公司
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种传送盒清洗工艺，包括：分离步骤，将移入的传送盒分离为内传送盒和外传送盒；清洁步骤，在清洁室内部对分离的传送盒进行清洗；干燥步骤，在干燥室内部对通过上述清洁步骤的上述传送盒进行干燥；真空处理步骤，对通过上述干燥步骤的上述传送盒进行真空处理；组装步骤，对通过上述真空处理步骤的上述内传送盒和上述外传送盒进行组装，上述清洁步骤和上述干燥步骤分开进行。
传送清洗工艺

[发明专利]传送盒清洗室-CN202110521867.1在审
发明人： 朴永秀;许东根;李基万 -专利权人：系统科技公司
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种传送盒清洗室，包括：清洁室，其具有入口门，且容纳被移送的传送盒以进行清洗；干燥室，其具有出口门，且干燥从上述清洁室移送的上述传送盒；开关，其配置在上述清洁室和上述干燥室之间用以进行升降；及室移动部，其将上述传送盒从上述清洁室移送至上述干燥室。
传送清洗

[发明专利]传送盒清洗装置-CN202110539352.4在审
发明人： 朴永秀;许东根;李基万 -专利权人：系统科技公司
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种传送盒清洗装置，包括：分离部，其将通过入口移入的传送盒分离；第一移送部，其移送在上述分离部分离的传送盒；清洗室，其清洗及干燥通过上述第一移送部分离并移送的传送盒；真空室，其对在上述清洗室中干燥的传送盒进行真空处理；第二移送部，其将在上述清洗室干燥的传送盒移送至上述真空室；组装部，其组装上述真空处理的上述传送盒，其中，上述清洗室包括：清洁室，其被配置为多个，用于容纳并清洗通过上述第一移送部移送的上述传送盒；及干燥室，其干燥从上述清洁室中移送的上述传送盒，上述清洁室和上述干燥室在空间上被分离。
传送清洗装置

[发明专利]基板温度测量装置及基板温度测量方法-CN201910734046.9有效
发明人： 朴永秀;孙侐主;朴商弼;柳守烈;金永镐;金学杜 -专利权人：系统科技公司
申请日： 2019-08-09 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： G01K1/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板温度测量装置及基板温度测量方法，更为详细地，其目的在于提供一种可以实时测量基板处理工序中的基板的温度的基板温度测量装置及基板温度测量方法。用于实现上述目的的本发明的基板温度测量装置包括探头，所述探头配备为将支撑基板而进行基板处理工序的基板支撑部上下贯通，且上端从所述基板支撑部的上表面突出，其中，所述探头的上端构成为相接于所述基板的下侧面，从而测量所述基板的温度。
温度测量装置测量方法

[发明专利]基板处理装置-CN202011201480.X在审
发明人：吴俊昊;朴永秀;柳守烈;金学杜;孙侐主;朴商弼;许成壹 -专利权人：系统科技公司
申请日： 2020-11-02 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种在多个腔室之间能够稳定地移送基板的基板处理装置。用于实现此的本发明的基板处理装置，包括：多个腔室，为了处理基板而沿圆周方向以预定间隔布置；转盘，配备为为了在所述多个腔室之间移送所述基板而旋转，其中，所述多个腔室中的至少一个腔室配备有安置所述基板的平台和提供用于沿上下方向升降所述平台的驱动力的平台驱动部，所述转盘包括：转盘主体，借由转盘驱动部而升降以及旋转；环形的转盘环，配备为在安置于所述转盘主体的状态下能够从所述转盘主体分离。
处理装置

[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法-CN202011251597.9在审
发明人：孙侐主;朴永秀;崔宇镇;金永镐;吴俊昊;许东根;李民荣 -专利权人：系统科技公司
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种可以在装载和卸载基板时阻断基板与腔室内部的加热部之间而最小化基板的热变形的基板处理装置以及基板处理方法。为了实现其的本发明的基板处理装置包括：腔室，在内部布置有基板的热处理空间；加热部，配备在所述腔室的上部而加热基板；基板支撑部，配备在所述腔室的内部而安置所述基板；阻断部件，在将基板装载到所述腔室的内部或者将所述腔室内部的基板卸载到外部的情形下，位于阻隔所述加热部与所述基板之间而阻断所述加热部的热传递到所述基板的阻断位置。
处理装置以及方法

[发明专利]屏幕操作方法和支持该方法的电子设备-CN201680044016.X有效
发明人：柳完相;朴永秀;柳刚烈;尹勇相 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2016-07-21 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： G06F3/0488 文献下载
摘要：提供了一种用于屏幕操作的装置和方法。该装置包括电子设备。电子设备包括：显示器，在该显示器上显示一个或多个对象；以及处理器，用于控制显示器的显示状态。该处理器基于通过接收到的输入事件指示的位置来调整在显示器上显示的一个或多个对象的显示位置。
屏幕操作方法支持方法电子设备

[发明专利]基板传送装置以及利用其的基板处理方法-CN202011221263.7在审
发明人：孙侐主;朴永秀;崔宇镇;许成壹;吴俊昊;许东根;李民荣 -专利权人：系统科技公司
申请日： 2020-11-05 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及基板传送装置以及利用其的基板处理方法，更加详细地，其目的在于在装载和卸载基板时阻断基板与腔室内部的加热部之间而最小化基板的热变形。为了实现其的本发明的基板传送装置包括：机器人主体，配备有产生动力的驱动部；传送单元，支撑基板而传送；传送单元机械臂，构成为一侧被紧固到所述机器人主体，在另一侧连接有所述传送单元，并根据所述驱动部的驱动传送所述传送单元，从而将所述基板装载到用于处理基板的腔室或者从所述腔室卸载所述基板；阻断单元，在装载或者卸载所述基板时，阻隔加热所述腔室内部的所述基板的加热部与所述基板之间而阻断热传递。
传送装置以及利用处理方法

[发明专利]基板处理装置-CN202011095077.3在审
发明人：崔宇镇;朴永秀;金学杜;金永镐;朴商弼;许成壹;许东根 -专利权人：系统科技公司
申请日： 2020-10-14 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种基板处理装置，该基板处理装置由于能够在一个装置内处理大小不同的基板而不需要部件更换时间及装置启动准备时间，从而能够提升工序效率。用于实现此的本发明的基板处理装置用于处理基板，包括：平台，为了加热或者冷却所述基板而配备；升降销，配备为沿上下方向贯通所述平台而支撑所述基板的底面，并且以用于安置彼此不同大小的基板的方式形成有至少两个销部。
处理装置

[发明专利]基板处理装置-CN202011034094.6在审
发明人：崔宇镇;朴永秀;柳守烈;孙侐主;朴商弼;吴俊昊;李民荣 -专利权人：系统科技公司
申请日： 2020-09-27 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种基板处理装置，该基板处理装置由于能够在一个装置内处理大小不同的基板而不需要部件更换时间及装置启动准备时间，从而能够提升工序效率的基板处理装置。用于实现此的本发明的基板处理装置用于处理基板，包括：基板支撑销，支撑所述基板的底面，并且形成有至少两个基板安置部，以用于安置彼此不同的大小的基板。
处理装置

[发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN201610618129.8有效
发明人： 朴永秀;崔宇镇;朴商弼;李东润 -专利权人：系统科技公司
申请日： 2016-07-29 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开一种基板处理装置及基板处理方法，其通过在工艺腔室中一体地构成装载锁部而简化装置的构造并减少设置空间，并且可以通过减少基板的移送步骤而提高基板处理速度。为此，对于本发明的基板处理装置(1)而言，用于在真空状态下处理所述基板的多个腔室中的第一腔室(100)中一体地配备有用于在与前端模块之间装载及卸载所述基板的装载锁部(100a)，在布置有所述装载锁部(100a)的第一腔室(100)的第一空间(S1)和配备于所述第一空间(S1)的下侧而与所述多个腔室连通的第一腔室(100)的第二空间(S2)在空间上彼此隔离的状态下，进行所述基板的装载和卸载。
处理装置方法

[发明专利]微型LED显示器用颜色变换结构体的制造方法-CN201980002466.6在审
发明人：朴兑浩;权洸佑;朴永秀 -专利权人：博思股份有限公司
申请日： 2019-05-27 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： H01L27/15 文献下载
摘要：本发明的一实施例的微型LED显示器用颜色变换结构体的制造方法包括如下的步骤：将隔壁结构体内的网格区划成多个网格组，所述网格组是相邻的三个网格为一组，对多个网格组中的各个第一网格内注入含有第一彩色变换材料和玻璃粉末的第一玻璃膏，对各个的网格租的第二网格内注入含有第二色彩变换材料和玻璃粉末的第二玻璃膏。
网格网格组玻璃粉末玻璃膏彩色变换隔壁结构色彩变换颜色变换微型LED 结构体体内制造

[实用新型]小腿按摩组件及包括该组件的腿部按摩装置-CN201821665035.7有效
发明人：许鉒讼;朴永秀 -专利权人：保迪弗兰德有限公司
申请日： 2018-10-12 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： A61H15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种小腿按摩组件及包括该组件的腿部按摩装置，所述小腿按摩组件包括：至少一个活动轴，插入于弹簧，借由所述弹簧的压缩及膨胀而向前方或后方移动；按摩组件壳体，形成有用于引导所述活动轴的移动的活动轴引导部；以及移动壳体，随着所述活动轴的移动，插入于所述按摩组件壳体内部。
活动轴小腿按摩组件按摩组件弹簧移动腿部按摩装置本实用新型壳体内部移动壳体壳体膨胀压缩

[发明专利]前开式晶圆传送盒清洁装置及前开式晶圆传送盒清洁方法-CN201910107419.X在审
发明人： 朴永秀;权五亨;郑同根;许东根 -专利权人：系统科技公司
申请日： 2019-02-02 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种如下的前开式晶圆传送盒清洁装置及前开式晶圆传送盒清洁方法，能够提高前开式晶圆传送盒主体及前开式晶圆传送盒盖的清洁及干燥效率。为此，本发明的前开式晶圆传送盒清洁装置用于清洁包括前开式晶圆传送盒主体及前开式晶圆传送盒盖的前开式晶圆传送盒，并包括：装载及卸载部，用于搬入及搬出前开式晶圆传送盒；等待部，配备于装载及卸载部的一侧，并使前开式晶圆传送盒主体与前开式晶圆传送盒盖相互分离或结合；清洁腔室，利用蒸汽清洁前开式晶圆传送盒主体及前开式晶圆传送盒盖；以及机器人，用于在等待部与清洁腔室之间搬送前开式晶圆传送盒主体及前开式晶圆传送盒盖。
晶圆传送盒前开式清洁装置清洁清洁腔室卸载部装载干燥效率蒸汽清洁搬出搬入机器人配备

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