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[发明专利]基板处理装置-CN202011011955.9有效
发明人：孙侐主;朴永秀;柳守烈;崔宇镇;金学杜;许东根;吴俊昊 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2020-09-22 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供能够防止因进行基板处理的平台上的基板的翘曲现象而引起的工序不良的基板处理装置。用于实现此目的的本发明的基板处理装置包括：多个腔室，为了处理基板而沿圆周方向以预定间隔布置；转盘(600)，配备为为了在多个腔室之间移送基板而能够旋转，其中，多个腔室中的至少一个腔室配备有：平台(110)，安置基板；夹持环(120)，以与基板的边缘位置部以预定宽度重叠的方式位于基板的上部并配备为可进行升降，以防止装载于平台(110)上的基板的变形；弹性部件(150)，配备为对夹持环(120)作用有朝向平台(110)的方向的弹性力；夹持销(160)，配备为以与作用于所述夹持环(120)的所述弹性力对向的方式使力作用于所述夹持环(120)。
处理装置

[发明专利]化学制剂过滤器更换装置-CN202111054022.2有效
发明人：宋勇益;李晋宇;蔡熙峯;崔乐坤;林佑泽;郑恩珍;申东赫;李相喆;金万镐;朴正训 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B01D35/30 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种化学制剂过滤器更换装置，在结合过滤器外壳和过滤器头的情况下使过滤器外壳和过滤器头的相互面对的面处于水平状态。为了实现该目的的化学制剂过滤器更换装置，包括：过滤器组件固定部，固定过滤器组件，过滤器组件由过滤器外壳和过滤器头构成，过滤器外壳内部容纳用于过滤化学制剂的滤芯，过滤器头结合于过滤器外壳的开放的一侧；过滤器外壳拆装模块，移动过滤器外壳，以从过滤器组件拆卸过滤器外壳或者将拆卸的过滤器外壳结合于过滤器组件；其中，在过滤器外壳拆装模块具有至少一个弹性部件，弹性部件在移动过滤器外壳来紧贴于过滤器头的情况下使弹力作用于过滤器外壳和过滤器头的紧贴面。
化学制剂过滤器更换装置

[发明专利]夹紧装置-CN202111079189.4有效
发明人：宋勇益;李晋宇;蔡熙峯;崔乐坤;林佑泽;郑恩珍;申东赫;李相喆;金万镐;朴正训 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2021-09-15 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： B01D35/30 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种夹紧装置，坚固地固定过滤器组件的外壳和头的结合，以防止化学制剂泄漏的同时能够更加容易进行固定及解除固定。用于实现该目的的本发明的夹紧装置包括：第一夹具，结合于过滤器组件的过滤器头的外侧；第二夹具，结合于过滤器组件的过滤器外壳的外侧；及第三夹具，对所述第一夹具或者所述第二夹具的背面施力，向所述第一夹具和所述第二夹具相互接近的结合方向进行加压。
夹紧装置

[发明专利]化学品取样装置-CN202210928513.3在审
发明人：李晋宇;李俊雨;宋勇益 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2022-08-03 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： G01N1/14 文献下载
摘要：本发明的实施例设置了一种化学品取样装置，其包括：分离容器的盖的盖拆卸单元；以及将化学品装载在容器中的化学品装载单元，其中，化学品装载单元包括排出模块，剩余在多条取样管线中的残余化学品从该排出模块排出；以及多个取样驱动模块，每个取样驱动模块单独地移动多条取样管线，其中，多个取样驱动模块将多条取样管线移动到排出模块或容器的上部部分。
化学品取样装置

[发明专利]化学制剂容器自动运送装置及自动运送方法-CN201980045975.7有效
发明人：宋勇益;尹炳春;赵济东;高秉导;林钟佑 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2019-06-24 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： B65G47/74 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种可将已确认化学制剂供应装置所需的化学制剂信息的化学制剂容器自动供应于化学制剂供应装置的化学制剂容器自动运送装置及自动运送方法。用于实现该目的的化学制剂容器自动运送装置包括：至少一条运送路线，用于将投放于投放部(110)的化学制剂容器(2)运送至化学制剂供应装置(5)；控制部，进行控制使通过所述运送路线运送的所述化学制剂容器(2)供应至所述化学制剂供应装置(5)；运送车(600)，用于将所述化学制剂容器(2)从所述运送路线传递于所述化学制剂供应装置(5)，或者将所述化学制剂容器(2)从所述化学制剂供应装置(5)传递至所述运送路线。
化学制剂容器自动运送装置方法

[发明专利]歧管组件和包括该歧管组件的化学品取样装置-CN202180016783.0在审
发明人：元钟豪;宋勇益;李晋宇;尹炳春 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2021-02-25 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： B67D7/02 文献下载
摘要：一种实施例涉及一种歧管组件，其包括其中形成有公共腔室的主体，连接到公共腔室并供应第一化学品的第一化学品流动通道，用于选择性地打开或关闭第一化学品流通道的第一阀，连接到公共腔室并供应第二化学品的第二化学品流动通道，用于选择性地打开或关闭第二化学品流通道的第二阀，以及连接至公共腔室并将引入公共腔室的第一化学品或第二化学品排出主体的排放流动通道，因此，歧管组件可以具有简化用于排出、清洁和取样化学品的过程以及提高稳定性和可靠性的有益效果。
歧管组件包括化学品取样装置

[发明专利]化学制剂容器自动运送装置及自动运送方法-CN201880095757.X有效
发明人：宋勇益;尹炳春;赵济东;高秉导;崔鎭圭;蔡熙峯 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B65G43/08 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种没有专业执照或者未接受专业培训的工作人员也可容易运送化学制剂容器的化学制剂容器自动运送装置及自动运送方法。用于实现该目的的本发明的化学制剂容器自动运送装置包括：升降部，将化学制剂容器(2)从第一高度上升至第二高度；控制部，控制所述升降部的驱动，以将上升至所述第二高度的状态的化学制剂容器(2)运送至化学制剂供应装置(5)。
化学制剂容器自动运送装置方法

[发明专利]化学品取样装置-CN202080077360.5在审
发明人：宋勇益;元钟豪;蔡熙峯;李晋宇;尹炳春;崔镇圭 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2020-11-06 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： G01N1/10 文献下载
摘要：实施例涉及一种化学品溢出防止装置，包括：端盖构件，其被布置为能够密封取样管线的出口端部，化学品通过该出口端部排出；以及移动单元，其用于选择性地移动所述端盖构件，使得端盖构件定位在用于密封出口端部的第一位置或用于打开出口端部的第二位置，由此可以获得防止化学品溢出并提高安全性和可靠性的有益效果。
化学品取样装置

[发明专利]化学制剂容器自动运送装置及自动运送方法-CN201880092951.2有效
发明人：宋勇益;尹炳春;赵济东;高秉导;林钟佑 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： B65G43/08 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种化学制剂容器自动运送装置及自动运送方法，可将已确认化学制剂供应装置所需的化学制剂信息的化学制剂容器自动供应于化学制剂供应装置。为了实现该目的的本发明的化学制剂容器自动运送装置，包括：至少一个运送路线，用于将投放于投放部(110)的化学制剂容器(2)运送至化学制剂供应装置(5)；控制部，接收通过所述运送路线运送的所述化学制剂容器(2)的化学制剂信息，若所述接收的化学制剂信息与所述化学制剂供应装置(5)所需的信息一致，则进行控制使所述化学制剂容器(2)供应至所述化学制剂供应装置(5)。
化学制剂容器自动运送装置方法

[发明专利]传送盒清洗工艺-CN202110521366.3在审
发明人：朴永秀;许东根;李基万 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种传送盒清洗工艺，包括：分离步骤，将移入的传送盒分离为内传送盒和外传送盒；清洁步骤，在清洁室内部对分离的传送盒进行清洗；干燥步骤，在干燥室内部对通过上述清洁步骤的上述传送盒进行干燥；真空处理步骤，对通过上述干燥步骤的上述传送盒进行真空处理；组装步骤，对通过上述真空处理步骤的上述内传送盒和上述外传送盒进行组装，上述清洁步骤和上述干燥步骤分开进行。
传送清洗工艺

[发明专利]传送盒清洗室-CN202110521867.1在审
发明人：朴永秀;许东根;李基万 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种传送盒清洗室，包括：清洁室，其具有入口门，且容纳被移送的传送盒以进行清洗；干燥室，其具有出口门，且干燥从上述清洁室移送的上述传送盒；开关，其配置在上述清洁室和上述干燥室之间用以进行升降；及室移动部，其将上述传送盒从上述清洁室移送至上述干燥室。
传送清洗

[发明专利]传送盒清洗装置-CN202110539352.4在审
发明人：朴永秀;许东根;李基万 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种传送盒清洗装置，包括：分离部，其将通过入口移入的传送盒分离；第一移送部，其移送在上述分离部分离的传送盒；清洗室，其清洗及干燥通过上述第一移送部分离并移送的传送盒；真空室，其对在上述清洗室中干燥的传送盒进行真空处理；第二移送部，其将在上述清洗室干燥的传送盒移送至上述真空室；组装部，其组装上述真空处理的上述传送盒，其中，上述清洗室包括：清洁室，其被配置为多个，用于容纳并清洗通过上述第一移送部移送的上述传送盒；及干燥室，其干燥从上述清洁室中移送的上述传送盒，上述清洁室和上述干燥室在空间上被分离。
传送清洗装置

[发明专利]运送对象的自动运送装置及自动运送方法-CN202080070080.1在审
发明人：宋勇益;蔡熙峯;崔鎭圭;尹炳春;元锺豪 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2020-10-22 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： B65G43/08 文献下载
摘要：本发明的目的在于，提供可使用于检测从运送对象至设定位置为止是否具有突出的部分的传感器的数量最小化的运送对象的自动运送装置及自动运送方法。用于实现上述目的的自动运送装置包括：一对第一感应传感器，在运送对象被运送的状态下，检测从通过运送路线运送的上述运送对象的两侧面至设定位置为止是否具有突出的部分；以及一对第二感应传感器，在上述运送对象停止的状态下，检测从上述运送对象的前表面和后表面至设定位置为止是否具有突出的部分。
运送对象自动装置方法

[发明专利]化学制剂容器自动运送装置及自动运送方法-CN202080070098.1在审
发明人：宋勇益;蔡熙峯;崔鎭圭;尹炳春;元锺豪 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2020-10-06 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： B65G37/00 文献下载
摘要：本发明的目的在于，提供可使将化学制剂供应装置的空的化学制剂容器更换为新的化学制剂容器时消耗的时间最小化的化学制剂容器自动运送装置及自动运送方法。用于实现其的化学制剂容器自动运送装置包括：化学制剂供应装置，用于将收容在第一化学制剂容器的化学制剂供应至化学制剂使用位置；等待部，使用于投放至上述化学制剂供应装置的第二化学制剂容器暂时等待，成为运出上述第一化学制剂容器的路径；避让部，当从上述化学制剂供应装置运出在上述化学制剂供应装置中使用完的上述第一化学制剂容器时，使上述第一化学制剂容器避让来能够将上述第二化学制剂容器投放至上述化学制剂供应装置的内部；入口部，设置于上述化学制剂供应装置的入口侧，成为用于运出上述第一化学制剂容器的路径和用于投放上述第二化学制剂容器的路径；以及控制部，在上述等待部、避让部及入口部中分别控制上述第一化学制剂容器和第二化学制剂容器的运送。
化学制剂容器自动运送装置方法

[发明专利]化学制剂过滤器更换装置-CN202111055393.2在审
发明人：宋勇益;李晋宇;蔡熙峯;崔乐坤;林佑泽;郑恩珍;申东赫;李相喆;金万镐;朴正训 -专利权人： 系统科技公司
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： B01D29/96 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种化学制剂过滤器更换装置，该化学制剂过滤器更换装置在将相互不同种类的多个滤芯运送到过滤器固定部之前可进行存放。为了实现该目的的化学制剂更换装置将投放于滤芯存放部的新滤芯通过滤芯运送部运送到过滤器固定部来结合于过滤器组件，其中在所述滤芯存放部具有相互分开的多个存放空间，以投放多种滤芯，所述滤芯运送部将所述多种滤芯分别运送到过滤器固定部。
化学制剂过滤器更换装置

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