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[发明专利]基片架控制装置、基片架移动控制方法及沉积装置-CN200710094478.5有效
发明人：陈勇志;吴侃;姚彦斌;李广宁 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2007-12-13 - 公布日： 2009-06-17 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种基片架控制装置，包括：基片架升降电路，用于控制基片架升降；还包括：颜色传感器，位于基片上方，用于根据基片表面的反射光控制基片架升降电路工作与否。本发明还提供一种基片架移动控制方法以及一种沉积装置，本发明通过在位于基片架上的基片上方设置颜色传感器，以便检测位于其基片架上的基片放置位置是否正确，防止基片架继续动作破坏基片。
基片架控制装置移动方法沉积

[发明专利]用于ARC镀膜生产线的基片翻面设备-CN201911138349.0在审
发明人：祝海生;陈立;金诚明;凌云;孙桂红;梁红;黄国兴;黄乐 -专利权人：湘潭宏大真空技术股份有限公司
申请日： 2019-11-20 - 公布日： 2021-05-21 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提供了用于ARC镀膜生产线的基片翻面设备，包括基片架、旋转底板、基片架底座、固定座和旋转电机，固定座固定在所述镀膜生产线的箱体内，旋转电机安装在固定座上，基片架位于旋转底板上，旋转电机连接并驱动旋转底板和基片架转动本发明旋转底板和基片架底座同步旋转，带动基片架同步转动，实现基片架翻面的同时旋转平稳；基片架上设有多个基片区，可放置多个基片，充分利用基片架的位置。
用于 arc 镀膜生产线基片翻面设备

[发明专利]用于ARC镀膜生产线的基片架-CN201911106235.8在审
发明人：祝海生;陈立;薛闯;凌云;孙桂红;梁红;黄国兴;黄乐 -专利权人：湘潭宏大真空技术股份有限公司
申请日： 2019-11-13 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提供了用于ARC镀膜生产线的基片架，用于装载待镀膜的基片，所述基片架在镀膜生产线上运行，包括基片架本体、框架组件和盖板组件，框架组件连接基片架本体的各侧边，基片架本体上设有基片区，基片区包括彼此独立的第一基片区、第二基片区和第三基片区，盖板组件包括第一盖板、第二盖板和第三盖板，第一盖板、第二盖板和第三盖板分别可拆卸的盖合在第一基片区、第二基片区和第三基片区上。本发明所述基片架可装载多种和多个基片，基片架分为多个基片区域，每个基片区域对应配有相应盖板，所述盖板可拆卸的覆盖在对应的基片区域，以分区利用各个基片区域，且防止各基片区域受到污染，框架组件保护基片架本体且稳定承重
用于 arc 镀膜生产线基片架

[实用新型]一种机械式自定位样品托-CN201922160699.9有效
发明人：马毅;黄先伟;宋宇轩;俞越翎;谢续友;吴伊帆;张泰华 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2019-12-05 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种机械式自定位样品托，包括样品盘、基片储备盘、基片架、基片及压紧机构，所述基片固定设置在基片架上，所述样品盘上设有定位架，所述基片架通过压紧机构设置在基片储备盘上，所述基片架的上设有销孔，所述基片架端部设有圆柱体托，并通过销轴与销孔的配合实现基片架与圆柱体托的铰链，使圆柱体托与基片架之间能发生相对转动，从而实现基片架与定位架的配合安装；本实用新型的有益效果：在圆柱体托和基片架之间设有柔性部件，使得圆柱体托和基片架之间可以发生相对转动，使得安装过程更加快捷高效。
一种机械式定位样品

[发明专利]一种玻璃基片真空镀膜上下片的方法-CN201710150355.2在审
发明人：鲍兆臣;张少波;樊黎虎 -专利权人：凯盛科技股份有限公司
申请日： 2017-03-14 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开一种玻璃基片真空镀膜上下片的方法，包括以下步骤在基片架底部设置旋转底座，使基片架能够在旋转底座上水平自由旋转；对基片架的正面进行正面玻璃基片的上片操作，然后将基片架在旋转底座上旋转180°，再对基片架的反面进行反面玻璃基片的上片操作；双面磁控溅射镀膜机进行正反面镀膜；镀完膜的基片架回转运送到上下片区，对基片架正面的玻璃基片进行下片操作，然后将基片架在旋转底座上旋转180°，再对基片架反面的玻璃基片进行下片操作；重复步骤b～d，实现在真空镀膜工艺中对玻璃基片的上下片；安排一名操作工即可对基片架反面进行上下片，无需再绕行到基片架反面，节省了人力的同时，能够保证上下片的速度，降低劳动强度。
一种玻璃真空镀膜下片方法

[实用新型]一种装卸基片架用平移传动架-CN201420241958.5有效
发明人：王伟;邵家满;徐昌华;王寅 -专利权人：芜湖长信科技股份有限公司
申请日： 2014-05-12 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： C03C17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种装卸基片架用平移传动架，通过在输送轨道(1)上设置平移架(6)，平移架(6)包括架体(61)，架体(61)上端设有垂直基片架(4)运动方向的导轨(62)，导轨(62)上设有可支撑基片架(4)的滑块(63)，滑块(63)滑动套装在导轨(62)上，若需要对可能存在异常的基片架(4)进行维护时，则通过平移架(6)上的导轨(62)和滑块(63)移动基片架(4)，将基片架(4)与其他基片架(4)脱离，更换快速方便，不影响生产线其他基片架(4)的正常输送，避免维护人员在更换基片架(4)时同生产操作人员交叉作业，提高安全性。
一种装卸基片架用平移传动

[发明专利]卧式真空镀膜机自动装、卸片机构-CN201010194931.1有效
发明人：黄国兴;孙桂红;祝海生;郭爱云;黄乐 -专利权人：湘潭宏大真空设备有限公司
申请日： 2010-06-08 - 公布日： 2010-09-22 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：卧式真空镀膜机自动装、卸片机构，包括机架、第一基片架传送机构、第二基片架传送机构、第一基片传送机构、第二基片传送机构，在所述机架的一端设有所述第一基片传送机构，在所述机架另一端设有所述第一基片架传送机构；在所述机架内设有所述第二基片架传送机构；所述第二基片架传送机构中心设有矩形通孔；所述第一基片架传送机构、第二基片架传送机构、第一基片传送机构在高度方向位置相匹配；所述第二基片传送机构通过汽缸活塞与所述第二基片架传送机构固连并处于所述第二基片架传送机构下方本发明结构简单、运行可靠、自动化程度高、可自动精确装载及卸载基片；可实现工业化生产，适于与各种型号的卧式真空镀膜机配套使用。
卧式真空镀膜自动机构

[实用新型]卧式真空镀膜机自动装、卸片机构-CN201020218906.8无效
发明人：黄国兴;孙桂红;祝海生;郭爱云;黄乐 -专利权人：湘潭宏大真空设备有限公司
申请日： 2010-06-08 - 公布日： 2011-01-26 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：卧式真空镀膜机自动装、卸片机构，包括机架、第一基片架传送机构、第二基片架传送机构、第一基片传送机构、第二基片传送机构，在所述机架的一端设有所述第一基片传送机构，在所述机架另一端设有所述第一基片架传送机构；在所述机架内设有所述第二基片架传送机构；所述第二基片架传送机构中心设有矩形通孔；所述第一基片架传送机构、第二基片架传送机构、第一基片传送机构在高度方向位置相匹配；所述第二基片传送机构通过汽缸活塞与所述第二基片架传送机构固连并处于所述第二基片架传送机构下方本实用新型结构简单、运行可靠、自动化程度高、可自动精确装载及卸载基片；可实现工业化生产，适于与各种型号的卧式真空镀膜机配套使用。
卧式真空镀膜自动机构

[实用新型]一种玻璃镀膜用基片架-CN201420241835.1有效
发明人：张兵;王伟;徐昌华;邵家满 -专利权人：芜湖长信科技股份有限公司
申请日： 2014-05-12 - 公布日： 2014-10-29 - 主分类号： C03C17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种玻璃镀膜用基片架，包括基片架本体(1)，还包括可承载待加工玻璃的基片架内框(2)，基片架内框(2)由横杆(22)和纵杆(21)围合而成，基片架本体(1)设有安装口(12)，基片架内框(2)卡入安装口(12)并与基片架本体(1)可拆卸连接，结构简单、在频繁更换不同规格的玻璃时可以快速更换，提高生产效率，使玻璃镀膜质量稳定。
一种玻璃镀膜用基片架

[实用新型]一种圆形衬底基片镀膜基片架-CN202120064665.4有效
发明人：高奕恒;高昆钰;高璐;张睿欣;曹红霞 -专利权人：蒙锐（上海）光电科技有限公司
申请日： 2021-01-12 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种圆形衬底基片镀膜基片架，包括基片架本体，所述基片架本体上方四角均设有导向杆，所述基片架本体上方设有盖板，所述盖板上设有与导向杆相匹配的导向孔，所述基片架本体两侧端部均设有第一连接件，该种圆形衬底基片镀膜基片架，支撑结构可对基片进行支撑，同时在吸盘可对基片进行初步的固定，通过盖板可对基片进行进一步的固定，并通过第一连接件与第二连接件的相互配合，使基片架本体与盖板能够固定连接，该种基片架结构简单，操作方便，易于拆卸，能够同时对多个基片进行镀膜，大大提高了镀膜效率。
一种圆形衬底镀膜基片架

[发明专利]一种基片加热装置-CN201210084682.X有效
发明人：刁宏伟;王文静;赵雷;周春兰;李海玲 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2012-03-27 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：一种基片加热装置，包括箱体和基片载板加热架。所述的基片载板加热架安装在所述的箱体内。所述的基片载板加热架上有多个插槽。基片载板加热架安装在两条相对平行的导轨上，在水平方向上往复运动。需要加热的基片通过固定螺钉及基片载板插槽固定在基片载板上，再将基片载板插入基片载板加热架插槽中进行加热。本发明采用电加热方式加热，适用于对批次基片进行同时加热。
一种加热装置

[发明专利]一种基片样品架、掩模板及基片更换方法及蒸镀设备-CN201810263233.9在审
发明人：廖良生;黄稳;武启飞 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2018-03-28 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种基片样品架、掩模板及基片更换方法及蒸镀设备，属于OLED真空蒸镀装备领域。本发明的目的是解决现有装置设备复杂，工作效率低下的问题。本发明的基片样品架包括支撑架和基片架，通过在支撑架上设置一组凸台，使基片架下方可形成一用于掩模板架放入的操作空间，以便于快速更换掩模板。本发明还公开一种掩模板更换方法，首先将实际作业位置的掩模板架与基片架置于暂存位置；然后更换掩模板；最后将基片架与掩模板架重新对位并放置于实际作业位置。本发明还公开一种基片更换方法，首先将掩模板置于基片架上，再将基片从基片架上取出更换，再将掩模版与基片架重新对位，放置于作业位置。本发明可以应用于半导体器件的薄膜沉积等制程。
掩模板基片架基片更换基片样品作业位置蒸镀设备重新对位支撑架真空蒸镀装备半导体器件薄膜沉积操作空间工作效率快速更换现有装置掩模版放入凸台暂存制程取出应用

[实用新型]可精确定位基片架的真空室-CN201922072214.0有效
发明人：娄国明;来华杭;顾子莺;谢斌斌;周海龙;俞峰 -专利权人：浙江上方电子装备有限公司
申请日： 2019-11-26 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种可精确定位基片架的真空室，所述真空室的内部设置有基片架和输送基片架的轨道，真空室相对的两侧分别设置有供基片架进出真空室的入口和出口，所述基片架的行进路径上设置有第一传感组件，所述基片架具有至少两个对应所述第一传感组件的感应位，在基片架行进过程中，当所述第一传感组件检测到某感应位时，基片架减小行进速度或完全停止。本实用新型通过在基片架上设置多个感应位，传感组件依次检测到感应位，系统可以控制基片架逐渐减小行进速度，保证最终能平稳精确地停留在设置的位置，避免与翻板阀发生干涉。
精确定位基片架真空

[实用新型]一种镀膜生产线用的基片架存储机构-CN202122522697.7有效
发明人：程海军;李献伟 -专利权人：洛阳生波尔真空装备有限公司
申请日： 2021-10-20 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种镀膜生产线用的基片架存储机构，包括存储架、设于存储架的前后侧且用于承托基片架的支撑组件、设于存储架的顶部且用于供基片架抵靠并对其进行导向的上挡边导向装置以及设于存储架的下部且可驱动基片架沿Z轴和Y轴运动的传送装置，支撑组件上设有可供基片架的底侧卡入的卡槽，上挡边导向装置上设有可供基片架的顶侧抵靠并在基片架沿Y轴运动时对其进行导向的导向轮。传送装置可驱动基片架送入或送出存储架，上挡边导向装置的导向轮供基片架抵靠并对其进行导向，从而实现基片架的自动存储，本实用新型与镀膜生产线配合，可直接将基片架在生产线中运输，其结构简单，提高了整条镀膜生产线的自动化程度
一种镀膜生产线基片架存储机构

[发明专利]一种基片样品架、镀膜设备及控制方法-CN201910270659.1在审
发明人：廖良生;黄稳;武启飞;徐飞;张敬娣;赵平 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2019-04-04 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及OLED真空蒸镀装备技术领域，公开了一种基片样品架、镀膜设备及控制方法。所述基片样品架包括安装板；样品架单元，设置于所述安装板上，所述样品架单元包括用于承载基片的基片盘组件和用于承载掩膜板的掩膜架组件，所述掩膜架组件设置于所述基片盘组件的下方；基片盘升降驱动单元，设置于所述安装板上，所述基片盘升降驱动单元的输出端连接所述基片盘组件，所述基片盘升降驱动单元能够驱动所述基片盘组件下降或上升，以使所述基片与所述掩膜板对位贴合或分离；旋转单元，设置于所述安装板，所述旋转单元驱动所述样品架单元绕自身内轴转动
基片盘安装板升降驱动单元基片样品样品架镀膜设备旋转单元掩膜板掩膜架真空蒸镀装备输出端连接驱动承载基片镀膜效果对位贴合组件设置不均匀内轴蒸镀转动承载

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