[发明专利]用于ARC镀膜生产线的基片翻面设备在审
| 申请号： | 201911138349.0 | 申请日： | 2019-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN112824556A | 公开（公告）日： | 2021-05-21 |
| 发明（设计）人： | 祝海生;陈立;金诚明;凌云;孙桂红;梁红;黄国兴;黄乐 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙) 43262 | 代理人： | 安曼 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了用于ARC镀膜生产线的基片翻面设备，包括基片架、旋转底板、基片架底座、固定座和旋转电机，固定座固定在所述镀膜生产线的箱体内，旋转电机安装在固定座上，基片架位于旋转底板上，旋转电机连接并驱动旋转底板和基片架转动。本发明旋转底板和基片架底座同步旋转，带动基片架同步转动，实现基片架翻面的同时旋转平稳；基片架上设有多个基片区，可放置多个基片，充分利用基片架的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 arc 镀膜 生产线 基片翻面 设备 | ||
【主权项】：
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