专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]保护-CN201280011047.7在审
  • 筱原启彰 - 大自达电线股份有限公司
  • 2012-02-23 - 2013-11-27 - H05K3/34
  • 本发明提供一种保护,能够保护经过回流焊工序的基板,并且即使回流焊工序中受热,粘着力也不上升,良好地保持易于剥离性。保护具有粘贴于基板上的粘着层、金属层、及树脂层,在粘着层上,至少设置有上述金属层和上述树脂层。
  • 保护
  • [发明专利]保护剥离方法和保护剥离装置-CN201410597339.4在审
  • 奥野长平 - 日东电工株式会社
  • 2014-10-30 - 2015-05-06 - H01L21/683
  • 本发明提供保护剥离方法和保护剥离装置。利用刀具将宽度小于半导体晶圆的直径的带状的剥离切断成规定长度,利用第1粘贴辊将被切断成规定长度的剥离粘贴于保护的剥离开始端侧。之后,使越朝向顶端厚度越薄的剥离板的顶端与剥离保护相交叉地抵接,并且,在利用该剥离板将剥离折回后的状态下一边使晶圆和剥离板向相对地分离的方向水平移动一边将剥离卷取,由此,将保护从半导体晶圆剥离
  • 保护剥离方法装置
  • [发明专利]保护粘贴方法和保护粘贴装置-CN201510478365.X在审
  • 金岛安治 - 日东电工株式会社
  • 2015-08-06 - 2016-03-02 - H01L21/683
  • 本发明提供保护粘贴方法和保护粘贴装置。将保护粘贴于被载置在保持台上的半导体晶圆,一边使刺入保护的切刀沿着半导体晶圆的外形行进,一边对保护带进行切割。通过使检测器在切割工序中自切刀的后方追随该切刀而对保护的切割不良进行检查。在根据检查结果而检测出切割不良的情况下,对保护带进行再切割,之后,将被切下半导体晶圆的形状后的不要的保护剥离。
  • 保护粘贴方法装置
  • [发明专利]保护粘贴方法和保护粘贴装置-CN201610675658.1在审
  • 村山拓 - 日东电工株式会社
  • 2016-08-16 - 2017-03-08 - H01L21/67
  • 本发明提供一种保护粘贴方法和保护粘贴装置。在腔室内利用压力差将保护精度良好地粘贴于半导体晶圆。在构成腔室的成对的第1外壳和第2外壳中的一者的接合部粘贴比该腔室的内径大的保护。在由第1外壳和第2外壳的接合部夹着保护的状态下,一边使半导体晶圆与保护的粘合面接近并相对一边形成腔室,减压到预定的气压,利用按压构件按压保护而将保护粘贴于半导体晶圆的中央部分。之后,解除按压构件对保护的按压,一边使第2外壳的空间的气压比第1外壳的空间的气压低一边将保护从半导体晶圆的中心侧朝向外周呈放射状粘贴。
  • 保护粘贴方法装置
  • [发明专利]保护剥离方法和保护剥离装置-CN201210576008.3有效
  • 桥本淳;山本雅之 - 日东电工株式会社
  • 2012-12-26 - 2017-06-16 - H01L21/67
  • 本发明提供一种保护剥离方法和保护剥离装置。在保护剥离方法中,使剥离棒以与剥离的向粘贴面的宽度方向的倾斜相一致的方式摆动,并一边保持粘贴面与剥离棒的顶端平行的状态一边在粘贴于半导体晶圆的表面的保护带上粘贴剥离,利用剥离棒折回地剥离该剥离随着该剥离棒对剥离带进行的剥离动作而将保护与剥离一体地从半导体晶圆的表面剥离,连同该保护一起将剥离卷取在带回收部的卷取轴上。
  • 保护剥离方法装置
  • [发明专利]保护剥离方法和保护剥离装置-CN201310111302.1有效
  • 松下孝夫;方田真;长田典祥 - 日东电工株式会社
  • 2013-04-01 - 2017-07-25 - H01L21/683
  • 本发明提供一种保护剥离方法和保护剥离装置。将以短于晶圆的直径的规定间距供给的剥离以规定宽度粘贴于保护表面的剥离开始侧,在将剥离粘贴于保护的剥离开始侧后,一边使剥离返回到供给侧,一边将保护与剥离一体地从晶圆的表面剥离,在剥离工序中,将通过上次的剥离处理而粘贴于返回的剥离带上的保护的背面粘贴在作为剥离对象的保护带上的粘接带上,将剥离完成后的叠合的保护带向卷取方向送出,一边重复进行保护的剥离处理和将该保护叠合地粘贴的处理,一边进行卷取回收
  • 保护剥离方法装置
  • [发明专利]保护剥离方法以及保护剥离装置-CN201110059688.7有效
  • 久我正一 - 三菱电机株式会社
  • 2011-03-09 - 2011-10-05 - B32B38/10
  • 本发明的目的在于提供一种保护剥离方法以及保护剥离装置,即便是在保护未沿着晶片的外缘贴附的情况下,也能够容易地将保护从晶片上剥离。保护剥离方法具备:将以仅与缺口的一部分重合的方式贴附了保护的晶片放置在载台上的工序;将剥离用粘接贴附在该保护带上的工序;使提升销从该载台上突出,通过该提升销的上表面上推该缺口处的该保护的工序;以及在通过该提升销上推了该保护的状态下拉拽该剥离用粘接,将该保护从该晶片上剥离的工序。而且,该提升销的上表面形状是该提升销的上表面能够上推该缺口处的该保护的形状。
  • 保护剥离方法以及装置
  • [发明专利]保护剥离方法及保护剥离装置-CN200810212314.2有效
  • 山本雅之;宫本三郎 - 日东电工株式会社
  • 2008-09-08 - 2009-03-18 - H01L21/00
  • 本发明提供保护剥离方法及保护剥离装置。对粘贴于载置保持在剥离台上的晶圆的保护的表面高度进行检测,基于该检测信息算出使粘贴构件接近保护、直到使缠挂于粘贴构件的剥离接触到保护为止的动作量,以算出的动作量来控制粘贴构件接近保护的动作,在保持粘贴构件的高度的状态下,使粘贴构件和剥离台沿着保护面方向相对移动而将剥离粘贴于保护,并且,将剥离保护一体地自晶圆表面剥离。
  • 保护剥离方法装置
  • [发明专利]保护剥离方法和保护剥离装置-CN201310435244.8无效
  • 木内一之 - 日东电工株式会社
  • 2013-09-23 - 2014-03-26 - B32B38/10
  • 本发明提供保护剥离方法和保护剥离装置。在将附加设置有保护的半导体晶圆分割成芯片后,对借助粘合保持于环形框的该芯片进行加热,从而使芯片形状的保护沿同一轴向卷成筒状,而使该保护的局部自芯片剥离,然后使环形框与剥离构件向相对接近的方向平行移动,并且利用剥离构件从筒状的保护的侧方推压该筒状的保护的靠近粘接部位的部分,从而向与芯片的保持面交叉的外侧剥离去除该保护
  • 保护剥离方法装置

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