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[实用新型]高精度测量标尺-CN201020611115.1有效
发明人：胡勇;刘建飞 -专利权人：五冶集团上海有限公司
申请日： 2010-11-17 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： G01B5/24 文献下载
摘要：一种高精度测量标尺，用于测量设备安装中的水平度、垂直度及平行度，包括千分棍（1），磁力表座（2）和V型铁块（4），其特征在于：所述千分棍（1），设有若干长短不一的直段和千分头，所述千分头设有刻度，所述刻度的最小读数为本实用新型的高精度测量标尺具有对测量设备的大小没有限制以及操作简便，测量精度高，提高测量效率的优点。
高精度测量标尺

[发明专利]一种超高精度显微打磨深度标尺及其制备工艺-CN202010826232.8有效
发明人：肖彪;唐林 -专利权人：唐林
申请日： 2020-08-17 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： G01B5/18 文献下载
摘要：本发明所提供的超高精度显微打磨深度标尺可用于测量显微样品的打磨深度，用于加工双面平行度超高的薄板。超高精度显微打磨深度标尺的测量精度可达到纳米级。显微打磨深度标尺的结构主要包括三个部分：标尺板；上挡板；下挡板。标尺板的∠θ为斜面和标尺底面的夹角，cotθ是该斜面测量时的放大倍数，放大倍数可根据需求进行设计。超高精度显微打磨深度标尺的斜面带有固体涂层或镀层，以满足超高精度的测量要求。采用三个以上的标尺斜面测量时，可降低因打磨后出现的倾角而导致测量的误差，可测量样品打磨后样品表面任意一点的精确打磨深度。
一种超高精度显微打磨深度标尺及其制备工艺

[发明专利]一种高精度测量晶片纵向对准误差的方法-CN201510469864.2有效
发明人：宋旭波;冯志红;吕元杰;王元刚;顾国栋;谭鑫;徐鹏 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2015-08-04 - 公布日： 2017-12-12 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度测量晶片纵向对准误差的方法，涉及半导体器件与电路的制作方法技术领域。包括以下步骤1）在光刻版上纵向加工一排中心对齐的刻度线阵列作为光刻版测量标尺；2）在晶片上纵向加工一排中心对齐的刻度线阵列作为晶片测量标尺；3）通过移动晶片，调整晶片与光刻板的相对位置，使晶片测量标尺与光刻版测量标尺在视野中重叠或平行本发明通过对光刻版和晶片设置的测量标尺，高精度的读取了晶片相对于光刻版的偏差，误差精度取决于l1与l2的差值，其l1和l2相差不大于0.1，故实现对晶片纵向误差高精度的读取。
一种高精度测量晶片纵向对准误差方法

[发明专利]一种高精度测量晶片横向对准误差的方法-CN201510470083.5有效
发明人：宋旭波;冯志红;吕元杰;王元刚;顾国栋;谭鑫;徐鹏 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2015-08-04 - 公布日： 2017-12-19 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度测量晶片横向对准误差的方法，涉及半导体器件与电路的制作方法技术领域。包括以下步骤1）在光刻版上横向加工一排中心对齐的刻度线阵列作为光刻版测量标尺；2）在晶片上横向加工一排中心对齐的刻度线阵列作为晶片测量标尺；3）通过移动晶片，调整晶片与光刻板的相对位置，使晶片测量标尺与光刻版测量标尺在视野中重叠或平行本发明通过对光刻版和晶片设置的测量标尺，高精度的读取了晶片相对于光刻版的偏差，误差精度取决于l1与l2的差值，其l1和l2相差不大于0.1，故实现对晶片横向误差高精度的读取。
一种高精度测量晶片横向对准误差方法

[发明专利]高精度光刻套刻精度测量单元-CN202111134570.6在审
发明人：满博文;刘宏喜;陈文静;曹凯华;王戈飞 -专利权人：北京超弦存储器研究院
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种高精度光刻套刻精度测量单元及方法，测量单元包括在两个相邻层的对应位置设置纵向标尺和横向标尺，所述横向标尺包括呈横向均匀间隔排列的多个标记图形，所述纵向标尺包括呈纵向均匀间隔排列的多个标记图形，同行或者同列中选择其中一个标记图形作为基准刻度，不同层标记图形的图块间距的间距差值等于标尺的分辨率精度。方法包括采用上述高精度光刻套刻精度测量单元，观察两个相邻层的对应纵向标尺和横向标尺中完全重叠的标记图形相对于基准刻度的方向以及相差的标记图形数量，相差的标记图形数量与设计精度的乘积即为套刻误差。
高精度光刻精度测量单元

[实用新型]一种高精度植物株高测量装置-CN201620886999.9有效
发明人：胡宇;田福平;贺炯杰;路远;杨峰;朱新强;张茜;王春梅;张小甫;杨晓;贾鹏燕;黄泽;张静鸽;周恒 -专利权人：中国农业科学院兰州畜牧与兽药研究所
申请日： 2016-08-15 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： G01B5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高精度植物株高测量装置，包括竖直的标尺和电脑，标尺包括至少两个相邻的侧平面并均设在有相同的刻度，标尺一侧平面上连接有夹紧装置，标尺另一侧平面上设置有升降装置，升降装置上连接有微型相机本实用新型技术方案的一种高精度植物株高测量装置，可以实现单人完成操作，可以实现多次读数，可以实现信息的保存的反复查看，大大提高了测量效率和测量精度。
一种高精度植物测量装置

[发明专利]半锥体脚游标尺-CN201010601019.3无效
发明人：戴斌 -专利权人：四川川锅锅炉有限责任公司
申请日： 2010-12-23 - 公布日： 2011-06-01 - 主分类号： G01B3/20 文献下载
摘要：一种特别适用于测量两样冲眼中心之间距离的半锥体脚游标尺。它包括两大部分：主尺、游标尺。主尺和游标尺的爪脚为半圆锥体，通过主尺和游标尺两爪脚与样冲眼的高度吻合，从而大大的提高了测量精度，半锥体脚游标尺测量精度高、使用方便、读数简单明了，可以很好地满足高精度测量的需要。
锥体游标

[实用新型]一种高精度高度尺-CN201320690440.5有效
发明人：康春平 -专利权人：康春平;汉中宏峰量具有限责任公司
申请日： 2013-11-01 - 公布日： 2014-06-04 - 主分类号： G01B5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开的本实用新型的一种高精度高度尺，包括底座，底座上竖直分别设有计数齿条以及传动齿条，计数齿条以及传动齿条上分别设置有游标尺，游标尺上共同设置有机芯组件以及读数组件，机芯组件和计数齿条相啮合，机芯组件和读数组件相连，游标尺上靠近机芯组件的一侧设置有测量脚，游标尺的背面设置有手轮。本实用新型的一种高精度高度尺解决了现有的双立柱结构高度尺存在的测量精度不高、误差较大的缺点，本实用新型的一种高精度高度尺通过改变相互啮合的计数齿条和齿轮轴参数，提高了周期齿轮的传动计数精度和灵敏性，减少了回程误差，使得测量精度远远高于普通的高度尺。
一种高精度高度

[实用新型]锥体脚游标尺-CN201020170886.1无效
发明人：戴斌 -专利权人：戴斌
申请日： 2010-04-27 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： G01B3/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及量具技术领域，特别适用于测量两样冲眼中心之间距离的锥体脚游标尺。它包括两大部分：主尺(1)、游标尺(2)。主尺(1)和游标尺(2)的爪脚为圆锥体，通过主尺(1)和游标尺(2)两爪脚与样冲眼的高度吻合，从而大大的提高了测量精度，锥体脚游标尺测量精度高、使用方便、读数简单明了，可以很好地满足高精度测量的需要。
锥体游标

[发明专利]数字水准测量系统、方法、复合编码水准标尺及其生产方法-CN201210301985.2有效
发明人：邹涛 -专利权人：邹涛
申请日： 2012-08-22 - 公布日： 2012-12-19 - 主分类号： G01C5/00 文献下载
摘要：本发明涉及数字水准测量系统、方法、复合编码水准标尺及其生产方法，复合编码水准标尺的尺面上横向设有精码区和读数区，所述精码区内竖直方向设有间隔相等、大小相同且单列排布的标示圆，各标示圆的圆心距离标尺底面的位置可通过对应设置的读数区计算得到；本发明这种设置结构简单，易于实现，生产工艺中使用模板复制形式生产复合编码水准标尺可以使每支标尺具有高度一致性，从而可以采用对模板进行高精度标定，使用数学模型进行改正的方法保证高精度读数，同时简化生产工艺，降低成本；仪器系统可以满足国家一、二等水准测量标准；且高精度铟钢尺使用铟钢带作为基尺，配合高分辨率面阵CCD可达到0.01mm分辨率，大大提高了测量精度。
数字水准测量系统方法复合编码水准标尺及其生产

[实用新型]一种测量标尺的标定装置-CN202021538016.5有效
发明人：马国鹭;刘丽贤;张健平;何林 -专利权人：西南科技大学
申请日： 2020-07-29 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种测量标尺的标定装置，所述标定装置至少包括测量标尺、电子水准仪和调整装置，所述测量标尺固定连接于所述调整装置之上，并由电子水准仪的完成测量标尺的高度标识；其中，所述测量标尺竖直设置，且所述测量标尺为标准尺或待标定尺通过构建待标定尺与标准尺共同基准平面，由高度差实现测量标尺的标定。利用了电子水准仪本身以大地水平面为基准平面的特点，提供了一种装调方便、机构简单、标定精度高的测量标尺标定装置，实现测量标尺高精度标定的同时，使用方便，适用于同类型测量标尺的误差标定或测量特性研究。
一种测量标尺标定装置

[实用新型]一种高精度快速单轴手动长度测量装置-CN202022484852.6有效
发明人：卢祥锤;刘树平;卢根平;卢重阳;贺清胜 -专利权人：江西旭昇电子有限公司
申请日： 2020-10-30 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种高精度快速单轴手动长度测量装置，包括支座、设于所述支座的固定测量部、设于所述支座的直线导轨、与所述直线导轨滑动连接的活动测量部、设于所述支座一侧的光栅标尺、与所述光栅标尺滑动连接并与所述活动测量部连接的透射式红外光学测量头、及数显仪，所述活动测量部与所述固定测量部相对设置，所述透射式红外光学测量头与所述数显仪电连接。本实用新型提供的高精度快速单轴手动长度测量装置，具有测量精度高、操作简单、损耗小的特点。
一种高精度快速手动长度测量装置

[实用新型]一种高精度聚合物圆柱电池数显测试卡尺-CN202221697227.2有效
发明人：肖世玲;宋金涛;龙梅;刘宁;李岗;王开钰;陈日宇;万二威 -专利权人：惠州市纬世新能源有限公司
申请日： 2022-07-04 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G01B3/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种高精度聚合物圆柱电池数显测试卡尺，包括主尺、内测量爪、外测量爪和游标尺，所述游标尺为数显游标尺，所述数显游标尺上设有检测主尺中游标位移量的位移传感器和控制运算中心；所述内测量爪和外测量爪的接触壁上分别设有第一压力传感器和第二压力传感器，所述第一压力传感器、第二压力传感器和位移传感器分别与控制运算中心连接；所述数显游标尺上还设有限压调节模块，确保内测量爪或外测量爪上的压力在限压调节模块的限压范围内。本实用新型高精度聚合物圆柱电池数显测试卡尺具有构思巧妙、集成度高、测试精准等优点。
一种高精度聚合物圆柱电池测试卡尺

[实用新型]高精度耐用U型压力表-CN202120403714.2有效
发明人：陈小平;陈民标;莫正利 -专利权人：宁波旭日温压仪表有限公司
申请日： 2021-02-23 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： G01L7/20 文献下载
摘要：本实用新型高精度耐用U型压力表，包括壳体，以及设置在壳体内的U型管与测量标尺，所述的壳体上安装有调节件，所述的调节件部分伸入壳体内与测量标尺连接，所述的调节件可带动测量标尺移动。
高精度耐用压力表

[实用新型]一种高精度光具座-CN201520894846.4有效
发明人：吕佳恒 -专利权人：吕佳恒
申请日： 2015-11-07 - 公布日： 2016-05-18 - 主分类号： G09B23/22 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种高精度光具座，主要包括底座、支座、滑轨、光学器具以及标尺装置，底座上方两端固定设置支座，两个支座相对应的上部通过两根滑轨相连接，两根滑轨位于同一水平面上且相互平行，支座前部水平方向上连接有标尺装置，两根滑轨上活动连接有光学器具，标尺装置包括光栅标尺和光栅测量系统、测量座，光栅标尺安装在底座内部，光栅测量系统安装在测量座底部，本实用新型结构原理简单、使用方便，与现有技术相比，能够提高测量工作效率，同时采用的标尺装置能够大大的提高测量精度。
一种高精度光具座

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