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[发明专利]高精度光刻套刻精度测量单元-CN202111134570.6在审
发明人： 满博文;刘宏喜;陈文静;曹凯华;王戈飞 -专利权人：北京超弦存储器研究院
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种高精度光刻套刻精度测量单元及方法，测量单元包括在两个相邻层的对应位置设置纵向标尺和横向标尺，所述横向标尺包括呈横向均匀间隔排列的多个标记图形，所述纵向标尺包括呈纵向均匀间隔排列的多个标记图形，同行或者同列中选择其中一个标记图形作为基准刻度，不同层标记图形的图块间距的间距差值等于标尺的分辨率精度。方法包括采用上述高精度光刻套刻精度测量单元，观察两个相邻层的对应纵向标尺和横向标尺中完全重叠的标记图形相对于基准刻度的方向以及相差的标记图形数量，相差的标记图形数量与设计精度的乘积即为套刻误差。
高精度光刻精度测量单元

[实用新型]一种双肩带式安全带-CN202222926335.9有效
发明人：罗秋华;满博文;马庆山;金晶 -专利权人：南京理工大学紫金学院
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： B60R22/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双肩带式安全带，涉及到安全带技术领域，包括安装在座椅上的第二安全带、两个第一安全带、四个插座，所述第一安全带上套设有套壳，所述套壳上安装有将所述套壳限位在所述第一安全带上的限位部件。本实用新型通过设置第一安全带、束缚带、第二安全带、横带，孕妇在使用安全带时，通过两个第一安全带对双肩部进行限位，并通过倾斜佩戴两个束缚带对胸腔和肩部进行限位，在两个第一安全带和两个束缚带的作用下，将车辆行进过程中产生的冲击分散到两肩和胸腔位置，降低了车辆行经过程中产生的冲击对孕妇胸腔和一侧肩部的压强，减小孕妇胸腔和肩部位置处的受伤概率，提高了孕妇乘坐车辆的安全。
一种双肩安全带

[实用新型]一种折叠支架-CN202222932096.8有效
发明人：罗秋华;马庆山;满博文;金晶 -专利权人：南京理工大学紫金学院
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： B66F3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种折叠支架，涉及到支架技术领域，包括第一支撑板、底板，所述第一支撑板的两端分别转动套接有第一支撑杆、第二支撑杆，所述第一支撑杆、所述第二支撑杆均为弯杆，所述第一支撑杆远离所述第一支撑板的一端与所述底板靠近所述第一支撑杆的一端转动套接。本实用新型通过齐平摆放在卡丁车底部的两个第一支撑板、底板可降低本装置的支撑部分在使用前的总体高度，便于卡丁车的托举使用，通过对卡丁车车身的托举避免轮胎靠近地面的位置处长期受压向外膨胀，产生变形并导致卡丁车在后续的行驶过程中车身抖动，从而引起的卡丁车行驶过程中的控制难度增加，降低卡丁车的失控概率，保障卡丁车的使用安全性。
一种折叠支架

[发明专利]一种晶圆显影方法-CN202210624955.9在审
发明人： 满博文;刘宏喜;曹凯华;赵庆松;杨晓伟;任紫溦 -专利权人：致真存储（北京）科技有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆显影方法，涉及半导体技术领域，其中，所述晶圆显影方法包括：获取待显影晶圆，所述待显影晶圆表面上具有光刻胶；对所述待显影晶圆进行表面处理，使所述光刻胶变为湿润状态，得到表面处理后的湿润晶圆；对所述湿润晶圆进行显影，得到显影晶圆。通过上述方式，本发明在提高了显影均匀性的同时，降低了显影成本。
一种显影方法

[发明专利]一种晶圆曝光方法-CN202210638460.1在审
发明人： 满博文;刘宏喜;曹凯华;赵庆松;杨晓伟;任紫溦 -专利权人：致真存储（北京）科技有限公司
申请日： 2022-06-07 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆曝光方法，其中，所述晶圆曝光方法包括：获取待曝光晶圆，所述待曝光晶圆表面上具有图像光刻胶和多余光刻胶；遮挡所述待曝光晶圆的第一部分以及保留所述待曝光晶圆的第二部分，得到第一晶圆，其中，所述第一部分包括所述图像光刻胶的区域，所述第二部分均为所述多余光刻胶的区域；对所述第一晶圆进行曝光，得到第二晶圆；若所述第二晶圆中所述第一部分的光刻胶还包括部分所述多余光刻胶，将所述第二晶圆作为新的待曝光晶圆，重复执行遮挡所述待曝光晶圆的第一部分以及保留所述待曝光晶圆的第二部分的步骤，直到所述多余光刻胶全部被曝光，得到曝光晶圆。通过上述方式，本发明减少了曝光时长，降低了曝光成本。
一种曝光方法

[发明专利]一种可控制形状的小线宽圆或椭圆形器件及其制备方法-CN202111452105.7在审
发明人： 满博文;刘宏熹;赵庆松 -专利权人：致真存储（北京）科技有限公司
申请日： 2021-12-01 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明公布了一种可控制形状的小线宽圆或椭圆形器件的制备方法，包括：提供衬底材料层，所述衬底材料层表面有一层待刻蚀目标层；对待刻蚀目标层进行第一次刻蚀处理，光刻形成第一辅助图形层，并沉积第一阻挡层；然后去除该第一阻挡层，并腐蚀掉第一辅助图形层，形成第一侧墙层；用该第一侧墙层作为硬掩模刻蚀，形成第一目标层，去除第一侧墙层；对上述第一目标层进行相同的第二次刻蚀处理后，形成第二侧墙层；用该第二侧墙层作为硬掩模刻蚀，形成第二目标层，去除第二侧墙层；刻蚀第二目标层多余棱角，形成小线宽圆或椭圆形器件；第二侧墙层与第一目标层相互垂直形成90°夹角。本发明制备的小尺寸器件均匀性好、完整性高，且形状可控。
一种控制形状小线宽圆椭圆形器件及其制备方法

[发明专利]一种面向静止轨道卫星的气溶胶光学厚度反演方法-CN202111292731.4在审
发明人：郭蕾;刘英;王梦涵;满博文;余守志 -专利权人：航天科工海鹰集团有限公司
申请日： 2021-11-03 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： G06F16/583 文献下载
摘要：本发明公开了一种面向静止轨道卫星的气溶胶光学厚度反演方法，包括以下步骤：计算葵花8号卫星的各个波段反射光谱数据，基于USGS光谱库与地物光谱数据，通过卷积计算方法，建立起不同地区的光谱数据库；通过对地物光谱库在AHI传感器、MODIS传感器的蓝波段反射率进行拟合，可以得到AHI传感器蓝波段和MODIS传感器蓝波段的波谱转换函数：y＝0.9979606x+0.0001084，其中y为AHI传感器蓝波段值，x为MODIS传感器蓝波段值；利用波谱转换函数，计算得到AHI传感器的地表反射率数据库；通过对整个图像图谱构建对应的特征数据库，依次增加整个测定过程中的准确度，同时通过数据库的建立，能够有效的对后续的图像图谱修正提供便利性。
一种面向静止轨道卫星气溶胶光学厚度反演方法

[发明专利]智能限电器-CN201810686951.7在审
发明人：王志强;满博文;王浩;党超峰;杨党强;林星星 -专利权人：上海电机学院
申请日： 2018-06-28 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： H02H3/42 文献下载
摘要：一种智能限电器，该限电器包括采样电路具有一个模拟信号输入，一个控制信号输入和一个模拟信号输出，采样电路是由四个稳压二极管、八个电容以及三个三端稳压管一个3P接线端子组成，转换电路包括直流转换电路和AD转换电路，直流转换电路将幅值固定的直流电压变换成幅值和极性为可变的直流电压的变换电路，AD转换电路把模拟信号转换成数字信号，将模拟量转变为数字量，在A/D转换前，输入到A/D转换器的输入信号必须经传感器把物理量转换成电压信号。
直流转换电路智能限电器采样电路直流电压控制信号输入模拟信号输出模拟信号转换三端稳压管稳压二极管物理量转换变换电路电压信号接线端子经传感器模拟信号数字信号转换电路电容固定的可变的模拟量数字量限电器

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