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[实用新型]靶材组件-CN202121968838.1有效
发明人：山田浩;林智行;广田二郎;中村晃;大岩一彦;姚科科 -专利权人：浙江最成半导体科技有限公司
申请日： 2021-08-20 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材组件，包括：靶材和背板，背板设置于靶材的外围，靶材的溅射面相对于背板的前端表面凸出。本实用新型中的靶材组件及其制作方法，通过将背板设置于靶材的外围，由于背板没有在靶材的背面进行占位，溅射范围的厚度全部由靶材构成，所以间接使得靶材自身可以设置更厚的厚度，延长了靶材自身的使用寿命，因此与以往产品相比，能够将综合功率延长至寿命末期，实现靶材组件的长寿命化。
组件

[发明专利]靶材组件-CN201810476911.X有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;余贵阳 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2018-05-17 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种靶材组件，属于机械加工领域。所述靶材组件包括：靶材以及托盘，所述托盘用于承载所述靶材，所述托盘上设置有凹槽，所述凹槽用于放置垫圈，所述垫圈用于使得所述靶材与所述托盘之间形成密封，从而在靶材与托盘之间放置垫圈，使得托盘与靶材之间形成密封，因此，避免了靶材与托盘之间的摩擦而造成靶材划伤及磕伤的问题。
组件

[实用新型]靶材组件-CN201320616531.4有效
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2013-09-30 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：种靶材组件，应用于磁控溅射，包括：靶材和背板，所述靶材和背板无间隙贴合；所述靶材由靶材坯料拼接而成，至少有两个靶材坯料的厚度不同，所述靶材包括与背板贴合的第一贴合面、与第一贴合面相对的第一表面，所述第一表面为平面；所述背板包括与所述靶材贴合的第二贴合面，与所述第二贴和面相对的第二表面，所述第二表面为平面，所述第一表面与第二表面平行。采用本实用新型的靶材组件，在制作靶材组件的过程中，可以节省靶材坯料的原料。
组件

[实用新型]靶材组件-CN201320618768.6有效
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;袁倩靖 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2013-09-30 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：种靶材组件，包括：背板，具有第一凹槽；靶材，与第一凹槽底面焊接连接，靶材侧壁与第一凹槽侧壁形成第二凹槽，所述第二凹槽为环形凹槽；靶材溅射面边缘和高于第一凹槽侧壁的靶材侧壁具有滚花图案；所述第一凹槽侧壁、第二凹槽底面、与第一凹槽侧壁等高的靶材侧壁具有喷丸图案。本实用新型的靶材组件减小了高真空腔室内异常放电的情况，在硅片上能够形成均匀性好的膜层，提高半导体器件的性能。
组件

[发明专利]靶材组件-CN201810731551.3在审
发明人：李静雅;白洋;孙良成;刘小鱼;娄树普;李慧;鲁飞;刘树峰;王峰;成宇;李德辉 -专利权人：包头稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
申请日： 2018-07-05 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种靶材组件，包括：靶体盖圈、中心靶体、冷却背板，靶体盖圈在中部设置有开口，在内侧设置有腔室；中心靶体设置在腔室内，靶体盖圈的底部固定在冷却背板上；中心靶体的底面与靶体盖圈的底面位于同一个平面；中心靶体位于开口的上平面与上端面构成溅射面。本发明能够改善溅射强烈区域靶材消耗过快的情况，解决了现有技术中靶材利用率低以及溅射不均匀的问题。
靶体盖圈靶材组件冷却背板底面溅射开口靶材利用率不均匀溅射面上端面上平面靶材腔室室内消耗

[实用新型]靶材组件-CN201821066896.3有效
发明人：李静雅;白洋;孙良成;刘小鱼;娄树普;鲁飞;李慧;刘树峰;王峰;成宇;李德辉 -专利权人：包头稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
申请日： 2018-07-05 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材组件，包括：靶体盖圈、中心靶体、冷却背板，靶体盖圈在中部设置有开口，在内侧设置有腔室；中心靶体设置在腔室内，靶体盖圈的底部固定在冷却背板上；中心靶体的底面与靶体盖圈的底面位于同一个平面；中心靶体位于开口的上平面与上端面构成溅射面。本实用新型能够改善溅射强烈区域靶材消耗过快的情况，解决了现有技术中靶材利用率低以及溅射不均匀的问题。
靶体盖圈本实用新型靶材组件冷却背板底面溅射开口靶材利用率不均匀溅射面上端面上平面靶材腔室室内消耗

[发明专利]物理气相沉积靶材组件-CN202080009371.X在审
发明人：肖文;桑杰·巴特;刘树围;维布什·金达尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-01-24 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：披露了物理气相沉积靶材组件、包括靶材组件的PVD腔室和使用所述靶材组件制造EUV掩模坯料的方法。靶材组件包括：相邻于靶材并围绕靶材的周边边缘的靶材屏蔽件，靶材屏蔽件包括绝缘材料；和非绝缘外周边装置夹，用于将靶材屏蔽件固定至所述组件。
物理沉积组件

[实用新型]一种可提高靶材利用率的靶座-CN201520217063.2有效
发明人：刘林;檀玉珩 -专利权人：山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2015-04-13 - 公布日： 2015-08-12 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种可提高靶材利用率的靶座。一种可提高靶材利用率的靶座，包括：靶材；导电膜层，位于靶材下方；靶材背板，其上表面设置导电膜层；靶材冷却层，设于靶材背板下方；靶材磁场层，设于靶材冷却层下方；靶材基座，设于靶材磁场层下方；陶瓷组件，包括陶瓷组件正极、陶瓷组件负极和陶瓷密封焊接件，所述陶瓷组件正极和陶瓷组件负极贯穿靶材背板、靶材冷却层、靶材磁场层、靶材基座设置，所述导电膜层和靶材背板通过陶瓷密封焊接件连接。本一种可提高靶材利用率的靶座，可提高该靶材的使用寿命，当该靶材使用寿命耗尽的时候，靶材上所剩的材料也不是太多，从而避免了靶材材料的浪费，节约了成本，实现靶材利用的最大值。
一种提高利用率

[发明专利]一种靶材边料切割辅助装置及其运行方法-CN202310512667.9在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈琛 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B23Q15/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材边料切割辅助装置及其运行方法，所述靶材边料切割辅助装置包括靶材旋转组件，及所述靶材旋转组件的顶部设置的靶材固定组件，所述靶材旋转组件用于控制待切割靶材转动，所述靶材固定组件用于固定与松开待切割靶材本发明提供的靶材边料切割辅助装置通过设置靶材旋转组件来实现待切割靶材的旋转，设置靶材固定组件来实现待切割靶材的固定与松开，从而辅助外部的辅助切割装置实现了待切割靶材的自动化切割，减小了待切割靶材的切割时间，降低了切割的成本，提升了切割的效率；同时，所述靶材边料切割辅助装置还具有结构简单及使用成本较低的优点，适用于大规模推广使用。
一种靶材边料切割辅助装置及其运行方法

[发明专利]靶材组件及其制造方法-CN201710669867.X在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;刘霞;昝小磊 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-08-08 - 公布日： 2019-02-26 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种靶材组件及其制造方法，制造方法包括：提供靶材、以及与靶材实现焊接结合的背板，形成靶材组件，靶材厚度占靶材组件厚度的比例至少为60％。本发明靶材厚度占靶材组件厚度的比例至少为60％，与所占比例较小的方案相比，能够在保持靶材组件厚度不变的情况下增加靶材的厚度，使得靶材能够用于溅射的材料相应增多，从而有效延长靶材组件的使用寿命，进而有效地减少更换靶材组件的频率，有利于工艺效率的提高、工艺成本的降低；同时，由于能够使靶材组件厚度保持不变，因此溅射机台无需对靶材与待成膜产品(例如：晶圆)的间距进行调整，从而避免对靶材组件的初期溅射速率和成膜均匀性起到不良。
靶材组件靶材对靶溅射制造成膜均匀性有效地减少机台工艺成本工艺效率使用寿命背板成膜晶圆焊接

[发明专利]靶材组件的焊接方法-CN201310754923.1在审
发明人：姚力军;赵凯;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;李超 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： B23K20/26 文献下载
摘要：一种靶材组件的焊接方法，包括以下步骤提供至少两个靶材组件坯料，每个所述靶材组件坯料包括背板和设置于背板凹槽内的靶材；将所述至少两个靶材组件坯料叠放至真空包套内，相邻的靶材组件坯料之间具有隔离片；将所述真空包套放入热等静压炉，利用热等静压工艺将每个靶材组件坯料中的靶材与背板进行焊接，形成至少两个靶材组件；所述焊接完成后，对真空包套进行冷却，去除包套和隔离片，取出至少两个靶材组件。采用本发明的方法能够实现在一个包套内实现两个靶材组件坯料中的各自的靶材与背板之间的焊接，从而形成至少两个靶材组件。进而提高了靶材组件的焊接效率。
组件焊接方法

[发明专利]靶材组件的制作方法和靶材组件-CN201310465244.2有效
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;杨广 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2013-09-30 - 公布日： 2017-07-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种靶材组件的制作方法和靶材组件，其中靶材组件的制作方法，包括提供第一靶材组件坯料，所述第一靶材组件坯料包括背板和固定在背板上的靶材；对所述第一靶材组件坯料进行第一机械加工，形成第二靶材组件坯料，所述第二靶材组件坯料的背板表面光滑；对所述第二靶材组件坯料的背板表面进行氧化处理，在所述背板的表面形成氧化膜；对所述氧化处理后的第二靶材组件坯料进行第一清洗，形成靶材组件。采用本发明的制作方法形成的靶材组件在基片上形成的膜层质量较高、磁控溅镀工艺的成本比较低，而且安装该靶材组件的溅射机台也不会被污染。
组件制作方法

[发明专利]磁控溅射组合装置及设备-CN202311114259.4在审
发明人：何锦华;王兢;梁超;秦福林;梁月 -专利权人：江苏博睿光电股份有限公司;博睿光电(马鞍山)有限公司
申请日： 2023-08-31 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本公开的实施例提供一种磁控溅射组合装置及设备，所述磁控溅射组合装置包括柱状靶材组件和至少一个平面靶材组件；所述柱状靶材组件包括设有中空腔室的旋转靶材以及分设于所述中空腔室内的多个第一磁体；所述平面靶材组件包括两边侧分别设有容置腔室的固定靶材以及设于所述容置腔室内的第二磁体；其中，所述平面靶材组件沿所述柱状靶材组件的周向设置，所述固定靶材的溅射面与所述旋转靶材的溅射面相对应。通过所设置的柱状靶材组件和平面靶材组件的组合利用，能够有效提高靶材利用率以及产品两面镀膜速率。
磁控溅射组合装置设备

[发明专利]靶材组件及其制造方法-CN201811319205.0在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;廖培君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2018-11-07 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种靶材组件及其制造方法，制造方法包括：提供靶材和背板，所述靶材具有靶材焊接面，所述背板具有背板焊接面；在所述靶材焊接面或所述背板焊接面上形成螺纹；形成所述螺纹后，将所述靶材焊接面与所述背板焊接面相贴合设置形成初始组件；对所述初始组件进行焊接处理，以获得靶材组件。利用所述制造方法形成的所述靶材组件中，所述靶材与所述背板贴合紧密，能够避免在所述靶材焊接面及所述背板焊接面间形成缝隙，有助于提高所述靶材组件的焊接质量。
组件及其制造方法

[发明专利]靶材与背板的焊接方法-CN201110029201.0无效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈勇军 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2011-01-26 - 公布日： 2011-07-27 - 主分类号： B23K1/002 文献下载
摘要：一种靶材与背板的焊接方法，包括：提供靶材与背板；在所述靶材和背板的焊接面添加焊料，并将所述靶材与所述背板配合；将配合后的所述靶材和背板放置于线圈中；向所述线圈施加电流，对所述配合后的靶材和背板进行感应加热，焊接成靶材组件；冷却所述靶材组件。本发明能对靶材、背板以及焊料快速加热以完成靶材与背板的钎焊形成靶材组件，从而能够提高生产效率，实现对所述靶材组件的大批量生产。
背板焊接方法

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