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[发明专利]一种铝靶材组件及降低铝靶材组件中背板变形的焊接方法-CN202010501365.8在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;赵梓聿 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-06-04 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种铝靶材组件及降低铝靶材组件中背板变形的焊接方法，所述焊接方法包括：提供铝靶材和铝背板；所述铝背板为锻打后铝背板依次经热处理和酸洗干燥后得到的背板；将铝靶材和得到的铝背板进行装配并放入包套中，之后依次进行抽真空、脱气及热等静压处理，得到所述铝靶材组件。本发明提供的焊接方法，通过对焊接前背板的热处理和酸洗，结合后续的焊接工艺，使得背板的硬度为100‑130HV，电导率为25‑28MS/m，解决了铝靶材组件在使用过程中背板变形的问题。
一种铝靶材组件降低背板变形焊接方法

[发明专利]X射线自聚焦射线源及其使用方法-CN201810614623.6在审
发明人：宋世鹏 -专利权人：宋世鹏
申请日： 2018-06-14 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： A61N5/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种X射线自聚焦射线源，包括高能电子束发生装置、若干个串联排布的偏转组件、靶材组件以及带有若干准直孔的准直器组件，若干个所述偏转组件连接有用于控制所述偏转组件开关的控制组件，所述偏转组件用于偏转高能电子束的方向使其作用于所述靶材组件，所述靶材组件包括有若干个与所述偏转组件相配合的靶材，若干个所述靶材呈圆弧形或直线分布，且具有一聚焦点。
偏转组件靶材组件射线源自聚焦高能电子束靶材偏转准直器组件发生装置控制组件直线分布治疗效果聚焦点圆弧形准直孔排布串联配合

[实用新型]一种靶材喷砂装置-CN202220895138.2有效
发明人：黄金龙;鲁晓超 -专利权人：江西中锡金属材料有限公司
申请日： 2022-04-19 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B24C3/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种靶材喷砂装置，涉及喷砂技术领域，包括喷砂箱，设置于喷砂箱内部的工作台，喷砂箱顶部连接有储砂箱，喷砂箱一侧设置有控制面板，设置于工作台顶部的用于夹持靶材的固定组件，及设置于储砂箱内部用于避免砂料成块的搅拌组件该种靶材喷砂装置通过设置有固定组件，使得将靶材放置在工作台顶部时，可以通过固定组件将靶材夹持固定在工作台顶部，从而避免靶材在喷砂时出现移动，且设置有搅拌组件在储砂箱内部，使得搅拌组件对储砂箱内部的砂料进行搅拌
一种喷砂装置

[实用新型]一种适用于不同尺寸靶材的打磨装置-CN202320791267.1有效
发明人：孔伟华;张开勇;黄国祥 -专利权人：江苏迪纳科精细材料股份有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： B24B19/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种适用于不同尺寸靶材的打磨装置，属于靶材加工技术领域，包括承托板，所述承托板的上端固定连接有固定柱和两个支撑柱，所述固定柱上设置有升降组件，所述升降组件上固定连接有放置块一，所述放置块一上设置有移动组件一，所述移动组件一上设置有移动组件二，所述支撑柱上设置有固定组件。本实用新型解决了现有的靶材打磨装置无法根据待加工靶材的不同高度对打磨头的位置进行自动调整，操作不便，且该装置不便于对不同尺寸的靶材进行夹持固定，降低了靶材的打磨效率，实用性大大降低的问题。
一种适用于不同尺寸打磨装置

[实用新型]一种中空的靶材组件-CN201420578091.2有效
发明人：林杰;刘惠英 -专利权人：福建省诺希新材料科技有限公司
申请日： 2014-09-30 - 公布日： 2015-04-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种中空的靶材组件，包括靶材和背板，所述靶材在背板上，所述靶材的中部设有通槽，通槽的两端分别向靶材长度方向的两端延伸。本实用新型在靶材不损耗材质的部位设置通槽，这样可以节省靶材的用量，降低了生产成本。另外，本实用新型结构简单，生产方便，容易实施。
一种中空组件

[发明专利]一种铝靶材组件的摩擦扩散焊方法-CN201711148895.3有效
发明人：张青科;胡方勤;宋振纶;郑必长;丁雪峰;姜建军 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2017-11-17 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： B23K20/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种铝靶材组件的摩擦扩散焊方法，包括以下步骤：步骤1：对铝靶材和铝背板的待焊接面进行机械打磨及清洗处理；步骤2：将步骤1处理后的铝靶材和铝背板通过夹具固定使两者的待焊接面相对布置，通过驱动夹具使铝靶材和铝背板的待焊接面相互靠拢，并且在靠拢过程中至少一个进行旋转，在铝背板和铝靶材接触后，增加压强至0.5MPa～2.0MPa保持5s～25s后完成初步摩擦焊接；步骤3；将步骤2完成初步摩擦焊接的铝靶材组件置于轴向加压扩散焊炉内，抽真空，加热并轴向加压直至完成焊接；步骤4：冷却步骤3处理后的铝靶材组件；本发明解决了铝靶材组件直接扩散焊对环境条件要求高、焊缝易出现缺陷的问题。
一种铝靶材组件摩擦扩散方法

[发明专利]一种ITO靶材的圆角加工方法-CN202210245382.9在审
发明人：王梓通;裴炜炀;余芳;李伦圭;康洙男;刘毅华 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2022-03-13 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： B24B9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种ITO靶材的圆角加工方法，旨在降低夹紧靶材时的操作难度，其技术方案：涉及磨床、电磁吸盘以及夹紧组件，所述电磁吸盘设置在磨床上；所述夹紧组件包括2个夹块，2个所述夹块相对布置且两者之间形成夹紧空间；所述夹块可被电磁吸盘吸紧；2个所述夹块均连接有一弹性装置；包括如下步骤：将靶材插入夹紧空间，夹紧空间被撑开，弹性装置驱动夹块复位夹紧靶材；开启电磁吸盘，电磁吸盘吸紧2个夹块；开启磨床，磨床的砂轮打磨靶材的顶侧；打磨完靶材后，关闭磨床、电磁吸盘，取下靶材，属于靶材加工技术领域。
一种 ito 加工方法

[发明专利]铝靶材坯料与铝合金背板的焊接方法-CN200910135315.6无效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈勇军;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-04-17 - 公布日： 2009-10-28 - 主分类号： B23K20/14 文献下载
摘要：一种铝靶材坯料与铝合金背板的焊接方法，包括：提供铝靶材坯料和铝合金背板；将铝靶材坯料和铝合金背板放置入真空包套送入焊接设备；采用热等静压工艺进行扩散焊接，将铝靶材坯料焊接至铝合金背板形成靶材组件；完成焊接后，进行空冷并拆除真空包套取出靶材组件。本发明采用真空套包实现靶材与背板与空气隔绝，有效防止焊接时金属表面被氧化，并降低了真空设备成本；另一方面，利用热等静压工艺进行扩散焊接，进一步地提高铝靶材坯料与铝合金背板之间的结合强度，且结合后弯曲变形小
铝靶材坯料铝合金背板焊接方法

[实用新型]靶材的包装组件-CN201921327240.7有效
发明人：王英洁;朱刘;文崇斌;胡智向;谭继军 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2019-08-15 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： B65D6/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及靶材设备领域，具体涉及了一种靶材的包装组件，第一护套的第一承托槽和第二护套的第二承托槽构成了用于容纳靶材的容纳腔，相较于现有技术中采用缓冲物随意地包裹靶材，该包装组件能够提升其缓冲性能的稳定性，第二护套上的穿绳槽连通于第二护套的外侧壁，且穿绳槽与第二承托槽相连通，操作人员可在不抬起靶材的情况下直接将吊带穿过穿绳槽，即可将吊带卷绕于靶材，吊带起吊时可直接将靶材吊离第二护套，确保靶材始终处于可控的状态
包装组件

[发明专利]物理气相沉积处理系统的靶材冷却-CN201880007540.9有效
发明人：王伟;卡尔蒂克·萨哈;维希瓦·库马尔·帕迪 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-01-16 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：公开物理气相沉积靶材组件和冷却物理气相沉积靶材的方法。示例性靶材组件包括流动图案，流动图案包含流体地连接至入口端和出口端的多个列和弯曲部。
物理沉积处理系统冷却

[实用新型]一种新型的靶材邦定机构-CN201922140925.7有效
发明人：胡茂横;张剑华;冯群 -专利权人：深圳恒泰克科技有限公司
申请日： 2019-12-03 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开一种新型的靶材邦定机构，包括一具有加热与冷却的组件、设置该组件内的一靶材机构、与该组件配合且设置在靶材机构内的一芯杆加热器、以及与芯杆加热器连接的一驱动机构。本实用新型采用靶材及靶筒相对固定，而具有加热与冷却的组件能控制冷却与加热的切换，使得靶材一次冷态安装就可以完成邦定过程，并且大大降低了对邦定车间厂房高度的要求；如此，对近4米的靶材，只需约8米多的厂房就可以工作降低厂房高度要求
一种新型靶材邦定机构

[发明专利]溅射系统、可转动筒状靶材组件、衬管、靶材元件和冷却罩-CN201080031619.9无效
发明人：法兰克·施纳朋伯格;罗纳德·韦伯;乔格·克尔帕尔-汉斯;安珂·海尔弥茨 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2010-07-06 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： H01J37/34 文献下载
摘要：本发明涉及靶材衬管，其用于可转动筒状靶材组件(120)，并包括：管道(122a)，至少一个靶材元件(126a)围绕管道布置，其中，管道具有适于面对至少一个靶材元件的外表面，其中，管道的外表面的一部分具有此外，本发明涉及冷却罩，其用于包含可转动靶材的溅射系统，并具有内表面和外表面，所述内表面适于面对溅射系统的靶材元件，其中，冷却罩的内表面的一部分具有0.7至1的平均发射率，其中，所述一部分占冷却罩的内表面的至少此外，本发明涉及靶材元件，其用于溅射系统的可转动筒状靶材组件，其中，靶材元件具有内表面和外表面，所述内表面适于面对靶材衬管，在所述靶材衬管上适于布置靶材筒，其中，靶材元件的内表面的一部分具有0.7至1的平均发射率，其中，所述一部分占靶材元件的内表面的至少50％。
溅射系统转动筒状靶材组件元件冷却

[实用新型]一种靶材打磨用的夹具-CN201822152517.9有效
发明人：张扬;卢建栋 -专利权人：东曹（上海）电子材料有限公司
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： B24B41/06 文献下载
摘要：本实用新型公开一种靶材打磨用的夹具，涉及夹具技术领域，可拆卸安装于底板上，其包括横板，靶材位于横板与底板之间，横板的底面与底板平行，且横板沿底板的长度方向延伸，该夹具还包括使横板与靶材抵紧的压力组件，压力组件设置有若干并位于横板的同侧，压力组件沿底板的长度方向间隔分布。本实用新型通过减少靶材倾斜的概率，以降低靶材尺寸的不良率。
底板靶材横板夹具压力组件本实用新型打磨长度方向间隔长度方向延伸夹具技术领域可拆卸安装不良率抵紧底面同侧平行概率

[实用新型]一种用于薄膜太阳能电池的钼钠合金靶材的抛光设备-CN202221573245.X有效
发明人：陈箫箫 -专利权人：亚芯半导体材料（江苏）有限公司;亚芯电子科技（常州）有限公司
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于薄膜太阳能电池的钼钠合金靶材的抛光设备，涉及合金靶材技术领域。本实用新型包括工作台、夹持组件和抛光组件，工作台上滑动设置有对称的两夹持组件；工作台上滑动设置有抛光组件。本实用新型通过抽气管和连通在放置板顶部的若干真空吸盘对钼钠合金靶材进行吸附定位，以及夹臂一端固定的弧形橡胶垫缓慢的与钼钠合金靶材的周侧面进行夹持固定，实现了对不同大小的钼钠合金靶材的进一步地夹持定位，防止其在进行抛光的过程中发生偏移，影响抛光效果；通过抛光组件在升降滑槽内的上下滑动，等到抛光打磨盘与钼钠合金靶材的打磨面相互接触后，通过打磨组件进行抛光操作，实现了对不同厚度的钼钠合金靶材的抛光操作。
一种用于薄膜太阳能电池合金抛光设备

[实用新型]一种靶材背板及钛靶材组件-CN202021266042.7有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;袁波 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-07-01 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供一种靶材背板及钛靶材组件，所述靶材背板包括背板焊接面和与所述背板焊10接面相背的背板冷却面；所述背板冷却面设置有以靶材背板的圆心为中心呈中心对称分布的至少两个螺旋水槽；所述螺旋水槽的槽宽为9～10mm；通过上述结构和尺寸设计，能够较好地解决现有平面的靶材背板面带来的冷却效果不佳的问题，尤其适用于200mm MPC钛靶材组件中，克服了靶材在磁控溅射物理气相沉积过程中开裂的缺陷。
一种背板钛靶材组件