专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果110178个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]异物除去装置和异物除去方法-CN200910254050.1有效
  • 近藤昌树;新藤健弘 - 东京毅力科创株式会社
  • 2009-12-15 - 2010-06-23 - H01L21/00
  • 本发明提供异物除去装置和异物除去方法。异物除去方法,能使向被处理基板的热量输入适当而消除不必要的加热、消除多余的处理从而缩短处理时间。该异物除去方法包括:测定用激光照射步骤,对被处理基板照射外径尺寸测定用的激光;输出检测步骤,使在测定用的激光中除被基板的端部遮挡的激光外余下的激光受光并检测激光的输出;旋转角检测步骤,检测旋转的基板的旋转角基于由输出检测步骤检测出的数据和由旋转角检测步骤检测出的数据计算基板的外径尺寸;分解步骤,基于算出的外径尺寸,从基板外周端对规定范围基板表面,照射照射截面为矩形的异物清洗用激光,喷射与异物反应的处理气体,分解、除去附着于规定范围的基板表面的异物
  • 异物除去装置方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top