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[发明专利]一种矩形平面磁控溅射阴极-CN201310379659.8无效
发明人：彭寿;葛承全;张超群;井治;张仰平;李险峰 -专利权人：中国建材国际工程集团有限公司
申请日： 2013-08-27 - 公布日： 2014-02-26 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及磁控溅射镀膜生产设备技术领域，具体来说是一种矩形平面磁控溅射阴极，包括中靶材压条、中压条、边靶材压条、边压条、背板、冷却板、阴极座、支撑块、磁轭、中立柱、中磁铁、中磁靴、边磁铁、边磁靴和靶材，其特征在于阴极座为不导磁的不锈钢材料，阴极座内设有磁轭，磁轭为高导磁材料并通过螺栓和阴极座固定在一起，磁轭上设有磁铁组件，阴极座宽度大于两侧边磁铁的总跨度，靶材的总跨度大于边磁铁的总跨度。本发明同现有技术相比，将靶材第一次安装后，经过溅射，刻蚀区域位于靶材的一侧，然后将靶材水平旋转180°再重新安装在阴极上，进行第二次溅射，使两次的刻蚀区域恰好连接成一个较大的刻蚀区域，从而提高靶材的利用率
一种矩形平面磁控溅射阴极

[实用新型]一种矩形平面磁控溅射阴极-CN201320527309.7有效
发明人：彭寿;葛承全;张超群;井治;张仰平;李险峰 -专利权人：中国建材国际工程集团有限公司
申请日： 2013-08-27 - 公布日： 2014-03-05 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及磁控溅射镀膜生产设备技术领域，具体来说是一种矩形平面磁控溅射阴极，包括中靶材压条、中压条、边靶材压条、边压条、背板、冷却板、阴极座、支撑块、磁轭、中立柱、中磁铁、中磁靴、边磁铁、边磁靴和靶材，其特征在于阴极座为不导磁的不锈钢材料，阴极座内设有磁轭，磁轭为高导磁材料并通过螺栓和阴极座固定在一起，磁轭上设有磁铁组件，阴极座宽度大于两侧边磁铁的总跨度，靶材的总跨度大于边磁铁的总跨度。本实用新型同现有技术相比，靶材一次安装后，经过溅射，刻蚀区域位于靶材的一侧，然后将靶材水平旋转180°再重新安装在阴极上，进行第二次溅射，使两次的刻蚀区域连接成一个较大的刻蚀区域，从而提高靶材的利用率。
一种矩形平面磁控溅射阴极

[实用新型]靶材移动机构-CN202221795291.4有效
发明人：曹时义;王俊锋;许伟 -专利权人：广东鼎泰高科技术股份有限公司
申请日： 2022-07-12 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开一种靶材移动机构，包括中空的阳极筒以及安装于所述阳极筒一端的基座，所述基座上滑动安装有阴极杆，所述阴极杆的一端穿设所述基座并延伸进阳极筒的内侧，所述阴极杆的一端还安装有所述靶材，所述阴极杆的另一端位于阳极筒的外侧，所述基座上还设有真空密封装置，所述阴极杆穿设于真空密封装置以实现阴极杆与基座之间滑动密封连接。本实用新型通过在基座上设置真空密封装置，使得靶材可以沿着阴极杆的轴向运动或旋转运动，以调节靶材在阳极筒中的位置，确保最佳烧蚀位点，实现靶材烧蚀的时时稳定；另外，通过灵活调节阴极靶材位置，避免弧斑出现异常烧蚀、阴极异常放电，元器件烧损，从而提高涂层设备安全性，涂层的品质有保障。
移动机构

[发明专利]一种多弧离子镀引弧装置-CN202011564072.0有效
发明人：胡方勤;宋振纶;郑必长;许赪 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种多弧离子镀引弧装置，包括驱动组件和一个或多个引弧单元，所述引弧单元包括引弧针、阴极靶材和靶材电源；阴极靶材与靶材电源连接；引弧针的针尖朝向阴极靶材；驱动组件用于驱动引弧针的针尖接触或者远离阴极靶材
一种离子镀装置

[发明专利]一种ITO靶材的阴极座优化方法-CN201410633574.2有效
发明人：陈建湘;陈新文;卢玮杰;薛仁奎 -专利权人：永州市新辉开科技有限公司
申请日： 2014-11-12 - 公布日： 2015-03-11 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开一种ITO靶材的阴极座优化方法，包括以下步骤：（1）将若干套ITO靶材的阴极座装在连续式磁控溅射镀膜线上，每套ITO靶材的阴极座上设置三排磁铁，其中两排磁铁的个数为10片，中间一排磁铁的个数为9片；（2）设置在阴极座两侧的两排磁铁与中间一排磁铁的距离均为75mm～85mm；（3）调节ITO靶材的阴极座上的三排磁铁之间的间距，将阴极座两侧的两排磁铁之间的间距缩小为20mm～60mm。本发明对阴极座的磁铁排列进行优化，缩短三排磁铁间的距离20-60mm，从而缩小磁力线的分布范围，达到缩小ITO靶材的尺寸节省ITO靶材的目的。
一种 ito 阴极优化方法

[实用新型]一种磁控溅射设备及其阴极靶材组件-CN201520151396.X有效
发明人：彭柱根;伍能;罗洪娜 -专利权人：海南汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2015-03-17 - 公布日： 2015-07-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本申请公开了一种磁控溅射设备及其阴极靶材组件，磁控溅射设备包括阴极靶材组件，其中阴极靶材组件包括阴极靶材、磁铁和冷却通道，冷却通道的长度延伸方向与阴极靶材的长度延伸方向相一致，冷却通道的宽度延伸方向与阴极靶材的宽度延伸方向相一致如此设置，冷却水沿着冷却通道的宽度方向流动，可以保证冷却通道内的冷却水的温度的一致性，进而可以确保阴极板材冷却效果的一致性，从而可以保证镀膜层性能的一致性。
一种磁控溅射设备及其阴极组件

[实用新型]平面阴极靶泵一体镀膜设备-CN202221209985.5有效
发明人：曹琦;陈海峰;霍启科 -专利权人：深圳南玻科技有限公司;中国南玻集团股份有限公司
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种平面阴极靶泵一体镀膜设备，包括：真空腔室；阴极靶泵一体装置，所述阴极靶泵一体装置设置在所述真空腔室的顶部，所述阴极靶泵一体装置设置有阴极靶材安装部、真空机构和冷却机构；阴极靶材，安装在所述阴极靶材安装部上并位于所述真空腔室内本实用新型将真空机构、冷却机构集成在一起，同时阴极靶材安装部也集成在一起，即将传统的两个盖板的结构集成在了一起，对应的也只需要设置一个盖板即可，优化了结构组成，真空腔室的宽度能够减小，进而抽真空的体积得以减小
平面阴极一体镀膜设备

[发明专利]一种用于阴极电弧沉积的复合靶及沉积方法-CN201811082024.0有效
发明人：陈仁德;左潇;汪爱英;张栋;柯培玲 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2018-09-17 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明提供一种用于阴极电弧沉积的复合靶及沉积方法。复合靶由多种不同材质的靶材组成，并且各靶材形成同轴套接的平面结构。通过控制阴极电弧源磁场分布，使弧斑处于指定靶材的靶面，能够在基体表面沉积该指定靶材，因此利用该复合靶能够进行靶材元素的选择性沉积，实现多成分、多结构涂层的制备。
一种用于阴极电弧沉积复合方法

[发明专利]一种高靶材利用率圆形平面磁控溅射阴极-CN202110872823.3有效
发明人：汪建;杜寅昌;李成;程厚义;赵巍胜;张悦 -专利权人：北京航空航天大学合肥创新研究院（北京航空航天大学合肥研究生院）
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明的一种高靶材利用率圆形平面磁控溅射阴极，包括靶材、磁体、磁轭及靶座，还包括运动机构；靶材安装在靶座上方，磁体安装在磁轭上，位于靶座下方，磁体与阴极中轴偏心安装，即磁体中心与阴极中轴不重合；运动机构设置在磁轭的下方，磁轭连接到运动机构上，运动机构牵引磁轭从而带动磁体绕阴极中轴螺旋式周期旋转运动，旋转半径逐渐增大。本发明的磁体及磁轭通过运动机构实现螺旋式周期运动，靶材表面磁场同步螺旋式周期运动，靶材被均匀刻蚀，利用率大幅提高。
一种高靶材利用率圆形平面磁控溅射阴极

[发明专利]一种兼容磁性靶材和非磁性靶材的磁控溅射阴极-CN202111108818.1在审
发明人：汪建;杜寅昌;李成;刘风光;吴鹏;赵巍胜 -专利权人：北京航空航天大学合肥创新研究院（北京航空航天大学合肥研究生院）
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明的一种兼容磁性靶材和非磁性靶材的磁控溅射阴极，包括靶材、磁体、磁轭及靶座，还包括运动机构；靶材安装在靶座上方，磁体安装在磁轭上，位于靶座下方；磁轭和靶座连接到运动机构上，运动机构可以牵引靶座及上方的靶材上下移动，从而改变靶材与磁体的间距。当靶材为磁性材料时，通过运动机构调节靶材和磁体间距变小；当靶材换成非磁性材料时，通过运动机构，靶材与磁体间距变大。本发明可以根据靶材的性质，合理调整靶材与磁体的间距，使得靶材表面磁场的平行分量分别适用于磁性靶材和非磁性靶材，磁性靶材和非磁性靶材兼容在同一个磁控溅射阴极上使用。
一种兼容磁性磁控溅射阴极

[实用新型]一种换靶小车装置-CN202020370205.X有效
发明人：张霄;穆义林;陈建;曾敏俊;曾涛;王波;穆秋宇;沈荣 -专利权人：中建材（内江）玻璃高新技术有限公司
申请日： 2020-03-20 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： F41J1/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种换靶小车装置，属于靶材更换技术领域。该换靶小车装置包括换靶主体机构、移动机构和换靶夹持机构。所述换靶主体机构包括换靶小车主体、阴极端头和靶材，所述阴极端头安装于所述换靶小车主体顶部，所述靶材安装于所述阴极端头内部，所述移动机构包括机箱、伸缩件、支撑座和自锁移动轮。本实用新型伸缩件带动支撑座移动，使得夹持组件移动至靶材端部外部，使用夹持组件固定靶材伸缩件带动支撑座移动拔出靶材，使得靶材被取出，将新靶材手工放置在夹持组件内部，伸缩件推动支撑座和换靶夹持机构移动，使得新靶材能够实现快速安装该靶材安装方式对准度高，相比传统的行车吊装，靶材更换速度更快。
一种小车装置

[发明专利]一种中心进气的调制电弧离子镀装置-CN202010736213.6有效
发明人：郎文昌;刘伟;陈智杰;黄志宏 -专利权人：温州职业技术学院
申请日： 2020-07-28 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明属于涉及电弧离子镀技术关键部件阴极弧源装备领域，具体涉及一种中心进气的调制脉冲电弧离子镀装置，包括阴极盖和阴极座，所述阴极盖和阴极座相连接形成阴极组件，所述阴极座远离阴极盖的一侧表面上设有靶材安装部，所述靶材安装部上连接有靶材，所述靶材中心处设有第一通孔，所述阴极座上设有连通第一通孔的第二通孔，所述阴极盖上设有连通第二通孔的第三通孔，所述第一通孔、第二通孔、第三通孔形成进气管路。本发明采用中心通气实现工艺气体从靶材中心进入，增大沉积化合物相的能量，优化涂层结构，降低弧光放电的熔池大小，抑制大颗粒的产生。
一种中心调制电弧离子镀装置

[实用新型]一种中心进气的电弧离子镀装置-CN202021516573.7有效
发明人：郎文昌;刘伟;陈智杰;黄志宏 -专利权人：温州职业技术学院
申请日： 2020-07-28 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型属于涉及电弧离子镀技术关键部件阴极弧源装备领域，具体涉及一种中心进气的电弧离子镀装置，包括阴极盖和阴极座，所述阴极盖和阴极座相连接形成阴极组件，所述阴极座远离阴极盖的一侧表面上设有靶材安装部，所述靶材安装部上连接有靶材，所述靶材中心处设有第一通孔，所述阴极座上设有连通第一通孔的第二通孔，所述阴极盖上设有连通第二通孔的第三通孔，所述第一通孔、第二通孔、第三通孔形成进气管路。本实用新型采用中心通气实现工艺气体从靶材中心进入，增大沉积化合物相的能量，优化涂层结构，降低弧光放电的熔池大小，抑制大颗粒的产生。
一种中心电弧离子镀装置

[发明专利]阴极电磁场装置及镀膜设备-CN201811211285.8在审
发明人：周敏;王文宝;朱岩;李军旗 -专利权人：深圳精匠云创科技有限公司
申请日： 2018-10-17 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：一种阴极电磁场装置，用于镀膜设备，镀膜设备包括相对设置的待镀基底和靶材，定义靶材靠近待镀基底的表面为靶面，阴极电磁场装置包括设置于靶材远离待镀基底的一侧的多个第一电磁线圈，各第一电磁线圈的磁极方向不垂直于靶材远离待镀基底的表面，多个第一电磁线圈在靶面耦合出两个磁力线方向相反的拱形磁场。还提供应用上述阴极电磁场装置的镀膜设备。该阴极电磁场装置及镀膜设备，通过设置磁极方向不垂直于靶材远离待镀基底的表面的多个第一电磁线圈，可构筑出更平缓的拱形磁场，有利于提高靶材利用率。
阴极电磁场装置镀膜设备靶材镀基电磁线圈磁极方向不垂直拱形靶面磁场靶材利用率磁力线方向相对设置耦合构筑应用

[实用新型]阴极电磁场装置及镀膜设备-CN201821687060.5有效
发明人：周敏;王文宝;朱岩;李军旗 -专利权人：深圳精匠云创科技有限公司
申请日： 2018-10-17 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：一种阴极电磁场装置，用于镀膜设备，镀膜设备包括相对设置的待镀基底和靶材，定义靶材靠近待镀基底的表面为靶面，阴极电磁场装置包括设置于靶材远离待镀基底的一侧的多个第一电磁线圈，各第一电磁线圈的磁极方向不垂直于靶材远离待镀基底的表面，多个第一电磁线圈在靶面耦合出两个磁力线方向相反的拱形磁场。还提供应用上述阴极电磁场装置的镀膜设备。该阴极电磁场装置及镀膜设备，通过设置磁极方向不垂直于靶材远离待镀基底的表面的多个第一电磁线圈，可构筑出更平缓的拱形磁场，有利于提高靶材利用率。
阴极电磁场装置镀膜设备靶材镀基电磁线圈磁极方向不垂直拱形靶面磁场靶材利用率磁力线方向相对设置耦合构筑应用