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[发明专利]腔室的内衬和腔室-CN201710357147.X有效
发明人：张军 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及一种腔室的内衬和腔室。该腔室的内衬包括抽气内衬和均流内衬，所述均流内衬环绕设置于所述抽气内衬的内侧，所述均流内衬至少包括本体和隔离部，所述隔离部上开设有至少两个孔洞，以将所述均流内衬与所述抽气内衬之间的间隙隔离为连通的进气区域与出气区域；所述腔室内的气体经所述进气区域进入所述孔洞进行均流后，进一步通过所述抽气区域连通的排气口排出至所述抽气内衬的外部。该腔室的内衬，实现了对出气口与进气口之间的空间区域的划分，实现了工艺气体及副产物经过匀流后被真空抽走，实现了气体分布的均匀性。
内衬

[发明专利]腔室组件及反应腔室-CN201810457537.9有效
发明人：师帅涛;丁安邦;陈鹏;史小平;李春雷;兰云峰 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种腔室组件及反应腔室，该腔室组件包括：电极板，其与射频源电连接，且在电极板上设置有进气口；匀流部件，其采用绝缘材料制作，且与电极板共同构成匀流空间，进气口与匀流空间连通，并且在匀流部件上设置有多个出气口，出气口分别与匀流空间和反应腔室连通。本发明提供的腔室组件，其避免产生空心阴极放电，从而可以提高等离子体的稳定性。
组件反应

[发明专利]腔室组件及反应腔室-CN201811511088.8有效
发明人：王帅伟;兰云峰;王勇飞 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-12-11 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种腔室组件，包括腔体、腔室盖，其特征在于，还包括铰接模块，所述铰接模块设置在所述腔体与所述腔室盖之间，用于实现所述腔室盖的开合，且在所述铰接模块内设有气体通路，所述气体通路用于将外部气源提供的工艺气体经所述腔体和所述腔室盖通入所述腔体的内部即使腔室盖处于开启状态，气体通路仍然处于封闭状态，而不会暴露在大气环境中，从而避免了在开启腔室盖，以取放衬底或者维护腔室时，因人为操作导致的颗粒掉落进气体通路，进而可以保证腔室的洁净度，降低薄膜的颗粒缺陷
组件反应

[发明专利]腔室-CN201611061883.2在审
发明人：杨敬山;郭浩 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2016-11-28 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本发明提供一种腔室，包括用于承载被加工工件的承载件，以及设置在其上方的加热装置，该加热装置用于朝向被加工工件辐射热量，加热装置包括：安装板，设置在承载件的上方；热源，设置在安装板的下方，且沿安装板的周向间隔分布本发明提供的腔室，其可以满足对多种尺寸的被加工工件的加热均匀性的要求。
安装板被加工工件加热装置热源调节组件承载件腔室加热均匀性辐射热量径向移动周向间隔种腔室承载

[发明专利]智能腔室及智能腔室元件-CN201910307866.X在审
发明人：西蒙·尼古拉斯·宾斯;布赖恩·T·韦斯特;罗纳德·维恩·肖尔;罗杰·M·约翰逊;迈克尔·S·考克斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-02-16 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：处理腔室包括腔室主体、一或多个监控装置，及一或多个天线，腔室主体具有设置于腔室主体上的腔室盖组件，一或多个监控装置与腔室盖组件耦接，一或多个天线邻近于与一或多个监控装置通信的腔室盖组件设置。
监控装置腔室主体腔室盖智能腔天线元件处理组件设置腔室耦接邻近通信

[发明专利]腔室冷却装置及反应腔室-CN201910160484.9有效
发明人：弓利军 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-03-04 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种腔室冷却装置及反应腔室，包括槽状本体、隔水板、冷却管和多个喷嘴，其中，冷却管设置在槽状本体相对的两个侧边，且用于向多个喷嘴中通入冷却介质，多个喷嘴用于向槽状本体中通入冷却介质，隔水板覆盖在槽状本体上本发明提供的腔室冷却装置及反应腔室，其能够避免空气在槽状本体中无法排除，并且减少槽状本体中冷却介质乱流的情况发生，从而提高腔室冷却装置的冷却效果。
冷却装置反应

[发明专利]组合处理腔室和处置腔室-CN201910130024.1有效
发明人：王安川;X·陈;Z·李;H·哈玛纳;Z·陈;C-M·徐;J·黄;N·K·英格尔;D·卢博米尔斯基;S·文卡特拉马;R·撒库尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-03-06 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及组合处理腔室和处置腔室。提供用于控制湿气污染物造成的工艺缺陷的系统、腔室及工艺。系统可提供用于腔室的配置以在真空或受控环境中施行多项操作。腔室可包括组合腔室设计中的配置以提供附加处理功能。
组合处理处置

[实用新型]用于处理腔室的腔室部件-CN201820695755.1有效
发明人：邬笑炜;D·芬威克;詹国栋;J·Y·孙;M·R·赖斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-05-10 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： C23C16/40 文献下载
摘要：公开了一种用于处理腔室的腔室部件。腔室部件包括：由金属或陶瓷中的至少一种构成的制品；以及在所述制品的至少一个表面上的钇基氧氟化物层，所述钇基氧氟化物层具有10nm至300μm的厚度，并且其中所述钇基氧氟化物层具有选自由以下构成的组的成分
腔室部件氧氟化物钇基处理腔室复合陶瓷第二相陶瓷金属自由

[其他]用于处理腔室的腔室元件-CN202090000944.8有效
发明人：林丽萍;斯里斯卡塔拉贾赫·西里纳瓦卡拉苏;艾娜．王 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-08-05 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：揭示了用于处理腔室的腔室元件。在一个实施方式中，用于处理腔室的所述腔室元件包括具有一体式整体构造的元件部件主体。元件部件主体具有外表面。在外表面上形成设计复合表面。
用于处理元件

[发明专利]智能腔室及智能腔室元件-CN201580008206.1有效
发明人：西蒙·尼古拉斯·宾斯;布赖恩·T·韦斯特;罗纳德·维恩·肖尔;罗杰·M·约翰逊;迈克尔·S·考克斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-02-16 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：处理腔室包括腔室主体、一或多个监控装置，及一或多个天线，腔室主体具有设置于腔室主体上的腔室盖组件，一或多个监控装置与腔室盖组件耦接，一或多个天线邻近于与一或多个监控装置通信的腔室盖组件设置。
智能元件

[发明专利]等离子腔室的腔室屏蔽-CN02817066.0无效
发明人：布瑞·詹姆斯·古德 -专利权人：现代半导体美国公司
申请日： 2002-08-28 - 公布日： 2004-11-24 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种用于诸如离子植入机的源腔室之类的等离子腔室的屏蔽系统，包括：一个顶屏蔽板(502)，构形成附着在等离子腔室的顶部内表面；一个底屏蔽板(504)，构形成附着在等离子腔室的底部内表面；和一个后屏蔽板(506)，构形成附着在等离子腔室的后部内表面，其中，顶屏蔽板(502)的后缘与后屏蔽板(506)的顶缘相交，底屏蔽板(504)的后缘(528)与后屏蔽板(506)的底缘相交，从而顶屏蔽板(502)、底屏蔽板(504)和后屏蔽板(506)装配在一起基本上盖住腔室的内表面，从而在等离子腔室工作时减少在等离子腔室内侧表面上的沉积。
等离子屏蔽

[实用新型]一种车载空调用电源信号组合滤波器-CN202120761189.1有效
发明人：颜彬彬 -专利权人：常州市多极电磁环境技术有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： H03H7/01 文献下载
摘要：本实用新型属于滤波器技术领域，具体涉及一种车载空调用电源信号组合滤波器，本车载空调用电源信号组合滤波器包括：壳体和滤波组件；其中所述壳体内部设置有输入腔室、滤波腔室和输出腔室，所述输入腔室设置输入引出端，所述滤波组件位于滤波腔室内，所述输出腔室设置输出引出端，且所述输入引出端、输出引出端均与滤波组件相连；所述输入引出端、输出引出端适于接入电路中，即所述电路中通过的电源或信号通过滤波组件进行滤波后输向电气设备；本实用新型通过壳体内部采用分腔式结构，设置输入腔室、滤波腔室和输出腔室以将输入引出端、滤波组件和输出引出端分隔出来，能够防止输入引出端、输出引出端耦合，并增强屏蔽效果。
一种车载调用电源信号组合滤波器

[实用新型]一种换热装置-CN201921038664.1有效
发明人：杨煜;陈逢凉 -专利权人：厦门热工环保系统工程有限公司
申请日： 2019-07-04 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： F28D7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种换热装置，包括连接于管路上的一级换热器、第一热源和第二热源；一级换热器内隔设有第一腔室、第二腔室和第三腔室；第二腔设于第一腔室与第三腔室之间；第一腔室、第二腔室和第三腔室均设有进、出口；第二热源与第二腔室进口连通且第二腔室向第三腔室导热，以使第三腔室内的待换热介质受热，经过第二腔室的介质由其出口输出；第一热源与第一腔室进口连通且第一腔室通过第二腔室间接向第三腔室导热，经过第一腔室的介质由其出口输出；其中待换热介质受热后从第三腔室出口输出。该换热装置采用上述结构，以防第二热源热能不足或是需要极速换热的情况下，通过第一热源的补给，提高第三腔室供热的稳定输出。
一种装置

[发明专利]半导体晶圆的加工方法-CN201911032952.0有效
发明人：杨京;卫晶;韦刚;陈国动;李娟娟;魏晓;黄亚辉 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-10-28 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：一种半导体晶圆的加工方法，包括：开启射频源，使射频源输出第一射频功率，并将工艺腔室的腔室压力设为第一腔室压力；维持所述射频源开启，将所述射频源的输出功率调节至过渡射频功率；同时，将所述腔室压力调节至第一过渡腔室压力；在预定时间段内，使所述射频源持续输出所述过渡射频功率；同时，将所述腔室压力调节至第二过渡腔室压力；将所述射频源的输出功率调节至第二射频功率；同时，将所述腔室压力调节至所述第二腔室压力；以及，使所述射频源输出所述第二射频功率，并使所述腔室压力保持在所述第二腔室压力本发明在调节工艺条件期间，射频源维持输出射频功率，使得鞘层可维持在工作件(如晶圆)的上方，并借此改善工艺结果及提升良率。
半导体加工方法

[实用新型]一种园林小区用除虫喷洒装置-CN201520138667.8有效
发明人：杨春;黄文忠;谢庭辉 -专利权人：梅州客都物业管理有限公司
申请日： 2015-03-11 - 公布日： 2015-07-08 - 主分类号： A01M7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种园林小区用除虫喷洒装置，包括桶体和喷洒头，其中：桶体包括上部的储液腔室、中部的气液混合腔室和下部的工作机件安装腔室，储液腔室上部设有加液口，储液腔室下部设有单向输出连接气液混合腔室的第一出液口，工作机件安装腔室的右侧设有臭氧发生器、左侧设有气液输出室，气液混合腔室设有单向输出连接气液输出室的第二出液口，臭氧发生器的输入口连接外界、输出口设有压力气泵单向输出连接气液混合腔室，气液输出室中设有压力水泵，压力泵的输出口连接喷洒头；本实用新型结构具有简单、安全性能高，通过提高混合气液中臭氧浓度来提高杀虫灭菌效果，同时通过调节气液混合比来实现控制喷洒的范围和浓度实现范围和浓度可调的技术效果。
一种园林小区除虫喷洒装置

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