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[发明专利]体声波谐振器滤波器和体声波谐振器模块-CN202211237322.9在审
发明人：李泰京;金性泰;金光洙;严在君 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H03H9/56 文献下载
摘要：本公开提供一种体声波谐振器滤波器和体声波谐振器滤波器模块。体声波谐振器滤波器包括：多个体声波谐振器，连接在第一射频端口与第二射频端口之间以形成频带，其中多个体声波谐振器中的每者包括第一电极、第二电极和设置在第一电极与第二电极之间的压电层，多个体声波谐振器包括第一体声波谐振器和第二体声波谐振器，第一体声波谐振器的谐振频率与反谐振频率之差不同于第二体声波谐振器的谐振频率与反谐振频率之差并且第一体声波谐振器的压电层的厚度与第一电极和第二电极的总厚度的比率不同于第二体声波谐振器的压电层的厚度与第一电极和第二电极的总厚度的比率，和/或第一体声波谐振器的压电层的厚度不同于第二体声波谐振器的压电层的厚度。
声波谐振器滤波器模块

[实用新型]一种半导体器件及半导体器件组件-CN202121478222.6有效
发明人：李丽;张仕强;李宏军;王胜福;王磊;张韶华;李亮;梁东升;韩易;李猛;邓佳惠;黄蕊;胡笑宁 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H03H9/205 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体器件技术领域，提供一种半导体器件及半导体器件组件，该半导体器件包括输入端子、输出端子、多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器；多个串联的薄膜体声波谐振器包括第一薄膜体声波谐振器至第六薄膜体声波谐振器，串联连接在输入端子和输出端子间；多个并联的薄膜体声波谐振器包括第七薄膜体声波谐振器至第九薄膜体声波谐振器，第七薄膜体声波谐振器、第八薄膜体声波谐振器和第九薄膜体声波谐振器的一端分别连接在多个串联的薄膜体声波谐振器中两个薄膜体声波谐振器之间的节点上
一种半导体器件组件

[实用新型]空气腔型FBAR滤波器及半导体组件-CN202121477815.0有效
发明人：张韶华;李丽;王胜福;李宏军;张仕强;于江涛;杨亮;王磊;李亮;梁东升;韩易;霍佳悦;尚晓静;王新普;游闪晶 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H03H9/54 文献下载
摘要：本实用新型涉及滤波器技术领域，提供一种空气腔型FBAR滤波器及半导体组件，空气腔型FBAR滤波器包括输入端子、输出端子、多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器；多个串联的薄膜体声波谐振器包括第一至第七薄膜体声波谐振器，串联连接在输入端子和输出端子之间；多个并联的薄膜体声波谐振器包括第八、第十和第十二薄膜体声波谐振器，第八、第十、第十二薄膜体声波谐振器的一端分别连接在第二薄膜体声波谐振器和第三薄膜体声波谐振器之间、第四薄膜体声波谐振器和第五薄膜体声波谐振器之间、第六薄膜体声波谐振器和第七薄膜体声波谐振器之间的节点上，另一端分别连接接地端子。上述滤波器可允许特定频率的信号通过。
空气 fbar 滤波器半导体组件

[发明专利]阶梯型结构压电滤波器-CN202110752137.2有效
发明人：张仕强;李丽;李宏军;王胜福;李亮;申晓芳;张俊杰;梁东升;袁柯;韩易;彭朝霞;梁伟;曲晓华;范江海 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H03H9/54 文献下载
摘要：本发明涉及滤波器技术领域，提供一种阶梯型结构压电滤波器。该阶梯型结构压电滤波器包括输入端子、输出端子、接地端子、多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器；第七薄膜体声波谐振器和第八薄膜体声波谐振器的一端依次连接在第一薄膜体声波谐振器至第三薄膜体声波谐振器之间的节点上；第九薄膜体声波谐振器和第十薄膜体声波谐振器的一端依次连接在第四薄膜体声波谐振器至第六薄膜体声波谐振器之间的节点上；且第八薄膜体声波谐振器的另一端与第九薄膜体声波谐振器的另一端连接后与接地端子连接。本发明提供的滤波器可允许特定频率的信号通过。
阶梯结构压电滤波器

[实用新型]阶梯型结构压电滤波器-CN202121478267.3有效
发明人：张仕强;李丽;李宏军;王胜福;李亮;申晓芳;张俊杰;梁东升;袁柯;韩易;彭朝霞;梁伟;曲晓华;范江海 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H03H9/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及滤波器技术领域，提供一种阶梯型结构压电滤波器。该阶梯型结构压电滤波器包括输入端子、输出端子、接地端子、多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器；第七薄膜体声波谐振器和第八薄膜体声波谐振器的一端依次连接在第一薄膜体声波谐振器至第三薄膜体声波谐振器之间的节点上；第九薄膜体声波谐振器和第十薄膜体声波谐振器的一端依次连接在第四薄膜体声波谐振器至第六薄膜体声波谐振器之间的节点上；且第八薄膜体声波谐振器的另一端与第九薄膜体声波谐振器的另一端连接后与接地端子连接。本实用新型提供的滤波器可允许特定频率的信号通过。
阶梯结构压电滤波器

[发明专利]包括体声波谐振器的滤波器和体声波谐振器组-CN201910242815.3在审
发明人：金畅炫 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2019-03-28 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： H03H9/205 文献下载
摘要：本发明提供一种包括体声波谐振器的滤波器和体声波谐振器组。所述滤波器包括串联单元和分流单元。每个所述串联单元包括至少一个体声波谐振器。每个所述分流单元包括至少一个体声波谐振器，并设置在所述串联单元与地之间。所述串联单元中的一个或者所述分流单元中的一个包括串联连接的第一体声波谐振器、第二体声波谐振器和第三体声波谐振器。所述第二体声波谐振器的极性与所述第一体声波谐振器的极性和所述第三体声波谐振器的极性不同。
体声波谐振器串联单元滤波器分流单元声波谐振器

[发明专利]一种体声波谐振器组、体声波滤波器及通信器件-CN202111489266.3在审
发明人：丁焱昆;赖志国;杨清华 -专利权人：苏州汉天下电子有限公司
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种体声波谐振器组、体声波滤波器及通信器件。该体声波谐振器组包括至少三个体声波谐振器，每个体声波谐振器包括第一电极、压电层和第二电极的叠层结构；至少三个体声波谐振器堆叠设置，上层的体声波谐振器通过第一支撑层设置于下层的相邻两体声波谐振器之上，下层的相邻两体声波谐振器呈本发明实施例提供的技术方案降低了体声波谐振器组的尺寸，进而实现了体声波谐振器组、体声波滤波器和通信器件的小型化。
一种声波谐振器滤波器通信器件

[发明专利]薄膜体声波谐振器结构及其制造方法-CN201310270304.5有效
发明人：杜波;马晋毅;米佳;江洪敏 -专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请日： 2013-06-28 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本发明涉及一种薄膜体声波谐振器结构的制造方法及薄膜体声波谐振器结构。该薄膜体声波谐振器结构的制造方法其包括步骤：于载片上形成薄膜体声波谐振器；于衬底上形成空腔；将薄膜体声波谐振器搭载在该空腔；形成该薄膜体声波谐振器的电极的电连接层。本发明薄膜体声波谐振器结构的制造方法及薄膜体声波谐振器结构无需现有技术中提到的牺牲材料、无需牺牲层薄膜释放工艺，从而简化了工艺，避免了牺牲层材料残留导致的Q值恶化，从而实现高Q值薄膜体声波谐振器结构的简单制造此外，薄膜体声波谐振器结构的制造方法及薄膜体声波谐振器结构的生产成本较低。
薄膜声波谐振器结构及其制造方法

[实用新型]体声波滤波器电路及滤波器组件-CN202121489985.0有效
发明人：李宏军;张仕强;李丽;王胜福;李丰;于江涛;李亮;梁东升;韩易;刘庆;高建坤;任克静;刘雪娇;陈昕 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H03H9/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及滤波器技术领域，提供一种体声波滤波器电路及滤波器组件。该体声波滤波器电路包括输入端子、输出端子、接地端子、多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器；多个并联的薄膜体声波谐振器的一端依次连接在第一薄膜体声波谐振器至第六薄膜体声波谐振器之间的各个节点上，另一端连接接地端子；第一薄膜体声波谐振器和第三薄膜体声波谐振器位于输入端子和输出端子所在的第一直线上，第二薄膜体声波谐振器、第四薄膜体声波谐振器至第七薄膜体声波谐振器和第九薄膜体声波谐振器位于第一直线的第一侧，第八薄膜体声波谐振器位于第一直线的第二侧；本实用新型提供的滤波器可允许特定频率的信号通过。
声波滤波器电路组件

[实用新型]一种稳定型石英晶体谐振器-CN202320453654.4有效
发明人：李斌;黄屹 -专利权人：四川明德亨电子科技有限公司
申请日： 2023-03-11 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H03H9/19 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种稳定型石英晶体谐振器，包括谐振器主体和加固机构，所述谐振器主体包括谐振器体、底座和引脚，所述谐振器体安装在底座上表面，所述加固机构安装在谐振器体和底座之间，所述加固机构包括压紧板、矩形框、限位杆、加固板和连接组件，两个所述压紧板位于谐振器体上表面，两个所述压紧板之间设置有连接组件，两个所述矩形框固定在底座上表面且分别位于谐振器体前后方；本实用新型通过将谐振器体、底座和加固机构结合，基于胶粘的基础上进一步增加谐振器体和底座安装紧固性，避免谐振器体因为外界冲击出现晃动造成引脚变形开裂的情况，增加谐振器体工作稳定性和引脚信号输送稳定性。
一种稳定石英晶体谐振器

[发明专利]体声波谐振器和滤波器的设计方法-CN202210318926.X在审
发明人：柏沁园;赖志国;杨清华 -专利权人：苏州汉天下电子有限公司
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： G06F30/23 文献下载
摘要：本公开提供了体声波谐振器和滤波器的设计方法。根据本公开的体声波谐振器的设计方法包括：根据第一体声波谐振器的结构建立第一体声波谐振器的物理模型；以迭代方式重复调整第一体声波谐振器的材料参数，使得第一体声波谐振器的物理模型的有限元仿真结果与第一体声波谐振器的测量结果之间的差异在预定范围内；使用不同于第一体声波谐振器的第二体声波谐振器对经调整的材料参数进行验证；以及基于通过验证的材料参数设计体声波谐振器。此外，根据本公开的体滤波器的设计方法包括使用通过上述方法设计的谐振器来设计滤波器。根据本公开的体声波谐振器和滤波器的设计方法，可以缩短设计周期并且降低设计成本。
声波谐振器滤波器设计方法

[实用新型]空气腔型FBAR滤波器的电路版图结构-CN202121483409.5有效
发明人：王胜福;张仕强;李丽;李宏军;王磊;于江涛;李亮;梁东升;韩易;郑璐璐;李钰;史存浩;霍西棒;黄天熹 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H03H9/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及滤波器技术领域，提供一种空气腔型FBAR滤波器的电路版图结构。该空气腔型FBAR滤波器的电路版图结构包括输入端子、输出端子、接地端子、多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器，多个并联的薄膜体声波谐振器的一端依次连接在第一薄膜体声波谐振器至第六薄膜体声波谐振器之间的各个节点上，另一端分别连接接地端子；第一薄膜体声波谐振器、第二薄膜体声波谐振器、第三薄膜体声波谐振器、第四薄膜体声波谐振器和第六薄膜体声波谐振器的中心连线位于输入端子和输出端子之间的第一直线上，第七薄膜体声波谐振器和第九薄膜体声波谐振器位于第一直线的一侧本实用新型提供的滤波器可允许特定频率的信号通过。
空气 fbar 滤波器电路版图结构

[发明专利]一种谐振装置及其制备方法-CN202310131718.3在审
发明人：孙成亮;范宇晨;蔡耀;许秉乾;童欣;王雅馨;杨超翔 -专利权人：武汉大学
申请日： 2023-02-16 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明属于光通信技术领域，公开了一种谐振装置及其制备方法。本发明提供的谐振装置包括光波导微环谐振器和薄膜体声波谐振器，薄膜体声波谐振器包括上电极层、压电材料层和下电极层，压电材料层位于上电极层和下电极层之间，光波导微环谐振器嵌入于压电材料层中，光波导微环谐振器与薄膜体声波谐振器耦合，本发明利用薄膜体声波谐振器的逆压电效应能够实现对光波导微环谐振器的调频，并能够使二者的耦合效果达到最佳，此外，薄膜体声波谐振器中的压电材料层还能直接作为光波导微环谐振器的反射介质，进而有效简化结构。
一种谐振装置及其制备方法

[发明专利]体声波谐振器-CN202111110286.5有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：深圳新声半导体有限公司
申请日： 2021-09-23 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请涉及体声波谐振器技术领域，公开一种体声波谐振器，包括：谐振器盖体、体声波谐振结构、谐振器载体；谐振器盖体与体声波谐振结构的一侧连接形成第一空腔；体声波谐振结构另一侧与谐振器载体连接；谐振器载体包括牺牲层、截止边界层和衬底；截止边界层位于牺牲层和衬底之间；截止边界层形成位于牺牲层内的第一凸起和第二凸起，谐振器载体通过第一凸起、第二凸起与体声波谐振结构围合形成第二空腔。这样，通过这种结构限定出来的空腔，不需像传统体声波谐振器那样在硅衬底内形成第二空腔，使得谐振器的衬底可以灵活选择硅材料以外的完全绝缘的材料，从而避免衬底硅界面的存在而产生寄生导电沟道问题。
声波谐振器

[发明专利]体声波滤波器、通信器件及体声波滤波器的制备方法-CN202210610173.X在审
发明人：丁焱昆;赖志国;杨清华 -专利权人：苏州汉天下电子有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种体声波滤波器、通信器件及体声波滤波器的制备方法。该体声波滤波器包括：第一衬底；位于第一衬底上的沿水平方向相邻设置的第一体声波谐振器和第二体声波谐振器，第一体声波谐振器和第二体声波谐振器包括底电极、压电层和顶电极的叠层结构；第一体声波谐振器和第二体声波谐振器在水平面的正投影无交叠；第一体声波谐振器和第二体声波谐振器的电极在竖直平面的正投影无交叠，电极包括底电极和顶电极中的至少一个；第一体声波谐振器和第二体声波谐振器位于第一衬底的同一表面。本发明实施例提供的技术方案，规避了体声波谐振器间的耦合寄生效应，提升了体声波滤波器的带外抑制。
声波滤波器通信器件制备方法